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98zJ?NaD& 内容简介 UAI'tRYN_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <Fl.W}?Q} 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Ix=(f0| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 yG# x*\9 JGzEm>_m 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !,7)ZW?*8 目录 (8W?ym Preface 1 ^q}phj3E 内容简介 2 $Zrc-tkV 目录 i Je'%EJ 1 引言 1 pnv)D}" 2 光学薄膜基础 2 G [yI[7=d 2.1 一般规则 2 PP_ar{|7 2.2 正交入射规则 3 &,/-<y-S 2.3 斜入射规则 6 PEKXPFN 2.4 精确计算 7 mG*Yv 2.5 相干性 8 4>HQ2S{t 2.6 参考文献 10 VF<VyWFC0` 3 Essential Macleod的快速预览 10 Qq.Ja%Zq 4 Essential Macleod的特点 32 d.U"lP/)D 4.1 容量和局限性 33 vhU
$GG8 4.2 程序在哪里? 33 -7I%^u 4.3 数据文件 35 %wJ>V-\e 4.4 设计规则 35 \:Hh'-77q 4.5 材料数据库和资料库 37 >dDcm 4.5.1材料损失 38 <@n3vO6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 W{}M${6& 4.5.2 材料库 41 E|VTbEYG 4.5.3导出材料数据 43 =$kSn\L, 4.6 常用单位 43 Ob|tA 4.7 插值和外推法 46 W>u$x=<T 4.8 材料数据的平滑 50 Y1DbBDk 4.9 更多光学常数模型 54 7zNfq.Ni~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 BUBtK-n~"3 4.11 撤销和重做 56 A;;OGJ,!\ 4.12 设计文档 57 ZZeF1y[q 4.10.1 公式 58 `7 Nk; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 a{}8030S 4.10.3 沉积密度 59 HIlTt 4.10.4 平行和楔形介质 60 $cO-+Mr-~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z Hl+P*) 4.10.4 性能 61 P[ , 4.10.5 保存设计和性能 64 c#fSt}J>C 4.10.6 默认设计 64 # *7ImEN 4.11 图表 64 `P*PCiZos 4.11.1 合并曲线图 67 #<w2xR]: 4.11.2 自适应绘制 68 GkdxwuRw 4.11.3 动态绘图 68 }A<fCm7 4.11.4 3D绘图 69 @`SlOKz!= 4.12 导入和导出 73 $h1pL>^J 4.12.1 剪贴板 73 '"V]>) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~2XiKY;W? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 "!o|^nN, 4.13 背景 77 qD}O_<_1ym 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 cN:ek|r 4.15 生成Rugate 84 5pxw[c53# 4.16 参考文献 91 l27J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 7I:<i$)V 5.1 Jobs 92 TzV~I\a| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Vf$q3X 5.3 输入材料 94 69``j{Z+ 5.4 设计数据文件夹 95 4m_CPe 5.5 默认设计 95 6[]O3Aa 6 细化和合成 97 o5w = 6.1 优化介绍 97 !4+@b
s 6.2 细化 (Refinement) 98 SKSI\]Cc 6.3 合成 (Synthesis) 100 k=.pcDX 6.4 目标和评价函数 101 8wzQr2: 6.4.1 目标输入 102 R lmeZy4.
6.4.2 目标 103 V_H0z 6.4.3 特殊的评价函数 104 b5UIX Kim 6.5 层锁定和连接 104 -+ Mh('K 6.6 细化技术 104 [mG:PTK3 6.6.1 单纯形 105 /h K/t; 6.6.1.1 单纯形参数 106 o:RO(oA0? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 esHcE{GNOS 6.6.2.1 Optimac参数 108 m)xz_Plc 6.6.3 模拟退火算法 109 A}0u-W 6.6.3.1 模拟退火参数 109
.v#Tj|w^ 6.6.4 共轭梯度 111 +C`zI~8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]=sGLd^)E 6.6.5 拟牛顿法 112 M{`uI8vD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Ccy0!re 6.6.6 针合成 113 ne'Y {n(8% 6.6.6.1 针合成参数 114 G/_9!lE 6.6.7 差分进化 114 [kPF J f 6.6.8非局部细化 115 ?lQ-HO Aw 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]*yUb-xY 6.7 我应该使用哪种技术? 116 - f%J_` 6.7.1 细化 116 3rVWehCv 6.7.2 合成 117 ,V #r 6.8 参考文献 117 4k=LVu]Kcr 7 导纳图及其他工具 118 d?1[xv; 7.1 简介 118 sKGR28e 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 $or8z2d1 7.2.1 四分之一波长规则 119 #~;:i 7.2.2 导纳图 120 E9PD1ADR 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !wEz=
i 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `EzC'e 7.5 斜入射导纳图 141 [X'u={ 7.6 对称周期 141 vo]$[Cp|4 7.7 参考文献 142 vI+X9C? 8 典型的镀膜实例 143 U:O&FE 8.1 单层抗反射薄膜 145 2)+ddel<Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &s_)|K 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 kZH IzU 8.4 W-膜层 148 !1ZrS 8.5 V-膜层 149 +p_>fO 8.6 V-膜层高折射基底 150 g7<u eF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 C;oT0( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v
L!?4k 8.9 四层抗反射薄膜 153 DeRC_ [ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 dp#'~[ j 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ev%}\^Vl[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 kU[#.
y=%p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 v[=TPfX0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 b0lZb' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R{SN.% {; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 RI-)Qx&!f 8.17 1/4波长堆栈 162 2sNV09id 8.18 陷波滤波器 163 "*0h=x$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 /WJ+e 8.20 褶皱 165 04QY
x}a 8.21 消偏振分光器1 169 WxI_wRKx 8.22 消偏振分光器2 171 0N4+6k| 8.23 消偏振立体分光器 172 "o>gX'm* 8.24 消偏振截止滤光片 173 Q[.HoqWK 8.25 立体偏振分束器1 174 KPMId`kf 8.26 立方偏振分束器2 177 %LeZd}v 8.27 相位延迟器 178 ?D`h[ai 8.28 红外截止器 179 t{Xf3. 8.29 21层长波带通滤波器 180 4Q
n5Mr@< 8.30 49层长波带通滤波器 181 I\:(`)"r 8.31 55层短波带通滤波器 182 Vo:Gp 8.32 47 红外截止器 183 v* /}s :a 8.33 宽带通滤波器 184 $g!~T!p= 8.34 诱导透射滤波器 186 rk .tLk 8.35 诱导透射滤波器2 188 p}O[A` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 a C< 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9a lMC 8.35 增益平坦滤波器 193 7\sR f/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Mg76v<mv< 8.39 啁啾反射镜2 198 bO\E)%zp 8.40 啁啾反射镜3 199 e!JC5Al7 8.41 带保护层的铝膜层 200 :~{x'`czJ 8.42 增加铝反射率膜 201 3X
A8\Mg 8.43 参考文献 202 m03]SF(#3 9 多层膜 204 Y; OqdO 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 B gB]M3Il 9.2 内部透过率 204 0)T`&u3! 9.3 内部透射率数据 205 leomm+f^ 9.4 实例 206 {m2lVzK 9.5 实例2 210 F1UTj"<e 9.6 圆锥和带宽计算 212 STY\c5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !$5.\D 10 光学薄膜的颜色 216 [
bB
10.1 导言 216 !%s&GD8&l 10.2 色彩 216 _k2*2db 10.3 主波长和纯度 220 @#= ail 10.4 色相和纯度 221 ej9|Y5D"S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :Mq-4U.e 10.6 色差 226 ppu WcGo 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 A,'JmF$d
10.8 颜色渲染指数 234 qe"t0w|U? 10.9 色差计算 235 fKN&0N|^R 10.10 参考文献 236 `(@}O?w!1 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?*h2:a$ 11.1 短脉冲 238 FqT2+VO~ 11.2 群速度 239 X=U >r 11.3 群速度色散 241 qS{E+) P 11.4 啁啾(chirped) 245 vsL)E:0 11.5 光学薄膜—相变 245 6 (@U+` 11.6 群延迟和延迟色散 246 v;m}<3@' 11.7 色度色散 246 "UDV4<|^k 11.8 色散补偿 249 I"1H]@"= 11.9 空间光线偏移 256 .*zWm 11.10 参考文献 258 }uaRS9d 12 公差与误差 260 drc]"6 k 12.1 蒙特卡罗模型 260 cun&'JOH?U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 oPPxjag\ 12.2.1 误差工具 267 C_~hX G 12.2.2 灵敏度工具 271 +^\TG>le 12.2.2.1 独立灵敏度 271 bm:"&U*tu' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 jR[3{ Reo 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8vL2<VT; 12.3 参考文献 276 .3QX*]{ 13 Runsheet 与Simulator 277 F}Kkhs
{ 13.1 原理介绍 277 ;@R=CQ6 13.2 截止滤光片设计 277 eumpNF%$ 14 光学常数提取 289 ?=\&O=_ln 14.1 介绍 289 6~@S,i1 14.2 电介质薄膜 289 vL,:Yn@b 14.3 n 和k 的提取工具 295 0~:Eo89 14.4 基底的参数提取 302 WK<:(vu. 14.5 金属的参数提取 306 3r]:k)J 14.6 不正确的模型 306 ^UEExjf 14.7 参考文献 311 2sryhS'(H 15 反演工程 313 QxaW
x 15.1 随机性和系统性 313 d}2$J1` 15.2 常见的系统性问题 314 Jiv%Opo/| 15.3 单层膜 314 :4V8Iz 71 15.4 多层膜 314 <HC5YA)4 15.5 含义 319 S);SfNh%CL 15.6 反演工程实例 319 yD-L:)@" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 F^/1 u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %gb4(~E+N 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 BS_ 3| 16.1 光学性质的热致偏移 329 +nj
2 16.2 应力工具 335 ^-&BGQM 16.3 均匀性误差 339 K_" denzT+ 16.3.1 圆锥工具 339 c :{#H9 16.3.2 波前问题 341 OrJuE[R. 16.4 参考文献 343 ?2zbZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }CCTz0[D" 17.1 引言 345 k+D"LA%J 17.2 操作数 345 ip`oL_c 18 如何在Function中编写脚本 351 7l~d_<h 18.1 简介 351 BsJ
d*-:X 18.2 什么是脚本? 351 @3Lh/& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 q|}%6ztv- 18.4 基础 352 |*T3TsP u 18.4.1 Classes(类别) 352 ;;zQV D )X 18.4.2 对象 352 S1Nwm?z 18.4.3 信息(Messages) 352 M:9
6QM~ 18.4.4 属性 352 +'lj\_n 18.4.5 方法 353 O_kBAC-|R( 18.4.6 变量声明 353 R'udC} 18.5 创建对象 354 -*<4 hFb 18.5.1 创建对象函数 355 s)L\D$;+O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5C|Y-G 18.5.3 丢弃对象 356 I+VL~'VlS 18.5.4 总结 356 5!b+^UR;z 18.6 脚本中的表格 357 X^td`}F/=V 18.6.1 方法1 357 LrGLIt` 18.6.2 方法2 357 U $2"ZyFii 18.7 2D Plots in Scripts 358 hp$/O4fD 18.8 3D Plots in Scripts 359 Nf!g1D"U 18.9 注释 360 EDA%qNd]j 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &&daQg4Ha 18.11 一个更高级的脚本 362 Bo#,)%80 18.12 <esc>键 364 2:6W_[7l! 18.13 包含文件 365 s<XAH7?0 18.14 脚本被优化调用 366 VbG#)>"F 18.15 脚本中的对话框 368 d5z=fH9 18.15.1 介绍 368 C+m%_6< 18.15.2 消息框-MsgBox 368 5Qh$>R4!" 18.15.3 输入框函数 370 9*&c2jh 18.15.4 自定义对话框 371 c;13V(Djy 18.15.5 对话框编辑器 371 6${=N}3Kw 18.15.6 控制对话框 377 'e(]woe 18.15.7 更高级的对话框 380 -91*VBrOd 18.16 Types语句 384 Sf>#Zqj/ 18.17 打开文件 385 cs]h+yE 18.18 Bags 387 hb. ^& 18.13 进一步研究 388 #B!HPlrv 19 vStack 389 (2J\o 19.1 vStack基本原理 389 =.48^$LWx 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 x_+-TC4IXn 19.3 五棱镜 393 vH?rln 19.4 光束距离 396 $SOFq+-T 19.5 误差 399 F<+!28&h 19.6 二向分色棱镜 399 1
O?bT,"b 19.7 偏振泄漏 404 E^`-:L(_ 19.8 波前误差—相位 405 4F`&W*x 19.9 其它计算参数 405 BI| TM2oa 20 报表生成器 406 -\9K'8 C 20.1 入门 406 +7KRoF | 20.2 指令(Instructions) 406 `w_%HVw>" 20.3 页面布局指令 406 ;xl0J*r 20.4 常见的参数图和三维图 407 1s _N!a 20.5 表格中的常见参数 408 T\wfYuc&X 20.6 迭代指令 408 N;q)[Dr 20.7 报表模版 408 KPrH1 [VU 20.8 开始设计一个报表模版 409
ogvB{R 21 一个新的project 413 F+SqJSa 21.1 创建一个新Job 414 A`:a
T{j 21.2 默认设计 415 67g"8R#.V 21.3 薄膜设计 416 KSAE!+ 21.4 误差的灵敏度计算 420 UasU/Q < 21.5 显色指数计算 422 W8_$]}G8E 21.6 电场分布 424 M-8`zA2 后记 426 @g5qcjD'[ Q@
Ze+IhK` 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 F;L8FL-  KK}ox%j ~JS BZ@ 有需要可以扫码加微联系
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