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kInU,/R* 内容简介 &BxZ}JH=k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G'T:l("l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 g3| 62uDF 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 HSj=g}r P$v9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !j%#7 目录 7-Mm+4O9 Preface 1 c[+uwO~ 内容简介 2 9j>LU<Z 目录 i 24I\smO 1 引言 1 Hrg -5_ 2 光学薄膜基础 2 9Pql\]9"o 2.1 一般规则 2 P TH'-G 2.2 正交入射规则 3 |t6 :4'] 2.3 斜入射规则 6 Ksf f]##H 2.4 精确计算 7 2*@@Bw.XA 2.5 相干性 8 p5Wz.n.<' 2.6 参考文献 10 .23Yqr'zT 3 Essential Macleod的快速预览 10 y_M,p?]^, 4 Essential Macleod的特点 32 D+xPd< 4.1 容量和局限性 33 =JE5/ 4.2 程序在哪里? 33 a8 .x=j< 4.3 数据文件 35 *?~&O.R" 4.4 设计规则 35 LMaY}m> 4.5 材料数据库和资料库 37 L=&dJpyfT 4.5.1材料损失 38 ~\OZEEI 4.5.1材料数据库和导入材料 39 (5GjtFojY| 4.5.2 材料库 41 3vj1FbY 4.5.3导出材料数据 43 ^WUG\@B 4.6 常用单位 43 .R_-$/ZP 4.7 插值和外推法 46 \# _w=gs<i 4.8 材料数据的平滑 50 -r%k)4_ 4.9 更多光学常数模型 54 8Z>=sUMQ 4.10 文档的一般编辑规则 55 4tlLh`-8 4.11 撤销和重做 56 c JOT{ 4.12 设计文档 57 4Un%p7Y~ 4.10.1 公式 58 $
S]l% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3M"eAK([ 4.10.3 沉积密度 59 'wjL7PI 4.10.4 平行和楔形介质 60 fl+2'~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 zt2#6v 4.10.4 性能 61 >k8FUf(c 4.10.5 保存设计和性能 64 jg3T1ROL 4.10.6 默认设计 64 -] `OaL! 4.11 图表 64 Vi>`g{\ 4.11.1 合并曲线图 67 Cznp(z 4.11.2 自适应绘制 68 HFW8x9Cc 4.11.3 动态绘图 68 m^KK
#Hw/` 4.11.4 3D绘图 69 #\&64 4.12 导入和导出 73 &5n0J 4.12.1 剪贴板 73 MNocXK 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 tr<0NV62> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 "bA8NQIP 4.13 背景 77 ~IQw?a.E 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lr9s`>9 4.15 生成Rugate 84 0[R7HX-@ 4.16 参考文献 91 /=g$_m@yWI 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 !h>aP4ofT 5.1 Jobs 92 |g!3f 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .Lp\Jyegs 5.3 输入材料 94 sh;>6xB 5.4 设计数据文件夹 95 L+Q.y~ 5.5 默认设计 95 kmM->v 6 细化和合成 97 7i88iT 6.1 优化介绍 97 li&&[=6A 6.2 细化 (Refinement) 98 VH6J
@m 6.3 合成 (Synthesis) 100 1{?5/F \ + 6.4 目标和评价函数 101 ~JTp8E9kw
6.4.1 目标输入 102 ,XYtoZa 6.4.2 目标 103
t&H3yV 6.4.3 特殊的评价函数 104 nE=,=K~ 6.5 层锁定和连接 104 +t*Ks_V,* 6.6 细化技术 104 CYZ0F5+t 6.6.1 单纯形 105 et}%E9 6.6.1.1 单纯形参数 106 !1xX)XD4y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8}{W.np_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 DgKe!w$ 6.6.3 模拟退火算法 109 !@9G9<NK 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >tTu1#t 6.6.4 共轭梯度 111 e#s-MK-Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 M`tNYs]V 6.6.5 拟牛顿法 112
f~w!Z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 X^)vZL? 6.6.6 针合成 113 L[O.]2 6.6.6.1 针合成参数 114 D}]u9jS1 6.6.7 差分进化 114 0tEe
$9eK@ 6.6.8非局部细化 115 /s "Lsbe 6.6.8.1非局部细化参数 115 5'S~PQka* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,g:\8*Y>' 6.7.1 细化 116 xH>2$ ;f 6.7.2 合成 117 j S<."a/n 6.8 参考文献 117 -gVsOX0 7 导纳图及其他工具 118 Hg2Rcl 7.1 简介 118 h4tAaPcS+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^e(*{K;8 7.2.1 四分之一波长规则 119 Rv)>xw 7.2.2 导纳图 120 /eY}0q% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 i?B(I4a!G 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 zaG1 7.5 斜入射导纳图 141 8 EUc
6 7.6 对称周期 141 DgODTxiX 7.7 参考文献 142 rVv4R/3+ 8 典型的镀膜实例 143 }$Z0v` 8.1 单层抗反射薄膜 145 Zx 5Ue#I 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 !M;><b}=5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 i^hEL2S/A 8.4 W-膜层 148 y8$I= 8.5 V-膜层 149 1i/&t[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 V~fPp"F 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 wAF<_NG# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T[ltOQw?Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 E@_]L<Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f8S! FGiNc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [(m+Ejzi% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?XB[awTD~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 z~Is
E8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 4x"9Wr=} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 giORc
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9qI#vHA 8.17 1/4波长堆栈 162 PdSYFJM 8.18 陷波滤波器 163 ]?lUe5F 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 !pxOhO.V 8.20 褶皱 165 AI#.G7'O 8.21 消偏振分光器1 169 E~`l/ W 8.22 消偏振分光器2 171 X{ f#kB]w 8.23 消偏振立体分光器 172 "-R19SpJKh 8.24 消偏振截止滤光片 173 [^0 S#,L 8.25 立体偏振分束器1 174 T,/:5L9 8.26 立方偏振分束器2 177
Pzte!]B 8.27 相位延迟器 178 S(PU"}vZy 8.28 红外截止器 179 lw=!v%L 8.29 21层长波带通滤波器 180 tA{hx- 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^=[b]*V 8.31 55层短波带通滤波器 182 /Jf}~}JP 8.32 47 红外截止器 183 og`K!d~ 8.33 宽带通滤波器 184 qyL!>kZr@ 8.34 诱导透射滤波器 186 NM+(ss' 8.35 诱导透射滤波器2 188 v@QfxV2 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 OCEhwB0 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A.cNOous| 8.35 增益平坦滤波器 193 OE=.@Ry" 8.38 啁啾反射镜 1 196 [Zne19/ 8.39 啁啾反射镜2 198 *9tRhRc 8.40 啁啾反射镜3 199 w@x||K= Z 8.41 带保护层的铝膜层 200 cf,^7,-`" 8.42 增加铝反射率膜 201 ]h%~'8g, 8.43 参考文献 202 0SV4p. 9 多层膜 204 IsiBn(1Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )4^Sz &\ 9.2 内部透过率 204 /~3kkM(Ty 9.3 内部透射率数据 205 =[LUOOR*] 9.4 实例 206 Y(F>;/AA 9.5 实例2 210 Ogu";p( 9.6 圆锥和带宽计算 212 ffR<G&"n~b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?H!QV;ku 10 光学薄膜的颜色 216 Y3O/`-9i 10.1 导言 216 t&Jrchk 10.2 色彩 216 %+@<T<>J<k 10.3 主波长和纯度 220 Wo{4*~f 10.4 色相和纯度 221 sB wzb 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ou{VDE 10.6 色差 226 =0mn6b9-= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 o^W.53yX 10.8 颜色渲染指数 234 FD/=uIXH2 10.9 色差计算 235 R5=M{ 10.10 参考文献 236 ?*&5`Xh 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 v]y=+* A 11.1 短脉冲 238 88Vl1d&b 11.2 群速度 239 <=]:ED $V@ 11.3 群速度色散 241 uZa)N-=b2 11.4 啁啾(chirped) 245 La$?/\Dv) 11.5 光学薄膜—相变 245 ,:8oVq>? 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;]>a7o 11.7 色度色散 246 B^Hhrz! 11.8 色散补偿 249 r*UE>_3J 11.9 空间光线偏移 256 ^/)%s 3 11.10 参考文献 258 %xdyGAl: 12 公差与误差 260 <3laNk 12.1 蒙特卡罗模型 260 |?t}7V#[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 10CRgrZ 12.2.1 误差工具 267 o]<J&<WM 12.2.2 灵敏度工具 271 aSIoq}c( 12.2.2.1 独立灵敏度 271 R%6KxN)+@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dH)\zCt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 PAXm 12.3 参考文献 276 Cy6%f? j 13 Runsheet 与Simulator 277 Pr3>}4M 13.1 原理介绍 277 V^< Zs//7 13.2 截止滤光片设计 277 UZ!It>
14 光学常数提取 289 Bi7&yS5V 14.1 介绍 289 FiKGB\_] 14.2 电介质薄膜 289 |eK^Yhym 14.3 n 和k 的提取工具 295 vf-8DB 14.4 基底的参数提取 302 0zE(:K 14.5 金属的参数提取 306 h059 DiH 14.6 不正确的模型 306 uOPLJ?% 14.7 参考文献 311 KebC$g@W 15 反演工程 313 f1q0*)fk 15.1 随机性和系统性 313 "] ]aF1 15.2 常见的系统性问题 314 \hP.Q;"MtO 15.3 单层膜 314 ;0-R"c)- 15.4 多层膜 314 bJ]blnH 15.5 含义 319 n(
zzH 15.6 反演工程实例 319 QObHW[:F 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 M=4`^.Ocm 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Esf\Bo" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 akzKX} 16.1 光学性质的热致偏移 329 f1
`E- 16.2 应力工具 335 nZ[`Yrq)0 16.3 均匀性误差 339 AE=E"l1] 16.3.1 圆锥工具 339 =lL)g"xX 16.3.2 波前问题 341 ohi0_mBz 16.4 参考文献 343 V0xO:7G^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .gY=<bG/fA 17.1 引言 345 |CPyCM$ 17.2 操作数 345 04:QEC"9mj 18 如何在Function中编写脚本 351 8zQN[[#n 18.1 简介 351 Li9>RY+3 18.2 什么是脚本? 351 XO}SPf- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (?ZS9&y} 18.4 基础 352 j+Q+.39s-~ 18.4.1 Classes(类别) 352 ,%U\@*6= 18.4.2 对象 352 cXK.^@du 18.4.3 信息(Messages) 352 #lF 2qw 18.4.4 属性 352 V6_~"pRR= 18.4.5 方法 353 .\8LL,zT 18.4.6 变量声明 353 ,,G'Zur7 18.5 创建对象 354 Dlz1"|SF 18.5.1 创建对象函数 355
%$=2tfR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~'N+O K 18.5.3 丢弃对象 356 'ql<R0g 18.5.4 总结 356 cyB2=, 18.6 脚本中的表格 357 1i;Cw/mr 18.6.1 方法1 357 zN/nKj: Q 18.6.2 方法2 357 dg&GMo 18.7 2D Plots in Scripts 358 Wz;@Rl|F 18.8 3D Plots in Scripts 359 Kf`/ Gc! 18.9 注释 360 ( +(bw4V/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ynJ)6n7a 18.11 一个更高级的脚本 362 `:Zgq+j& 18.12 <esc>键 364 UTqKL*p523 18.13 包含文件 365 DuIgFp 18.14 脚本被优化调用 366 6E9o*YSk 18.15 脚本中的对话框 368 W
Haf}.V 18.15.1 介绍 368 }>_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "8E=*2fcw 18.15.3 输入框函数 370 b^"mQ 18.15.4 自定义对话框 371 ol}}c6 18.15.5 对话框编辑器 371 S 9;FD 3 18.15.6 控制对话框 377 Z9i~>k 18.15.7 更高级的对话框 380 Lm+E? Ca 18.16 Types语句 384 ]PB95% 18.17 打开文件 385 iYGa4@/uM 18.18 Bags 387 /!U(/ 18.13 进一步研究 388 q><wzCnRu~ 19 vStack 389 umt(e:3f5 19.1 vStack基本原理 389 v!AfIcEV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 [d=BN ,? 19.3 五棱镜 393 #4V->I 19.4 光束距离 396 ~J
>Jd 19.5 误差 399 3?TUt{3g 19.6 二向分色棱镜 399 sn+ kFvk}S 19.7 偏振泄漏 404 f6m
h_l 19.8 波前误差—相位 405 %!R\-Vej 19.9 其它计算参数 405 lDVgW}o@ 20 报表生成器 406 a!.Y@o5Ku 20.1 入门 406 uM9Gj@_ 20.2 指令(Instructions) 406 /as+ TU`A 20.3 页面布局指令 406 $5@[l5cJU; 20.4 常见的参数图和三维图 407 0>
QqsQ 20.5 表格中的常见参数 408 dJ~Occ 1~r 20.6 迭代指令 408 D4*_/,} 20.7 报表模版 408 O7p=|F" 20.8 开始设计一个报表模版 409 Ct$\!|aR 21 一个新的project 413 L;=LAQ6[ 21.1 创建一个新Job 414 0CI\Yd= 21.2 默认设计 415 TRr%]qd{Hr 21.3 薄膜设计 416 DH uUEv< 21.4 误差的灵敏度计算 420 rj/nn)vv; 21.5 显色指数计算 422 A2.4#Qb' 21.6 电场分布 424 vnqLcNB H 后记 426 'fZ\uMdTx 0|,Ij$ 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 Ac\e>N  4W=fQx] $p*.[) 有需要可以扫码加微联系
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