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R:N4_4& C~ 内容简介 T'i^yd}*v Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 +lYo5\1= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {"v~1W) 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~,YxUn8@ TA4>12C6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8-#_xsZ^; 目录 I1f4u6\*X Preface 1 qb$&BZj]| 内容简介 2 "aL.`^. 目录 i [|qV*3|? 1 引言 1 *s JT\J$D[ 2 光学薄膜基础 2
lL\%eQ 2.1 一般规则 2 }>93X0%r 2.2 正交入射规则 3 bm>N~DC 2.3 斜入射规则 6 KUD.hK. 2.4 精确计算 7 7!qO*r 2.5 相干性 8 ^uiQZ%; 2.6 参考文献 10 c/6 3 Essential Macleod的快速预览 10 % _.kd" 4 Essential Macleod的特点 32 eW<|I 4.1 容量和局限性 33 |lDxk[ 4.2 程序在哪里? 33 \=1$$EDS9 4.3 数据文件 35 F>F2Yql&W 4.4 设计规则 35 &u`]Zn 4.5 材料数据库和资料库 37 T0;8koj^_ 4.5.1材料损失 38 PEr &|H2 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~:krJ[= 4.5.2 材料库 41 aRV.;S 4.5.3导出材料数据 43 n[KL Y! 4.6 常用单位 43 !-veL1r 4.7 插值和外推法 46 n 9>**&5L 4.8 材料数据的平滑 50 PtTL
tiE~ 4.9 更多光学常数模型 54 $,.XPK5Qu 4.10 文档的一般编辑规则 55 fEo5j`} 4.11 撤销和重做 56 0:iR=S 4.12 设计文档 57 u~xfI[8C 4.10.1 公式 58 )FdS;] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @fQvAok 4.10.3 沉积密度 59 A.9ZFFz 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;x|7"lE 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 JT p+&NS 4.10.4 性能 61 Yycfb 4.10.5 保存设计和性能 64 y3 "+4e 4.10.6 默认设计 64 pi|=3W 4.11 图表 64 rRvZG&k
4.11.1 合并曲线图 67 nYnBWDnV 4.11.2 自适应绘制 68 >Jk]=_% 4.11.3 动态绘图 68 /:;"rnvq 4.11.4 3D绘图 69 aGAeRF 4.12 导入和导出 73 ,<(0T$o E[ 4.12.1 剪贴板 73 <nk9IAH 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~@\sN+VS 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 it$w.v+W7V 4.13 背景 77 %<O0Yenu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~H c5M5m 4.15 生成Rugate 84 |s'5~+ 4.16 参考文献 91 6b1AIs8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ElA(1o|9I 5.1 Jobs 92 |{ @BH 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Z8ds`KZM 5.3 输入材料 94 *.6m,QqJ( 5.4 设计数据文件夹 95 +-!2nk`"a 5.5 默认设计 95 `F$lO2 #k 6 细化和合成 97 ]]NTvr 6.1 优化介绍 97 l4>c 6.2 细化 (Refinement) 98 m%cwhH_B 6.3 合成 (Synthesis) 100 e-Zul.m 6.4 目标和评价函数 101 [X 9zrGHt 6.4.1 目标输入 102 O+?vQ$z 6.4.2 目标 103 I8/tD|3 6.4.3 特殊的评价函数 104 W)<t7q+ 6.5 层锁定和连接 104 (h|E@gRa 6.6 细化技术 104 []$L"?]0uk 6.6.1 单纯形 105 TT oW>RP# 6.6.1.1 单纯形参数 106 8shx7" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 &^7(?C'u 6.6.2.1 Optimac参数 108 f28bBuv1? 6.6.3 模拟退火算法 109 aL&nD1f=!- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 C~IE_E&Q` 6.6.4 共轭梯度 111 !;U oZ~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 t,u;"%go 6.6.5 拟牛顿法 112 7]_zWx,r 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RF= $SMTk 6.6.6 针合成 113 CiV^bYi 6.6.6.1 针合成参数 114 Ro_jfM 6.6.7 差分进化 114 uD?Rs` 6.6.8非局部细化 115 Q*hXFayx 6.6.8.1非局部细化参数 115 _SnD)k+TgJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }]Nt:_UCX 6.7.1 细化 116 H*P[tyz$ 6.7.2 合成 117 +{#L,0t 6.8 参考文献 117 7GvMKtuSK 7 导纳图及其他工具 118 [1mEdtqf* 7.1 简介 118 Tol"D2cyf 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q
ZC\%X8j 7.2.1 四分之一波长规则 119 vY7@1_" 7.2.2 导纳图 120 WXY-]ir. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 uvAJJIae' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 P;eXUF+jn 7.5 斜入射导纳图 141 ?./%7v 7.6 对称周期 141 V%B~ q`4 7.7 参考文献 142 g;Zy3
8 典型的镀膜实例 143 /I((A/ks 8.1 单层抗反射薄膜 145 m@UrFPZ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +`iJ+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %OsxXO? 8.4 W-膜层 148 \XO'7bNu- 8.5 V-膜层 149 }>EWFE` 8.6 V-膜层高折射基底 150 4bcd=a; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^]D+H9Tl 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Bg] % 8.9 四层抗反射薄膜 153 o70] F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 l"7#(a 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 LpL$=9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5,4m_fBoW 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
CvR-lKV< 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }KO <II 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ,"F0#5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~N2=44e 8.17 1/4波长堆栈 162 _u'y7- 8.18 陷波滤波器 163 1rS8+!9C 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0":k[y 8.20 褶皱 165 uQ&> Wk 8.21 消偏振分光器1 169 Wffz&pR8
8.22 消偏振分光器2 171 /::Y &&$f 8.23 消偏振立体分光器 172 Yep~C%/} 8.24 消偏振截止滤光片 173 /\;m/cwrl" 8.25 立体偏振分束器1 174 E*IP#:R 8.26 立方偏振分束器2 177 Rt:^'Qi$! 8.27 相位延迟器 178 @qYT/V*/ 8.28 红外截止器 179 pTB7k3g 8.29 21层长波带通滤波器 180 |fW_9={1kQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 [9B1 %W 8.31 55层短波带通滤波器 182 0m=57c$O 8.32 47 红外截止器 183 "$aoI Xv 8.33 宽带通滤波器 184 T:Ovh.$ 8.34 诱导透射滤波器 186 hsT&c| 8.35 诱导透射滤波器2 188 A2;6Vz=z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 -SfU.XlZl 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 b dLi_k 8.35 增益平坦滤波器 193 L`e19I$ 8.38 啁啾反射镜 1 196 d S'J @e=# 8.39 啁啾反射镜2 198 1;DRcVyS+ 8.40 啁啾反射镜3 199 ?
|#dGk g 8.41 带保护层的铝膜层 200 rlA/eQrS 8.42 增加铝反射率膜 201 H
cyoNY 8.43 参考文献 202 nI&p.i6 9 多层膜 204 5@-H8* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 u>G9r#~`k 9.2 内部透过率 204 =Xg/[J% 9.3 内部透射率数据 205 h5pfmN\-5 9.4 实例 206 @g4o8nH} 9.5 实例2 210 "wuO[c&%/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 l^OflZC~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 zsd1n`r 10 光学薄膜的颜色 216 A)V*faD 10.1 导言 216 9(nq 4HvI 10.2 色彩 216 _ziSH 3( 10.3 主波长和纯度 220 wwywiFj 10.4 色相和纯度 221 ]@ke_'
" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *coUHbP9> 10.6 色差 226 Kvo&_: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 fU?#^Lg 10.8 颜色渲染指数 234 1+WVh7gF 10.9 色差计算 235 jU7[z$GX 10.10 参考文献 236 Z/:F)c,x 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 =>B"j`oR 11.1 短脉冲 238 o5
fV,BJZO 11.2 群速度 239 mO]>] 11.3 群速度色散 241 j6Sg~nRh 11.4 啁啾(chirped) 245 e,VF;Br 11.5 光学薄膜—相变 245 5h`L W AB 11.6 群延迟和延迟色散 246 @+H0D" 11.7 色度色散 246 83SK<V6 11.8 色散补偿 249 E:ci/09wD 11.9 空间光线偏移 256 ~/9RSdv7 11.10 参考文献 258 ` =P_ed%&' 12 公差与误差 260 op5`#{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 \20}/& 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Zfcf?&>< 12.2.1 误差工具 267 A8{ xZsH 12.2.2 灵敏度工具 271 ;Tp9)UP) 12.2.2.1 独立灵敏度 271 [M,4qe8,} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ec}%!p_$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 c6#E gN,X 12.3 参考文献 276 Ao$k[#px 13 Runsheet 与Simulator 277 !?0C(VL(: 13.1 原理介绍 277 L;u 5 13.2 截止滤光片设计 277 W
h 9L!5 14 光学常数提取 289 ~{tO8
] 14.1 介绍 289 ){w{# 14.2 电介质薄膜 289 #jrlNg4( 14.3 n 和k 的提取工具 295 v9-4yZU^WR 14.4 基底的参数提取 302 H.4ISmXU 14.5 金属的参数提取 306 JJ
?'<)EF 14.6 不正确的模型 306 W/xPVmnV 14.7 参考文献 311 1h?ve,$ 15 反演工程 313 o]Ne|PEpO 15.1 随机性和系统性 313 |cY,@X,X6 15.2 常见的系统性问题 314 <tFq^qB 15.3 单层膜 314 ?x&}ammid 15.4 多层膜 314 xS tsw5d 15.5 含义 319 Wn+s:ov 15.6 反演工程实例 319 f^B'BioW( 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 X+N5iT 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ].kj-,5>f 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7$Z_'GJ]1C 16.1 光学性质的热致偏移 329 W1X3ArP]m8 16.2 应力工具 335 $j\>T@ 16.3 均匀性误差 339 V~j^ 16.3.1 圆锥工具 339 }bca-|N 16.3.2 波前问题 341 # euG$( 16.4 参考文献 343 >_ZEQC 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 SA}Dkt&, 17.1 引言 345 [;Lgbgt3f 17.2 操作数 345 'LPyh ;!f 18 如何在Function中编写脚本 351 6[k<&; 18.1 简介 351 U@y)x+: 18.2 什么是脚本? 351 [BD`h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (~N?kh: 18.4 基础 352 e[u}Vf 18.4.1 Classes(类别) 352 2I_ yUt- 18.4.2 对象 352 d;Y Kw1 18.4.3 信息(Messages) 352 >9A18xC 18.4.4 属性 352 c.Sd~k:3 18.4.5 方法 353 n]$rLm%^ 18.4.6 变量声明 353 *{#C;" 18.5 创建对象 354 lr~
|=}^ 18.5.1 创建对象函数 355 4bA^Gq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 oio{@#DX` 18.5.3 丢弃对象 356 ?SFQx\/ 18.5.4 总结 356 ]b%U9hmL^f 18.6 脚本中的表格 357 er7(Wph 18.6.1 方法1 357 FNH)wk 18.6.2 方法2 357 Yft [)id 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;K\2/"$QD 18.8 3D Plots in Scripts 359 hxMRmH[f: 18.9 注释 360 Eej
Lso#\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 tW|0_m>{ 18.11 一个更高级的脚本 362 tdxzs_V,- 18.12 <esc>键 364 Rkg8 18.13 包含文件 365 9n\>Yieu 18.14 脚本被优化调用 366 f^1J_}cL 18.15 脚本中的对话框 368 aq_K,li#w 18.15.1 介绍 368 {guOAT-w 18.15.2 消息框-MsgBox 368 W%>T{}4 18.15.3 输入框函数 370 V9$T=[ 18.15.4 自定义对话框 371 u:|^L]{ 18.15.5 对话框编辑器 371 G7" (,L` 5 18.15.6 控制对话框 377 pZ|{p{_j 18.15.7 更高级的对话框 380 *w4#D:g 18.16 Types语句 384 46D`h!7L 18.17 打开文件 385 ) dk|S\ 18.18 Bags 387 vO2WZ7E! 18.13 进一步研究 388 <`pNdy4 19 vStack 389 .
KLEx]f. 19.1 vStack基本原理 389 |3e+ K. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]?1_.Wjtt 19.3 五棱镜 393 bKsjbYuo 19.4 光束距离 396 3f^Pr 19.5 误差 399 fV>d_6Lf} 19.6 二向分色棱镜 399 RR[zvH} E 19.7 偏振泄漏 404 vx($o9 19.8 波前误差—相位 405 N`efLOMl]
19.9 其它计算参数 405 o-H?q! 20 报表生成器 406 Up?RN %gq 20.1 入门 406
"LB
MYZ 20.2 指令(Instructions) 406 q}L`8(a 20.3 页面布局指令 406 37kFbR@x 20.4 常见的参数图和三维图 407 Jg=!GU/:: 20.5 表格中的常见参数 408 b;jdk w| 20.6 迭代指令 408 T>%
5<P 20.7 报表模版 408 W=^.s>7G 20.8 开始设计一个报表模版 409 K\9CW%W 21 一个新的project 413 m_0y ]RfG 21.1 创建一个新Job 414 u@e.5_:S) 21.2 默认设计 415 gC2}?nq* 21.3 薄膜设计 416 YOLzCnI4 21.4 误差的灵敏度计算 420 +U<YM94? 21.5 显色指数计算 422 $|g1 _;(G 21.6 电场分布 424 9F[3B`w
后记 426 ^wBlQmW7J _-({MX[3k< 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 >R]M:Wx 082iEG {DP9^hg 有需要可以扫码加微联系
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