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p%OVl[^jp 内容简介 j\.e6&5%SS Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 F[fs^Q6S$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 -{yG+1 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Fo]]j= ux[13]yY 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 za8+=? 目录 M@0S*[O{" Preface 1 rPHM_fW(O@ 内容简介 2 swhtlc@@ 目录 i cr^R9dv 1 引言 1 lI5>d(6p 2 光学薄膜基础 2 q?f-h<yRQ 2.1 一般规则 2 4U[X-AIY& 2.2 正交入射规则 3 &(20*Vn,O 2.3 斜入射规则 6 BJsN~`=r 2.4 精确计算 7 r&XxF> 2.5 相干性 8 >Q)S-4iR 2.6 参考文献 10 ;!m_RQPFF 3 Essential Macleod的快速预览 10 TQ5kT?/{ 4 Essential Macleod的特点 32 e"2x!(&n( 4.1 容量和局限性 33 nYK!'x$ 4.2 程序在哪里? 33 vLCm,Bb2L 4.3 数据文件 35 E7]a# 4.4 设计规则 35 ^9|&w.:@Q 4.5 材料数据库和资料库 37 I;mc:@R< 4.5.1材料损失 38 X d&oERJj 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >lugHF$G 4.5.2 材料库 41 Fk?KR 4.5.3导出材料数据 43 D6EqJ,~ 4.6 常用单位 43 JJP!9< 4.7 插值和外推法 46 NV`7VYU 4.8 材料数据的平滑 50 57$/Dn 4.9 更多光学常数模型 54 /(i~Hpp 4.10 文档的一般编辑规则 55 ay28%[Q b4 4.11 撤销和重做 56 2{L[D9c/6 4.12 设计文档 57 r;fcBepO 4.10.1 公式 58 N&u(9Fxn 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 'EkjySZ]F{ 4.10.3 沉积密度 59 a#3,qp! 4.10.4 平行和楔形介质 60 G<t_=j/r 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "04:1J` 4.10.4 性能 61 6 x8lnXtA 4.10.5 保存设计和性能 64 Ude)$PAe% 4.10.6 默认设计 64 '_xa>T} 4.11 图表 64 ;S+"z;$m 4.11.1 合并曲线图 67 "6iq_!#L 4.11.2 自适应绘制 68 ;7!u(XzN 4.11.3 动态绘图 68 U[!wu]HMF 4.11.4 3D绘图 69 PMiG:bM 4.12 导入和导出 73 v1E(K09h2 4.12.1 剪贴板 73 IPnx5#eB
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .~4DlT 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 RD*.n1N1 4.13 背景 77 BCr*GtR)W 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W-vEh 4.15 生成Rugate 84 et6@);F 4.16 参考文献 91 x4@IK|CE 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0"`|f0}c 5.1 Jobs 92 `I5So-^&z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *&W1|Qkg_ 5.3 输入材料 94
NW?h~2 5.4 设计数据文件夹 95 rE.z.r"O 5.5 默认设计 95 qTnk>g_oS& 6 细化和合成 97 "J3n_3+ 6.1 优化介绍 97 -O[9{`i] 6.2 细化 (Refinement) 98 Y!CGuLHL`[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 /I q6'oo 6.4 目标和评价函数 101 X(K5>L> 6.4.1 目标输入 102 0 oHnam 6.4.2 目标 103 Y;q['h 6.4.3 特殊的评价函数 104 qg8T}y> 6.5 层锁定和连接 104 X!0m, 6.6 细化技术 104 EA!I&
mBq 6.6.1 单纯形 105 }Ym~[S*x 6.6.1.1 单纯形参数 106 4m/L5W:K 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <(2,@_~@r 6.6.2.1 Optimac参数 108 4> (OM|X=9 6.6.3 模拟退火算法 109 B_|jDH#RyJ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 WR4 \dsgCU 6.6.4 共轭梯度 111 Dad*6;+N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b/'RJQSAc 6.6.5 拟牛顿法 112 C)0JcM 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 hjY)W; 6.6.6 针合成 113 nsV;6^> 6.6.6.1 针合成参数 114 pkEqd"G 6.6.7 差分进化 114 .tRWL! 6.6.8非局部细化 115 {@`Z`h"N 6.6.8.1非局部细化参数 115 2sXX0kq~V 6.7 我应该使用哪种技术? 116 MIWI0bnf 6.7.1 细化 116 'B$qq[l]S 6.7.2 合成 117 ,W~a%8* 6.8 参考文献 117 NxQ+z^o\ 7 导纳图及其他工具 118 v8o{3wJ 7.1 简介 118 Y,C3E>}Dq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +"2IQme5 7.2.1 四分之一波长规则 119 9WsGoZPn 7.2.2 导纳图 120 EX^j^#N 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 TZ%u;tBH: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =lqGt.x 7.5 斜入射导纳图 141 H-1y2AQ 7.6 对称周期 141 Ue)8g# 7.7 参考文献 142 `SO"F, 8 典型的镀膜实例 143 xk8P4`;d$ 8.1 单层抗反射薄膜 145 9DP6g<>B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sDvtk]4o-4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dzPwlCC%- 8.4 W-膜层 148 ~T<o?98 8.5 V-膜层 149 )mMHwLDwH 8.6 V-膜层高折射基底 150 RA~%Cw4t 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $^4URH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 U.HeIJ# 8.9 四层抗反射薄膜 153 +gQoYlso 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Jd>"g9 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6P KH% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 }^
j"@{~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @.Pe.\Z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Q>}*l|Ci 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @ \(*pa 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 bl;C=n 8.17 1/4波长堆栈 162 NbtNu$%t 8.18 陷波滤波器 163 h&}XG\ioNA 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %XieKL 8.20 褶皱 165 @4N@cM0
8.21 消偏振分光器1 169 p%v+\T2r 8.22 消偏振分光器2 171 U^$o<2 8.23 消偏振立体分光器 172 P9aGDma 8.24 消偏振截止滤光片 173 GCTf/V\# 8.25 立体偏振分束器1 174 E#=slj@ 8.26 立方偏振分束器2 177 Ph*tZrd*# 8.27 相位延迟器 178 )q48cQ 8.28 红外截止器 179 k )T;WCia 8.29 21层长波带通滤波器 180 T6g(,xPcL 8.30 49层长波带通滤波器 181 iCYo?> 8.31 55层短波带通滤波器 182 mw1|>*X&R 8.32 47 红外截止器 183 45;{tS.z,B 8.33 宽带通滤波器 184 ?Rj)x%fN 8.34 诱导透射滤波器 186 *VFUC: 8.35 诱导透射滤波器2 188 i|5 K4Puu 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 > ^b6\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 W/m,qilQI 8.35 增益平坦滤波器 193 x\m !3 8.38 啁啾反射镜 1 196 pZ,P_? 8.39 啁啾反射镜2 198 Nn],sEs 8.40 啁啾反射镜3 199 "&ElKy
7j 8.41 带保护层的铝膜层 200 jz_\B(m9% 8.42 增加铝反射率膜 201 9
L{JU 8.43 参考文献 202 hi I`ot 9 多层膜 204 9oL/oL-J/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G#&R/Tc5N 9.2 内部透过率 204 ?>V4pgGCE 9.3 内部透射率数据 205 5X5 &(S\ 9.4 实例 206 IZV D.1 9.5 实例2 210 09{B6l6P 9.6 圆锥和带宽计算 212 i-'rS/R 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 R&BbXSIDX 10 光学薄膜的颜色 216 85<zl|ZD 10.1 导言 216 4|*H0}HOm 10.2 色彩 216 E5P?(5Nv 10.3 主波长和纯度 220 |7V:~MTkk& 10.4 色相和纯度 221 $ 4\,a^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 _-^Lr
/`G! 10.6 色差 226 TM8WaH 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |.x |BJ 10.8 颜色渲染指数 234 z
(,%<oX 10.9 色差计算 235 rkdwGqG 10.10 参考文献 236 C~.7m-YW 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 G(-1"7 11.1 短脉冲 238 gQJ y"f 11.2 群速度 239 DbdxHuKa> 11.3 群速度色散 241 <j93 11.4 啁啾(chirped) 245 s5X .(;+ 11.5 光学薄膜—相变 245 :bxq%D%|o 11.6 群延迟和延迟色散 246 d`U{-?N> 11.7 色度色散 246 >W=
0N( 11.8 色散补偿 249 2-9'zN0u 11.9 空间光线偏移 256 ,[rh7_ 11.10 参考文献 258 [.O3z*[9# 12 公差与误差 260 OchIEF"N 12.1 蒙特卡罗模型 260 _
13M 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !A(*?0` 12.2.1 误差工具 267 @tvAI2W 12.2.2 灵敏度工具 271 5+<<:5_6l 12.2.2.1 独立灵敏度 271
[]D@"Bz 12.2.2.2 灵敏度分布 275 6>! ;g'k 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 rAK}rNxI 12.3 参考文献 276 R^Wed 13 Runsheet 与Simulator 277 %Y"@VcN 13.1 原理介绍 277 6vrMR&#a 13.2 截止滤光片设计 277 `2S G{5o; 14 光学常数提取 289 20G..>zW 14.1 介绍 289 gw0b>E8gZ& 14.2 电介质薄膜 289 D}1Z TX_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 4@D 8{?$~Q 14.4 基底的参数提取 302 F2yc&mXyk 14.5 金属的参数提取 306 **L . !/ 14.6 不正确的模型 306 U$j*{`$4 14.7 参考文献 311 kK]JN 15 反演工程 313 a)'^'jm)4 15.1 随机性和系统性 313 SG1fu<Q6J 15.2 常见的系统性问题 314 w:l/B
'%]Y 15.3 单层膜 314 `wt*7~'= 15.4 多层膜 314 FWNO/)~t 15.5 含义 319 {umdW
x.* 15.6 反演工程实例 319 )J& |