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5qkyi]/U8 内容简介 $I9U.~* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 d,o|>e$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )#,a'~w 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 f+2mX"Z[F 6dYa07 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 BipD8`a 目录 9!6u Yf+ Preface 1 z\Z+>A 内容简介 2 0,6!6>BOT 目录 i qKs"L^b 1 引言 1 (i-L: 2 光学薄膜基础 2 <SRo2rjRa 2.1 一般规则 2 ;.7]zn.X]2 2.2 正交入射规则 3 vX$|/74 2.3 斜入射规则 6 3lgD,_& 2.4 精确计算 7 i"n1E@
2.5 相干性 8 8x9;3{R 2.6 参考文献 10 0&c<1; 3 Essential Macleod的快速预览 10 GQ*or>R1 4 Essential Macleod的特点 32 >n%ckL|rG 4.1 容量和局限性 33 3vEwui-5 4.2 程序在哪里? 33 4r9AU mJqw 4.3 数据文件 35 E/_n}$Z 4.4 设计规则 35 7+rroCr" 4.5 材料数据库和资料库 37 'i 8`LPQ 4.5.1材料损失 38 x/%/MFK)>8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 cd4HbSp 4.5.2 材料库 41 q[c^`5 4.5.3导出材料数据 43 0I*{CVTQj 4.6 常用单位 43 'N/u<`) 4.7 插值和外推法 46 TU9$5l/;g 4.8 材料数据的平滑 50 ge%tj O 4.9 更多光学常数模型 54 <M\#7.]( 4.10 文档的一般编辑规则 55 MFqb_q+ 4.11 撤销和重做 56 8[oZ>7LMzC 4.12 设计文档 57 o1[[!~8e 4.10.1 公式 58 svMu85z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 J n'SGR 4.10.3 沉积密度 59 \Lm`jU(:l 4.10.4 平行和楔形介质 60 8/-hODoT_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 YH&0Vy#c$ 4.10.4 性能 61 qrcir-+ 4.10.5 保存设计和性能 64 D`)K3;h 4.10.6 默认设计 64 y.::d9v 4.11 图表 64 5zH_yZ@+ 4.11.1 合并曲线图 67 #m3!U(Og` 4.11.2 自适应绘制 68 Bu4@FIK!C 4.11.3 动态绘图 68 ;V84Dy#b 4.11.4 3D绘图 69 v R!
y# 4.12 导入和导出 73 ubl)$jZ:Q 4.12.1 剪贴板 73 n{"a0O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 w+hpi5OH 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 P5v;o9B& 4.13 背景 77 Gl9,!"A 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 K/8TwB?I 4.15 生成Rugate 84 @E=77Jn[px 4.16 参考文献 91 fj[Kbo 7!h 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 L!~ap 5.1 Jobs 92 Ce} m_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3lN@1jlh 5.3 输入材料 94 18>v\Hi< 5.4 设计数据文件夹 95 Bx|h)e9 5.5 默认设计 95 p+${_w>pl{ 6 细化和合成 97 <A&Zl&^1 6.1 优化介绍 97 . $
HE 6.2 细化 (Refinement) 98 C9eisUM 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,Eo\(j2F. 6.4 目标和评价函数 101 )oZ2,]us! 6.4.1 目标输入 102 }bnodb^.7 6.4.2 目标 103 /b410NP5 6.4.3 特殊的评价函数 104 -f"{%<Q 6.5 层锁定和连接 104 J{$c| 6.6 细化技术 104 6u{%jSA>D\ 6.6.1 单纯形 105 Ka$lNL3<j 6.6.1.1 单纯形参数 106 @%r"7%tq> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 bl#6B.*= 6.6.2.1 Optimac参数 108 )QI#szv6 6.6.3 模拟退火算法 109 mBQpf/PG 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]^<\a=U 6.6.4 共轭梯度 111 >".@; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L),bPfz 6.6.5 拟牛顿法 112 M0%nGpVj> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &5QvUn 6.6.6 针合成 113 KIY9?B=+ 6.6.6.1 针合成参数 114 qpq(< 6.6.7 差分进化 114 /`j2%8^N 6.6.8非局部细化 115 _.SpU`>/f 6.6.8.1非局部细化参数 115 lz_ r 6.7 我应该使用哪种技术? 116 c!mMH~# 6.7.1 细化 116 :)%cL8Nz]$ 6.7.2 合成 117 W?n/>DML 6.8 参考文献 117 kA9 k^uR/ 7 导纳图及其他工具 118 zO0K*s.yK 7.1 简介 118
#p-\Y7f 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 cvYKZB 7.2.1 四分之一波长规则 119 :bXTV?#0
7.2.2 导纳图 120 lHE+o;- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 W3n[qVZIC 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +P.JiH`\= 7.5 斜入射导纳图 141 ypx`!2Q$ 7.6 对称周期 141 $9Gra# 7.7 参考文献 142 "+hUt 8 典型的镀膜实例 143 )M8@|~~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 {~#d_!( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 D!i|KI/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 juxAyds 8.4 W-膜层 148 >2NsBS( 8.5 V-膜层 149 5[~C!t; 8.6 V-膜层高折射基底 150
!$<Kp6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Y]i:$X]C?X 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 aj-:JTf 8.9 四层抗反射薄膜 153 c*R18,5- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <"av /`; 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?F~0\T,7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 IEWl
I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Zt
1nH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 |I3&a=, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^BP4l_rO9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]PbwG 8.17 1/4波长堆栈 162 }xY|z"& 8.18 陷波滤波器 163 GqgJ ]m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 6` 3kNk; 8.20 褶皱 165 `!ZkWF6 8.21 消偏振分光器1 169 b(> G 8.22 消偏振分光器2 171 nWUau:% 8.23 消偏振立体分光器 172 P#"_H}qC* 8.24 消偏振截止滤光片 173 J~ wu*x 8.25 立体偏振分束器1 174 {fMo#`9= 8.26 立方偏振分束器2 177 |WW'qg]Uu 8.27 相位延迟器 178 l
s%'\} 8.28 红外截止器 179 =q[ynZ8O\w 8.29 21层长波带通滤波器 180 jI$7vmO 8.30 49层长波带通滤波器 181 VYrs4IFT$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 eGo$F2C6E 8.32 47 红外截止器 183 U[:Js@uH_ 8.33 宽带通滤波器 184 ZT+{8, 8.34 诱导透射滤波器 186 ~L.5;8a3Pe 8.35 诱导透射滤波器2 188 {6F]w_\ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 9xL`i-7] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~u r}6T 8.35 增益平坦滤波器 193 <XzRRCYQ 8.38 啁啾反射镜 1 196 )7Oj 8.39 啁啾反射镜2 198 ?l`|j* 8.40 啁啾反射镜3 199 FQcm= d_s 8.41 带保护层的铝膜层 200 ?:W=ddg 8.42 增加铝反射率膜 201 OGW0lnQ/ 8.43 参考文献 202 !@>:k3DC& 9 多层膜 204 2gnz= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ub[UB%(T 9.2 内部透过率 204 #*G}v%Ow/u 9.3 内部透射率数据 205 'f6!a5qC 9.4 实例 206 Ex{;&UWm 9.5 实例2 210 e{.P2rnh 9.6 圆锥和带宽计算 212 c43&[xPLz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 /1r{z1pv\ 10 光学薄膜的颜色 216 r1sA^2g. 10.1 导言 216 j0S[JpoF 10.2 色彩 216 'JAe=K
H 10.3 主波长和纯度 220 d)0 hAdh 10.4 色相和纯度 221 ,MD>Jx| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Dj
w#{WR 10.6 色差 226 DMT2~mh 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (KR.dxzjf 10.8 颜色渲染指数 234 D
\boF+^ 10.9 色差计算 235 oSP^
.BJ$ 10.10 参考文献 236 Qq\hD@Z| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Rz33_ qA 11.1 短脉冲 238 ?#L5V'ZZ* 11.2 群速度 239 5%" 0 11.3 群速度色散 241 ),0Ea~LB4 11.4 啁啾(chirped) 245 &lW~ot1, 11.5 光学薄膜—相变 245 [V;Q#r&+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 5WI0[7 11.7 色度色散 246 ?<soX8_1 11.8 色散补偿 249 K?V'
?s 11.9 空间光线偏移 256 YTfMYH=} 11.10 参考文献 258 j7C&&G q 12 公差与误差 260 smX&B,&@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 fJn4'Q*U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 z!^3%kJJ> 12.2.1 误差工具 267 EyV6uk~ 12.2.2 灵敏度工具 271 |LE*R@|3$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <:~'s]`zf 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _\AT_Zmy 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 {-s7_\|p( 12.3 参考文献 276 Il!#] 13 Runsheet 与Simulator 277 6CzN[R} 13.1 原理介绍 277 n^rzl6dy 13.2 截止滤光片设计 277 YuzgR;Z 14 光学常数提取 289 '>UQsAvm 14.1 介绍 289 )H<F([Jri 14.2 电介质薄膜 289 g]}E1H6- 14.3 n 和k 的提取工具 295 fMZc_dsW9 14.4 基底的参数提取 302 AO0aOX8_+D 14.5 金属的参数提取 306 ['@R]Si"! 14.6 不正确的模型 306 C?PgC~y) 14.7 参考文献 311 iR4!X() 15 反演工程 313 U\;mM\2rE 15.1 随机性和系统性 313 @ {8xL 15.2 常见的系统性问题 314 N x/_+JWje 15.3 单层膜 314 9'h4QF+Y 15.4 多层膜 314 UC?i>HsJrX 15.5 含义 319 > ^d+;~Q; 15.6 反演工程实例 319 =p$:vW 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 O%busM$P)/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 'M3V#5l)@| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 H,U qU3b3 16.1 光学性质的热致偏移 329 %hb!1I 16.2 应力工具 335
c|~f[ 16.3 均匀性误差 339 {b26DKkQS 16.3.1 圆锥工具 339 M1=y-3dW3 16.3.2 波前问题 341 \ dZD2e4 16.4 参考文献 343 2]-xmS>|b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 c"CF&vTp 17.1 引言 345 7a'@NgiGg 17.2 操作数 345 ^+Stvj:N 18 如何在Function中编写脚本 351 !$.h[z^ 18.1 简介 351 5\P3JoH:Yg 18.2 什么是脚本? 351 c!>",rce 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 jxA*Gg3cT5 18.4 基础 352 ? Eh)JJt 18.4.1 Classes(类别) 352 "(SZ;y 18.4.2 对象 352 ~JxAo\2i 18.4.3 信息(Messages) 352 jRo4+8 18.4.4 属性 352 St~a/Lq6 18.4.5 方法 353 Rac4a@hZ 18.4.6 变量声明 353 uOnyU+fZV 18.5 创建对象 354 99..] 18.5.1 创建对象函数 355 >EIV`|b$h 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ao.v]6a 18.5.3 丢弃对象 356 ,daZKxT 18.5.4 总结 356 P
:D6w){ 18.6 脚本中的表格 357 <bxp/#6D 18.6.1 方法1 357 334tg'2] 18.6.2 方法2 357 9x9~u8j 18.7 2D Plots in Scripts 358 !Typ_Cs 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?*)wQZt; 18.9 注释 360 i2+vUl|;Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4+_r0 18.11 一个更高级的脚本 362 8t
Ef> 18.12 <esc>键 364 ]R s 18.13 包含文件 365 (3M7 RpsL@ 18.14 脚本被优化调用 366 q<*UeyE
S 18.15 脚本中的对话框 368 by%k*y 18.15.1 介绍 368 ^\zf8kPti 18.15.2 消息框-MsgBox 368 60&4?<lR4 18.15.3 输入框函数 370 ~J,e^$u 18.15.4 自定义对话框 371 .|9o`mF7 18.15.5 对话框编辑器 371 >@NGX-gp 18.15.6 控制对话框 377 8q#Be1u<s2 18.15.7 更高级的对话框 380 8st~ O 18.16 Types语句 384 b".e6zev 18.17 打开文件 385 L=."<,\ 18.18 Bags 387 @G;\gJT* 18.13 进一步研究 388 4P\?vz" 19 vStack 389 C [h^bBq 19.1 vStack基本原理 389 EzDQoN7Em 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 F/I`EV 19.3 五棱镜 393 l&1R`g cW 19.4 光束距离 396 ^`XTs!. 19.5 误差 399 O'}
%Bjl 19.6 二向分色棱镜 399 z4yV1 19.7 偏振泄漏 404 zL,B? 19.8 波前误差—相位 405 17{$D,P 19.9 其它计算参数 405 <X,0\U!lL 20 报表生成器 406 IrZ!.5%tV 20.1 入门 406 Lw!Q*3c 20.2 指令(Instructions) 406 m=uW:~ 20.3 页面布局指令 406 /}=Bi- 20.4 常见的参数图和三维图 407 9:tn!<^=I 20.5 表格中的常见参数 408 F ak"u'~ 20.6 迭代指令 408 2XN];,{ 20.7 报表模版 408 HQOz 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?H2{R: 21 一个新的project 413 &=d0'3k> 21.1 创建一个新Job 414 j\S}TaH0e 21.2 默认设计 415 aV'r
oxM 21.3 薄膜设计 416 )mVpJYt; 21.4 误差的灵敏度计算 420 4Cdl^4(LT 21.5 显色指数计算 422 8QYM/yAM 21.6 电场分布 424 %[9d1F3 后记 426 56
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