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TU%bOAKF\ 内容简介 _KN:
o10U Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 yyjw?#\8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &atyDFJ' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 m<3w^mww s%O Y<B@V2 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |kc@L`7s 目录 V9Hl1\j^ Preface 1 t0.;nv@A0 内容简介 2 e}e6r3faz 目录 i ?2ItTrlB 1 引言 1 xG1?F_] 2 光学薄膜基础 2 T)~!mifX 2.1 一般规则 2 o<rsAe 2.2 正交入射规则 3 n[P\*S 2.3 斜入射规则 6 Im+7<3Z 2.4 精确计算 7 Zw#<E
=\ 2.5 相干性 8 m8+:=0|$ 2.6 参考文献 10 ceG&,a$\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Bzw19S6y 4 Essential Macleod的特点 32 ?A&%Cwj 4.1 容量和局限性 33 SO_>c+Dw 4.2 程序在哪里? 33 1O0X-C,wo$ 4.3 数据文件 35 #A )Ab%r8" 4.4 设计规则 35 JD*8@N 4.5 材料数据库和资料库 37 ~j"3}wXc5 4.5.1材料损失 38 (hN?:q?' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *V DVC0R 4.5.2 材料库 41 dlR_ckp 4.5.3导出材料数据 43 qnXTNs
?b 4.6 常用单位 43 En\Z#0,V 4.7 插值和外推法 46 'yr{^Pek 4.8 材料数据的平滑 50 Du!._ 4.9 更多光学常数模型 54 (A4&k{C_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 pV=@sz,G 4.11 撤销和重做 56 `*k@4.J{ 4.12 设计文档 57 PJK9704 6 4.10.1 公式 58 ?Oc
- aa 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 9yL6W'B! 4.10.3 沉积密度 59 >
c:Zx! 4.10.4 平行和楔形介质 60 RG}}Oh="v 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 D5L{T+}Oi% 4.10.4 性能 61 ,v7Q *3 4.10.5 保存设计和性能 64 J|5Ay1eF-
4.10.6 默认设计 64 :,~K]G 4.11 图表 64 f3#X0.': 4.11.1 合并曲线图 67 SiTeB)/ 4.11.2 自适应绘制 68 M*`hDdS 4.11.3 动态绘图 68 8UM0vNk 4.11.4 3D绘图 69 #xp(B5 4.12 导入和导出 73 (w$'o*z;( 4.12.1 剪贴板 73 iRt*A6`m+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z_n\5. 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 3{RL \gh$" 4.13 背景 77 q.T:0| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 th
2<o5 4.15 生成Rugate 84 x0<^<D &Q 4.16 参考文献 91 FN\GE\H 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 [K:29N9~4 5.1 Jobs 92 C:j]43` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 IaasHo\ 5.3 输入材料 94 n&d/?aJ7a\ 5.4 设计数据文件夹 95 &<0ZUI |S3 5.5 默认设计 95 @GeHWv 6 细化和合成 97 ~kb{K; 6.1 优化介绍 97 a+
GJVJ 6.2 细化 (Refinement) 98 kEP<[K 6.3 合成 (Synthesis) 100 h<NRE0- 6.4 目标和评价函数 101 |' ;7v)CIG 6.4.1 目标输入 102 eY}V9*.v 6.4.2 目标 103 MLS;SCl 6.4.3 特殊的评价函数 104 AC4 l<:Yh 6.5 层锁定和连接 104 0( //D;j 6.6 细化技术 104 U^ ?=
0+ 6.6.1 单纯形 105 (U9a@1 6.6.1.1 单纯形参数 106 Oy$<QXj/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 D=&K&6rr 6.6.2.1 Optimac参数 108 GOVAb' 6.6.3 模拟退火算法 109 hSMV&Cs 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (h,Ws-O 6.6.4 共轭梯度 111 DsQ/aG9c% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 BX3lPv 6.6.5 拟牛顿法 112 ~L'nzquF 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 6Xa.0(h 6.6.6 针合成 113 +)gB9DoK 6.6.6.1 针合成参数 114 jBRPR
R0 6.6.7 差分进化 114 ],&\%jd< 6.6.8非局部细化 115 F1c&0*_A 6.6.8.1非局部细化参数 115 !G+u j( 6.7 我应该使用哪种技术? 116 0p3vE,pF 6.7.1 细化 116 uvv.WbZ 6.7.2 合成 117 XeU<^ [ 6.8 参考文献 117 [hnK/4! 7 导纳图及其他工具 118 P4 6,o 7.1 简介 118 j)L1H*
S% 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9,WG!4:+W
7.2.1 四分之一波长规则 119 MGybGbd 7.2.2 导纳图 120 }4h0bI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zYr z08PJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 2 ~-( A 7.5 斜入射导纳图 141 RIjM(P 7.6 对称周期 141 8*Zvr&B,G 7.7 参考文献 142 )4uq
iA6 8 典型的镀膜实例 143 9L"?wv 8.1 单层抗反射薄膜 145 * nCx[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :e2X/tl# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9h&yuS'Yj 8.4 W-膜层 148 Z,aGtJ.a'9 8.5 V-膜层 149 @?a4i 8.6 V-膜层高折射基底 150 #LWg" i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &+- e 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \h#9oPy 8.9 四层抗反射薄膜 153 $G3@< BIN 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 or.\)(m#( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0;cuX@A/a? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ? s4oDi|: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )X%oXc&C| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 j_c+.iET 8.15十五层宽带抗反射膜 159 PL@7KDQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 4 Py3I9 8.17 1/4波长堆栈 162 F*\4l;NJ 8.18 陷波滤波器 163 ]]y[t|6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 hBy*09Sv 8.20 褶皱 165 !gJzg*{u@ 8.21 消偏振分光器1 169 7LdzZS0OM 8.22 消偏振分光器2 171 {u4i*udG`) 8.23 消偏振立体分光器 172 3'^S3W% 8.24 消偏振截止滤光片 173 |^!Vo&T 8.25 立体偏振分束器1 174 A:)sg!Lt 8.26 立方偏振分束器2 177 zq=&4afOE 8.27 相位延迟器 178 e5L1er;6 8.28 红外截止器 179 A^L?_\e6 8.29 21层长波带通滤波器 180 T 9MzUV& 8.30 49层长波带通滤波器 181 # JFYws 8.31 55层短波带通滤波器 182 KBj@V6Q 8.32 47 红外截止器 183 AysL-sqR 8.33 宽带通滤波器 184
%mL5+d-oP 8.34 诱导透射滤波器 186 5p{25N_t 8.35 诱导透射滤波器2 188 tvCcyD%w 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 s9 &)Fv-#V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 kyu2)L2u 8.35 增益平坦滤波器 193 5\3 swP_7 8.38 啁啾反射镜 1 196 {83C,C- 8.39 啁啾反射镜2 198 iLQSa7 8.40 啁啾反射镜3 199 bq: [Nj 8.41 带保护层的铝膜层 200 BjB&[5?z 8.42 增加铝反射率膜 201 6"%@L{UQ 8.43 参考文献 202 Q-3r}jJe 9 多层膜 204 nfa_8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 X*)?LxTj 9.2 内部透过率 204 y]7%$*
< 9.3 内部透射率数据 205 Yfe'#MKfL 9.4 实例 206 /Bh> 9.5 实例2 210 M$F{N 9.6 圆锥和带宽计算 212 Enu!u~1]F 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [.ey_}X8 10 光学薄膜的颜色 216 pbPz$Y 10.1 导言 216 FN>L7
*,0 10.2 色彩 216 7oD
y7nV4 10.3 主波长和纯度 220 ^K"ZJ6?+1 10.4 色相和纯度 221 ;*nh=w 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f&f`J/( 10.6 色差 226 %pH)paRAP 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ygMd$0:MN 10.8 颜色渲染指数 234 pL8H8kn 10.9 色差计算 235 '!AT 10.10 参考文献 236 2G
ZF/9} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 k~{Fnkt 11.1 短脉冲 238 O/(3 87= U 11.2 群速度 239 LNaeB(z" 11.3 群速度色散 241 40R"^* 11.4 啁啾(chirped) 245 q ?(A!1(u 11.5 光学薄膜—相变 245 (x}A_i 11.6 群延迟和延迟色散 246 b-2pzcK{# 11.7 色度色散 246 k]t,q$Vd 11.8 色散补偿 249 ]9#CVv[rq 11.9 空间光线偏移 256 l},dQ4R 11.10 参考文献 258 Ndo}Tk! 12 公差与误差 260 eU`;L[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 )4@M`8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &ycjSBK 12.2.1 误差工具 267 ,tau9>! 12.2.2 灵敏度工具 271 *3!(*F@M, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 N`f!D>b:dn 12.2.2.2 灵敏度分布 275 KuIkul9^% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 h|K\z{ A 12.3 参考文献 276
c^rC8E 13 Runsheet 与Simulator 277 K*TnUQ 13.1 原理介绍 277 *+NGi(N 13.2 截止滤光片设计 277 #,t2*tM 14 光学常数提取 289 zMbfV%b 14.1 介绍 289 I+*osk 14.2 电介质薄膜 289 n'q
aR<bY 14.3 n 和k 的提取工具 295 $K`_
K#A 14.4 基底的参数提取 302 "tfn?n0 14.5 金属的参数提取 306 _MGNKA6JI 14.6 不正确的模型 306 iK ohuZr 14.7 参考文献 311 uPI v/&HA 15 反演工程 313 <_=JMA5 15.1 随机性和系统性 313 ur?d6a 15.2 常见的系统性问题 314 4s[`yV
15.3 单层膜 314 B.V?s,U 15.4 多层膜 314 joxS+P5# 15.5 含义 319 f$Gr`d 15.6 反演工程实例 319 Ga]47pQ"F 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9
aY'0wa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 W^^K0yn`@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 bjuYA/w< 16.1 光学性质的热致偏移 329 >?^~s(t 16.2 应力工具 335 h1n*WQ- 16.3 均匀性误差 339 n>u.3wL 16.3.1 圆锥工具 339 G%xb0%oi]% 16.3.2 波前问题 341 \El|U#$u' 16.4 参考文献 343 d&/^34gn 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3X,]=f@_ 17.1 引言 345 ue,#,3{m 17.2 操作数 345 F~tm`n8Z 18 如何在Function中编写脚本 351 _`TepX R 18.1 简介 351 `)0Rv|? 18.2 什么是脚本? 351 1[26w_B3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 kEp.0wL' 18.4 基础 352 += X).X0K 18.4.1 Classes(类别) 352 OG0r4^6Ly 18.4.2 对象 352 2 9&sydu 18.4.3 信息(Messages) 352 =6.8bZT\ 18.4.4 属性 352 83mlZ1jQz 18.4.5 方法 353 6"BtfQ") 18.4.6 变量声明 353 m\<<oIlH 18.5 创建对象 354 Ask' ! 18.5.1 创建对象函数 355 b7?U8/#' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 *jYHd#UZx4 18.5.3 丢弃对象 356 i}.{m Et 18.5.4 总结 356 Zkf 3t>[ 18.6 脚本中的表格 357 pem3G5
`g= 18.6.1 方法1 357 ZC3tbhV 18.6.2 方法2 357 b=6MFPbg 18.7 2D Plots in Scripts 358 #JK;&Dg! 18.8 3D Plots in Scripts 359
f$:7A0 18.9 注释 360 s-QM6* 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )B-MPuB 18.11 一个更高级的脚本 362 FZ[@])B 18.12 <esc>键 364 jA20c(O 18.13 包含文件 365 xI=}z 18.14 脚本被优化调用 366 u5xU)l3 18.15 脚本中的对话框 368 + ")qi= 18.15.1 介绍 368 B'WCN&N 18.15.2 消息框-MsgBox 368 8QkWgd7y 18.15.3 输入框函数 370 sN}s61 18.15.4 自定义对话框 371 w$w>N(e 18.15.5 对话框编辑器 371 -@EBbM& 18.15.6 控制对话框 377 A[sM{i~Z 18.15.7 更高级的对话框 380 b&\3ps 18.16 Types语句 384 '5|Q<5!o 18.17 打开文件 385 W?*Xy6",JF 18.18 Bags 387
zjluX\ 18.13 进一步研究 388
:BewH?Ku 19 vStack 389 oV0LJ% 19.1 vStack基本原理 389 .Q=2WCv0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3::3r}g 19.3 五棱镜 393 DFt=%aV[ 19.4 光束距离 396 ?aK'OIo 19.5 误差 399 LK'S)Jk 19.6 二向分色棱镜 399 6vD]@AF 19.7 偏振泄漏 404 @<@R=aqE 19.8 波前误差—相位 405 21[K[ % 19.9 其它计算参数 405 4A\BGD*5 20 报表生成器 406 /|4Q9= 20.1 入门 406 no~O R Q 20.2 指令(Instructions) 406 9_M H 20.3 页面布局指令 406 c,v^A+sZu 20.4 常见的参数图和三维图 407 =yk Rki 20.5 表格中的常见参数 408 QLn5#x~xb 20.6 迭代指令 408 Jcwh|w9D8 20.7 报表模版 408 O:oU`vE 20.8 开始设计一个报表模版 409 1kB'sc3N! 21 一个新的project 413 {pcf;1^t 21.1 创建一个新Job 414 4_6W s$x 21.2 默认设计 415 jRv;D#Hp 21.3 薄膜设计 416 _~X8/p/Qh 21.4 误差的灵敏度计算 420 LG/=+[\{E 21.5 显色指数计算 422 c]AKeq] 21.6 电场分布 424 dXA{+<!! 后记 426 1M%{Uqsd - ZI2K-z'e 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 /t$+Af,} W%Y.SP$Y i#pjv'C 有需要可以扫码加微联系
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