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Dw_D+7>(v 内容简介 Ts9ktPlm Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 06 i;T~Y 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~>Kq<]3~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (u hd "
d;7uFh|o 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]E3<UR 目录 V5mlJml2( Preface 1 wJeG(h 内容简介 2 ,lt8O.h-l 目录 i t{dSX?<nt 1 引言 1 8 TiG3 2 光学薄膜基础 2 #aar9 2.1 一般规则 2 I7n3xN&4" 2.2 正交入射规则 3 HpVjee 2.3 斜入射规则 6 9MY7a=5E~ 2.4 精确计算 7 LOvHkk@+ 2.5 相干性 8 EpYy3^5d 2.6 参考文献 10 HfB@vw^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 /KCPpERk{ 4 Essential Macleod的特点 32 J~#$J&iKh 4.1 容量和局限性 33 +9XQ[57 4.2 程序在哪里? 33 WGu%7e] 4.3 数据文件 35 ka"337H 4.4 设计规则 35 80pid[F 4.5 材料数据库和资料库 37 _Ov;4nt! 4.5.1材料损失 38 nV*y`.+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O(z}H}Fv 4.5.2 材料库 41 \.uc06 4.5.3导出材料数据 43 $HJTj29/ 4.6 常用单位 43 -nbMTY} 4.7 插值和外推法 46 p|+B3 4.8 材料数据的平滑 50 |Ic`,>XM 4.9 更多光学常数模型 54 DgHaOAdU 4.10 文档的一般编辑规则 55 p\p\q(S"> 4.11 撤销和重做 56 &?,6~qm[ 4.12 设计文档 57 p(F " / 4.10.1 公式 58 FV39QG4b4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "O[j!fG8, 4.10.3 沉积密度 59 I$t3qd{H& 4.10.4 平行和楔形介质 60 #A7jyg": 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &HW1mNF9 4.10.4 性能 61 ZR0r>@M3v< 4.10.5 保存设计和性能 64 kc `V4b% 4.10.6 默认设计 64 (1R?s>3o 4.11 图表 64 w|[RDaA b 4.11.1 合并曲线图 67 o Y}]UB> 4.11.2 自适应绘制 68 (ll*OVL 4.11.3 动态绘图 68 Lw1EWN6}_& 4.11.4 3D绘图 69 ;`YkMS`=W 4.12 导入和导出 73 OZY, @c 4.12.1 剪贴板 73 H*^\h?s 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xNK1h-t 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 N2'qpxOLI 4.13 背景 77 {c?JuV4q? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Ny- [9S-< 4.15 生成Rugate 84 !$;a[Te 4.16 参考文献 91 I04jjr:< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 RyJ 1mAC 5.1 Jobs 92
-t2T(ha 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a ]Eg!Q 5.3 输入材料 94 51C2u)HE 5.4 设计数据文件夹 95 WEg6Kz 5.5 默认设计 95 3.d"rl 6 细化和合成 97 }9HmTr| 6.1 优化介绍 97 kum#^^4G| 6.2 细化 (Refinement) 98 f3j{V N 6.3 合成 (Synthesis) 100 u]-_<YZ'B 6.4 目标和评价函数 101 {5r0v#; 6.4.1 目标输入 102 M->*{D@a 6.4.2 目标 103 0Sq][W= 6.4.3 特殊的评价函数 104 9Jf)!o8 6.5 层锁定和连接 104 aprm0:Q^ 6.6 细化技术 104 U[L9*=P; 6.6.1 单纯形 105 u]NZ`t%AP 6.6.1.1 单纯形参数 106 bzDIhnw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 I:bD~Fb3 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?[<Tx-L 6.6.3 模拟退火算法 109 ?\KM5^eX 6.6.3.1 模拟退火参数 109 9SlNq05G7 6.6.4 共轭梯度 111 fj7|D'c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]M/9#mD9~ 6.6.5 拟牛顿法 112 d)cOhZy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 O%g$9-?F0 6.6.6 针合成 113 ^D^4
YJz 6.6.6.1 针合成参数 114 D(p\0V 6.6.7 差分进化 114 CQ`=V2:"ON 6.6.8非局部细化 115 T _b^ Tc` 6.6.8.1非局部细化参数 115 :@W.K5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *<N3_tx" 6.7.1 细化 116 6qN~/TnHZ 6.7.2 合成 117 6u`F
d# 6.8 参考文献 117 2%*MW"Q 7 导纳图及其他工具 118 )"zvwgaW 7.1 简介 118 dzK{
Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 b|Q)[ y] 7.2.1 四分之一波长规则 119 o1&:ry 7.2.2 导纳图 120 CT0l!J~5m~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 g(VNy@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 } VJfJ/ 7.5 斜入射导纳图 141 .=m,hu~ 7.6 对称周期 141 /bj
<Ft\ 7.7 参考文献 142 Go,N>HN 8 典型的镀膜实例 143 8+]hpa,q 8.1 单层抗反射薄膜 145 ikWtC]y 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 '(?
uPr 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 izh<I0 8.4 W-膜层 148 hA\K</h. 8.5 V-膜层 149 G}
eUL|S 8.6 V-膜层高折射基底 150 x^Yl*iq 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V
f-a'K& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^c~)/F/cF 8.9 四层抗反射薄膜 153 o6f_l^+H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^F?&|clM/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 UobyK3.% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ThPE
0V 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Dnc(l( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z/rP"|EuQ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 NmMIQ@K 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 gP+fN$5'd 8.17 1/4波长堆栈 162 aP'"G^F 8.18 陷波滤波器 163 "V{yi!D{< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )54%HM_$k 8.20 褶皱 165 ih?^t(i 8.21 消偏振分光器1 169 *yl>T^DjTC 8.22 消偏振分光器2 171 >]o}}KF? 8.23 消偏振立体分光器 172 M#|dIbns
H 8.24 消偏振截止滤光片 173 cA6lge<{~ 8.25 立体偏振分束器1 174 L4uFNM] 8.26 立方偏振分束器2 177 Sq:0w 8.27 相位延迟器 178 As+t##gN 8.28 红外截止器 179 4&/j|9=X 8.29 21层长波带通滤波器 180 "c}@V*cO<d 8.30 49层长波带通滤波器 181 '`1CBU$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 Xf)|Pu 8.32 47 红外截止器 183 &uC@|dbC5 8.33 宽带通滤波器 184 Ltjbxw"Qd 8.34 诱导透射滤波器 186 &rkEK4 8.35 诱导透射滤波器2 188 (C]o,7cYS 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 i#%aTRKHd6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A(]H{>PMy 8.35 增益平坦滤波器 193 r\nx= 8.38 啁啾反射镜 1 196 m Sk5u 7 8.39 啁啾反射镜2 198 5k|9gICyd* 8.40 啁啾反射镜3 199 /b|0PMX 8.41 带保护层的铝膜层 200 <0S=,! 8.42 增加铝反射率膜 201 k+1|I)z 8.43 参考文献 202 e8'wG{3A 9 多层膜 204 j5@:a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 <AJ97MLcc 9.2 内部透过率 204 a<]B B$~ 9.3 内部透射率数据 205 :!zl^J; 9.4 实例 206
ccd8O{G.M 9.5 实例2 210 d
GP*O 9.6 圆锥和带宽计算 212 m Z1)wH , 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 PqM1aoyX 10 光学薄膜的颜色 216 tpuYiL 10.1 导言 216 ioPUUUb) 10.2 色彩 216 !bV5Sr^ 10.3 主波长和纯度 220 h$L"8# 10.4 色相和纯度 221 #p[',$cC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 y\{%\ $ 10.6 色差 226 NH_<q"gT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {nU=%w"\ 10.8 颜色渲染指数 234 }MUn/ [x 10.9 色差计算 235 H(Eh c 10.10 参考文献 236 ^k<oT'89 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1
hg}(Hix 11.1 短脉冲 238 aZbw]0q@o 11.2 群速度 239 _#vrb;.+ 11.3 群速度色散 241 (rg;IXAq% 11.4 啁啾(chirped) 245 b%cF 11.5 光学薄膜—相变 245 RoAlf+&Qb 11.6 群延迟和延迟色散 246 sUE?v9 11.7 色度色散 246 C!7>1I~5 11.8 色散补偿 249 :T9<der, 11.9 空间光线偏移 256 }`+B=h-dW 11.10 参考文献 258 D-N8<:cA 12 公差与误差 260 a'\o7_ 12.1 蒙特卡罗模型 260
^eoLAL 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 KF4PJi;* 12.2.1 误差工具 267 |r bWYl.b 12.2.2 灵敏度工具 271 |^@dFOz 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0?>dCu\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `O'`eY1f 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P (S>=,Y& 12.3 参考文献 276 NzNA>[$[ 13 Runsheet 与Simulator 277 %w7]@V Z 13.1 原理介绍 277 @gG<le6 13.2 截止滤光片设计 277 "*})3['n 14 光学常数提取 289 ur$l Z0 14.1 介绍 289 t]Xw{)T 14.2 电介质薄膜 289 jMpD+Mb 14.3 n 和k 的提取工具 295 H<1WbM:w 14.4 基底的参数提取 302 j!3 Gz 14.5 金属的参数提取 306 SB)5@
nmS 14.6 不正确的模型 306 ?mlNL/: 14.7 参考文献 311 cp o-. 15 反演工程 313 Qqlup 15.1 随机性和系统性 313 RVeEkv[qp 15.2 常见的系统性问题 314 +k`!QM>e- 15.3 单层膜 314 ~/*MY 15.4 多层膜 314 GaSPJt 15.5 含义 319 ~,*b }O 15.6 反演工程实例 319 <mAhr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +5XpzZ{#Wa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 T*KMksjxm` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @lvyDu6e 16.1 光学性质的热致偏移 329 PiA0]> 16.2 应力工具 335 jRL<JZ1N 16.3 均匀性误差 339 R+CM`4CD 16.3.1 圆锥工具 339 3$X'Y]5a 16.3.2 波前问题 341 -{ZWo:,r~q 16.4 参考文献 343 B7!3-1<k> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8(* [Fe9 17.1 引言 345 9V5-%Iv 17.2 操作数 345 F+u|HiYG 18 如何在Function中编写脚本 351 p/h
Rk<K6 18.1 简介 351 Q1+dCCY#F 18.2 什么是脚本? 351 ]KmO$4 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 #t+d iR 18.4 基础 352 /i77 18.4.1 Classes(类别) 352 ]9@F~) 18.4.2 对象 352 f&
CBU 18.4.3 信息(Messages) 352 o]opdw 18.4.4 属性 352 pxa( 18.4.5 方法 353 s;A@*Y;v 18.4.6 变量声明 353 KY~-;0x 18.5 创建对象 354
>FkWH7 18.5.1 创建对象函数 355 K>{T_) { 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ih"XV 18.5.3 丢弃对象 356 CvD"sHVq% 18.5.4 总结 356 ~sXcnxLz 18.6 脚本中的表格 357 O6OP =K!t: 18.6.1 方法1 357 }I>tO9M 18.6.2 方法2 357 Ywwu0.H< 18.7 2D Plots in Scripts 358 15sp|$&` 18.8 3D Plots in Scripts 359 VTH>
o>g 18.9 注释 360 *IM;tD+7Q~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 VzVc37Z>6 18.11 一个更高级的脚本 362 *Em,*! 18.12 <esc>键 364 *I0T{~ 18.13 包含文件 365 g
pOC`=
18.14 脚本被优化调用 366 1aTB%F 18.15 脚本中的对话框 368 %QP0 18.15.1 介绍 368 `V04\05 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [)TRTxFb 18.15.3 输入框函数 370 qXwPDq/ 18.15.4 自定义对话框 371 kbe-1 <72 18.15.5 对话框编辑器 371 0ik7v<: 18.15.6 控制对话框 377 t)}scf&^x 18.15.7 更高级的对话框 380 ^t#&@-'(d 18.16 Types语句 384 a5TioQ 18.17 打开文件 385 l~$+,U&XNe 18.18 Bags 387 %B.yW`,X 18.13 进一步研究 388 J
G{3EWXR 19 vStack 389 _BP&n |