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>?M:oUVDU 内容简介 s\o
</ZDo Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 abD55YJY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 D.qbzJz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Q(AOKp,F 4,FkA_k 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zo@>~G3$9 目录 ezwcOYMXK Preface 1 [$.oyjd 内容简介 2 ~,R_ 目录 i .IpwTke' 1 引言 1 k4pvp5}% 2 光学薄膜基础 2 RZ|s[bU 2.1 一般规则 2 1$@k@*u\ 2.2 正交入射规则 3 '4HwS$mW3 2.3 斜入射规则 6 &[S)zR=? 2.4 精确计算 7 y+Q!4A 2.5 相干性 8 HtY\!_Ea 2.6 参考文献 10 "5XD+qi 3 Essential Macleod的快速预览 10 5[I> l 4 Essential Macleod的特点 32 Jd1eOeS 4.1 容量和局限性 33 sXoBw.^Ir_ 4.2 程序在哪里? 33 _}jj>+zA` 4.3 数据文件 35 Ow//#: 4.4 设计规则 35 n{Jvx>); 4.5 材料数据库和资料库 37 o1zc`Ibd 4.5.1材料损失 38 &xH>U*c 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ixiRFBUcF~ 4.5.2 材料库 41 t47 f$gq 4.5.3导出材料数据 43 zd#qBj]g 4.6 常用单位 43 |V!A!tB 4.7 插值和外推法 46 5I T'u3V 4.8 材料数据的平滑 50 axU!o /m> 4.9 更多光学常数模型 54 ^N Et{]x 4.10 文档的一般编辑规则 55 P|HY=RMa 4.11 撤销和重做 56 (jY.S|% 4.12 设计文档 57 J_rCo4} 4.10.1 公式 58 W'gCFX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 tm+}@CM^. 4.10.3 沉积密度 59 = \X<UA} 4.10.4 平行和楔形介质 60 f=/ S]o4/3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 s%4)}w;z 4.10.4 性能 61 s)/i_Oe$\ 4.10.5 保存设计和性能 64 ,iSs2&$m 4.10.6 默认设计 64 \,p) 4.11 图表 64 gvA&F|4 4.11.1 合并曲线图 67 C6'[ Tn 4.11.2 自适应绘制 68 T^A:pL1 4.11.3 动态绘图 68 1`aFL5[0$ 4.11.4 3D绘图 69 >@H:+0h- 4.12 导入和导出 73 Mqw&%dz'_ 4.12.1 剪贴板 73 '^Sa|WXq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 i>)Whr'e8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;=h^"et 4.13 背景 77 ,8$;|#d 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <YJU?G:@ 4.15 生成Rugate 84 P7u5Ykc* 4.16 参考文献 91 hC6$>tl 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 LgUaX 5.1 Jobs 92 +hXph 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hCr7%` 5.3 输入材料 94 [gv2fqpP 5.4 设计数据文件夹 95 OkzfQ
hC} 5.5 默认设计 95 T w"^I*B 6 细化和合成 97 lX5(KUN 6.1 优化介绍 97 ,dh*GJ{5 6.2 细化 (Refinement) 98 {'d?vm!r 6.3 合成 (Synthesis) 100 Lk3@Eu) 6.4 目标和评价函数 101 /}M@
@W 6.4.1 目标输入 102 A|y&\~<A 6.4.2 目标 103 >DbG$V<v' 6.4.3 特殊的评价函数 104 \n<N>j@3 6.5 层锁定和连接 104 KY|Q#i|pM 6.6 细化技术 104 h ?p^DPo 6.6.1 单纯形 105 Y=}b/[s6; 6.6.1.1 单纯形参数 106 K bwWrf> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %f{kT<XHu 6.6.2.1 Optimac参数 108 zyCl`r[} 6.6.3 模拟退火算法 109 xTAC&OCk^[ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {Ja#pt 6.6.4 共轭梯度 111 Z#4? /' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 p(Qm\g< 6.6.5 拟牛顿法 112 zD) 2af 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @.CPZT 6.6.6 针合成 113 {mkYW-4Se 6.6.6.1 针合成参数 114 |(S=G'AtU 6.6.7 差分进化 114 &+*jTE 6.6.8非局部细化 115 X0U{9zP 6.6.8.1非局部细化参数 115 UTs0=:+,t 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]Ff&zBJ 6.7.1 细化 116 IOIGLtB
6.7.2 合成 117 TSuHY0.cp 6.8 参考文献 117 1Z`<HW" 7 导纳图及其他工具 118 Sm,%> 7.1 简介 118 })"9TfC 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 RqcX_x(p 7.2.1 四分之一波长规则 119 KZDB \T 7.2.2 导纳图 120 pQEHWq"Q 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 2I>C A[qp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .6.oqb 7.5 斜入射导纳图 141 V
(X)Qu@R 7.6 对称周期 141 `^w5/v# 7.7 参考文献 142 KgKV(q= 8 典型的镀膜实例 143 [#2= w 8.1 单层抗反射薄膜 145 zo]7# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6dg[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 L:B&`,E 8.4 W-膜层 148 2@^8{ 8.5 V-膜层 149 wetkmd 8.6 V-膜层高折射基底 150 \=83#*KK 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ;J?!D x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0BVMLRB 8.9 四层抗反射薄膜 153 b/S4b 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Rmd;ug9 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !-\*rdE{9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5(DCq(\P* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 e@X~F6nP 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Em
_miU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ]>`Q"g~0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 P^1rNB 8.17 1/4波长堆栈 162 ]`:Fj|> 8.18 陷波滤波器 163 m'429E]\S 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lYy0
8.20 褶皱 165 Iem* 'r 8.21 消偏振分光器1 169
NU_VUd2 8.22 消偏振分光器2 171 )EcF[aO 8.23 消偏振立体分光器 172 |/r@z[t 8.24 消偏振截止滤光片 173 y0=BL 8.25 立体偏振分束器1 174 L!e@T' 8.26 立方偏振分束器2 177 I98wMV8 8.27 相位延迟器 178 2Jj`7VH> 8.28 红外截止器 179 <vbk@d 8.29 21层长波带通滤波器 180 *4.f*3* 8.30 49层长波带通滤波器 181 =#>P! 8.31 55层短波带通滤波器 182 ZY][LU~l8 8.32 47 红外截止器 183 Uvz9x"0[u 8.33 宽带通滤波器 184 2poU\|H 8.34 诱导透射滤波器 186 eL-92]]e 8.35 诱导透射滤波器2 188 *!nS4[d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3HfT9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A)VOv`U@2 8.35 增益平坦滤波器 193 =zbrXtp, 8.38 啁啾反射镜 1 196 -4HI9Czts 8.39 啁啾反射镜2 198 OGae]O< 8.40 啁啾反射镜3 199 Q2k\8i 8.41 带保护层的铝膜层 200 9K%E+_7b 8.42 增加铝反射率膜 201 vguqk!eo4 8.43 参考文献 202
(+Er 9 多层膜 204 H)(Jjk-O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 y6G[-?"/Q 9.2 内部透过率 204 ok[R`99 9.3 内部透射率数据 205 l?#([(WM 9.4 实例 206 47t^{WrT 9.5 实例2 210 SUvHLOA 9.6 圆锥和带宽计算 212 3 #jPQ[+ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [9$>N 10 光学薄膜的颜色 216 XFM6.ye 10.1 导言 216 %=NqxF>> 10.2 色彩 216 67f#Z&r2k 10.3 主波长和纯度 220 J)o~FC]b* 10.4 色相和纯度 221 m4kmJaM 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 s<^UAdLnl 10.6 色差 226 rKR<R(=!= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 iaPY>EP1 10.8 颜色渲染指数 234 )~!Gs/w6 10.9 色差计算 235 2"%d!" 10.10 参考文献 236 OZ7MpQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 II[qWs>RG[ 11.1 短脉冲 238 ;1F3.ibE 11.2 群速度 239 LeO5BmwHR 11.3 群速度色散 241 'JRkS'ay 11.4 啁啾(chirped) 245 7(wY4T 11.5 光学薄膜—相变 245 u6|7P<HUfb 11.6 群延迟和延迟色散 246 o>j3<#? 11.7 色度色散 246 ukhI'alS, 11.8 色散补偿 249 hX[hR 11.9 空间光线偏移 256 @0t,vye 11.10 参考文献 258 !QC-> 12 公差与误差 260 Dwwh;B 12.1 蒙特卡罗模型 260 \t )Zk2 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 bC"#.e 12.2.1 误差工具 267 UG1^G07s 12.2.2 灵敏度工具 271 KS%xo6k. 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5w{_WR6, 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~Edm VEu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 {AQ3y,sh 12.3 参考文献 276 t0hg!_$bq 13 Runsheet 与Simulator 277 YZ'gd10T 13.1 原理介绍 277 NlWIb2, 13.2 截止滤光片设计 277 BcA:M\dK% 14 光学常数提取 289 ~0ZP%1.B3 14.1 介绍 289 6kYn5:BhIi 14.2 电介质薄膜 289 4.R
>mN[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;Wb
W\,P' 14.4 基底的参数提取 302 v')T^b
F@ 14.5 金属的参数提取 306 wYNh0QlBH 14.6 不正确的模型 306 ]LNP"vi; 14.7 参考文献 311 /|hKZTZJdN 15 反演工程 313 Qs</.PO 15.1 随机性和系统性 313 u'P@3'P 15.2 常见的系统性问题 314 6Pd;I,k 15.3 单层膜 314 Z\`uI+` 15.4 多层膜 314 7pr@aA"vgj 15.5 含义 319 d94Lc-kq^ 15.6 反演工程实例 319 Q<Utwk?nL 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |P~TZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 M(SH3~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 c1!h;(& 16.1 光学性质的热致偏移 329 -pyTzC$HO 16.2 应力工具 335 ={8ClUV# 16.3 均匀性误差 339 QnVYZUgJeV 16.3.1 圆锥工具 339 M%yT?R+ 16.3.2 波前问题 341 m$0T" `AP` 16.4 参考文献 343 sIg{a(1/ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 =][[TH 17.1 引言 345 +>37'PD 17.2 操作数 345 1;g>?18@ 18 如何在Function中编写脚本 351 '}]w=2Lf 18.1 简介 351 dsrzXmE0 18.2 什么是脚本? 351 O`Nzn~),x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9boNB"h]T 18.4 基础 352 YDdmT7Ow 18.4.1 Classes(类别) 352 53@*GXzE 18.4.2 对象 352 rS8/_' 18.4.3 信息(Messages) 352 m03;'Nj'7# 18.4.4 属性 352 RE7 I" 18.4.5 方法 353 2NqlE 18.4.6 变量声明 353 ')+'m1N 18.5 创建对象 354 x4R[Q&:M 18.5.1 创建对象函数 355 ^Jsx^? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 qeHb0G 18.5.3 丢弃对象 356 3zv_q&+8b 18.5.4 总结 356 *)H?d 18.6 脚本中的表格 357 k G4v> 18.6.1 方法1 357 c$bb0J% 18.6.2 方法2 357 9;sebqC? 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~Wf&$p<| 18.8 3D Plots in Scripts 359 j^mAJ5 18.9 注释 360 FE" ksi 9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |^8l8u 18.11 一个更高级的脚本 362 9<G-uF 18.12 <esc>键 364 gb(a` 18.13 包含文件 365 #-Ehg4W 18.14 脚本被优化调用 366 Yfs60f 18.15 脚本中的对话框 368 |ILj}4ZA7 18.15.1 介绍 368 -Wb/3X 18.15.2 消息框-MsgBox 368 fiES6VL 18.15.3 输入框函数 370 ezgP\ct 18.15.4 自定义对话框 371 Mx4
<F "9 18.15.5 对话框编辑器 371 +MvcW.W~ 18.15.6 控制对话框 377 d [6[3B 18.15.7 更高级的对话框 380 CcG{+-=H) 18.16 Types语句 384 Uf1i"VY 18.17 打开文件 385 iQ~;to;Y 18.18 Bags 387 {OXKXRCa 18.13 进一步研究 388 9l+'V0?` 19 vStack 389 QcU&G* 19.1 vStack基本原理 389 Akb#1Ww4 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 BRi\&&<4 19.3 五棱镜 393 iLIH |P% 19.4 光束距离 396 5k)/SAU0 19.5 误差 399 d
*!) wt 19.6 二向分色棱镜 399 Lf4c[[@%gd 19.7 偏振泄漏 404 j(AN]g: 19.8 波前误差—相位 405 Cd?aC 19.9 其它计算参数 405 -iLp3m<ai 20 报表生成器 406 :D\M.A 20.1 入门 406 N \1
EWi 20.2 指令(Instructions) 406 ( d#E16y 20.3 页面布局指令 406 8'
M43n 20.4 常见的参数图和三维图 407 Po~{Mpe 20.5 表格中的常见参数 408 [AstD9 20.6 迭代指令 408
|_xU{Pu 20.7 报表模版 408 nYhI0q 20.8 开始设计一个报表模版 409 7k.=_Tl 21 一个新的project 413 ^`XQ>-wWue 21.1 创建一个新Job 414 JPJ&k(P 21.2 默认设计 415 zy^t95/m 21.3 薄膜设计 416 P|`pJYe 21.4 误差的灵敏度计算 420 yr8
b?m.x 21.5 显色指数计算 422 ,UNCBnv1 21.6 电场分布 424 v0+mh] 后记 426 #&u9z5ywM 5 Sm9m*/ 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 J$Uj@M [Q9#44@{S; 1U[Q)(P 有需要可以扫码加微联系
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