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T~~$=vP9 内容简介 +8vzkfr3It Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 b\Xu1> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 n.qxxzEN 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oQjB&0k4 g;Sg
2 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 gc8PA_bFz 目录 Y /ac}q Preface 1 g
/ @yK 内容简介 2 qL;T&h 目录 i G$kwc
F'C 1 引言 1 $I6eHjYT 2 光学薄膜基础 2 'hi\98y 2.1 一般规则 2 F?,&y)ri 2.2 正交入射规则 3 {LJ6't 8y: 2.3 斜入射规则 6 .8PO7# 2.4 精确计算 7 =&b$W/l)0 2.5 相干性 8 z9kX`M+ 2.6 参考文献 10 0|> 3 Essential Macleod的快速预览 10 Qx,$)|_ 4 Essential Macleod的特点 32 cxJK>%84 4.1 容量和局限性 33 gWv+i/, 4.2 程序在哪里? 33 \^( vlcy 4.3 数据文件 35 tD0>(41K 4.4 设计规则 35 oY6|h3T=Q$ 4.5 材料数据库和资料库 37 }:D~yEP 4.5.1材料损失 38 |tJ%:`DGw 4.5.1材料数据库和导入材料 39 MJ/%$ 4.5.2 材料库 41 ]%Yis=v 4.5.3导出材料数据 43 i7FR78^ 4.6 常用单位 43 68GGS`& 4.7 插值和外推法 46 |mE+f]7$ 4.8 材料数据的平滑 50 @[kM1:G-F{ 4.9 更多光学常数模型 54 lgqL)^8A 4.10 文档的一般编辑规则 55 [
EID27P 4.11 撤销和重做 56 q.b4m 'J 4.12 设计文档 57 utl=O 4.10.1 公式 58 Tl7:}X<? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *|#JFy?c[ 4.10.3 沉积密度 59 v9` B.(Ru 4.10.4 平行和楔形介质 60 a<"& RnG( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 _xL&sy09t 4.10.4 性能 61 /FV6lR!0^ 4.10.5 保存设计和性能 64 vrnj}f[h 4.10.6 默认设计 64 m'"VuH?^ 4.11 图表 64 A-Pwi.$ 4.11.1 合并曲线图 67 9}0Jc(B/x 4.11.2 自适应绘制 68 M-K@n$k 4.11.3 动态绘图 68 5a|m}2IX 4.11.4 3D绘图 69 !=:MG#p 4.12 导入和导出 73 I_I;.Ik 4.12.1 剪贴板 73 W
(c\$2` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O8N0 ]Mz 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &r5%WRzpYT 4.13 背景 77 -x\l<\* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _7"W\gn:9 4.15 生成Rugate 84 RkP|_Bf8) 4.16 参考文献 91 d#:J\2V"R 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 p}|wO&4h 5.1 Jobs 92 4x?u5L
9o 5.2 创建一个新Job(工作) 93 UkbQ'P+oS 5.3 输入材料 94 H1qw1[%0y 5.4 设计数据文件夹 95 `[:1!I.}- 5.5 默认设计 95 "_@+/Iy. 6 细化和合成 97 5qfKV&D 6.1 优化介绍 97 E/P53CD 6.2 细化 (Refinement) 98 NWwtq&pz2 6.3 合成 (Synthesis) 100 5N+(Gv[`" 6.4 目标和评价函数 101 dB)hW'J? 6.4.1 目标输入 102 UZ3Aq12U}a 6.4.2 目标 103 RW[<e 6.4.3 特殊的评价函数 104 78~V/L;@S2 6.5 层锁定和连接 104 }e=GvWGa 6.6 细化技术 104 #&KE_n 6.6.1 单纯形 105 &0Zk3D4 6.6.1.1 单纯形参数 106 (wF$"c3'{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 !
e,(Zz5 6.6.2.1 Optimac参数 108 =V]i?31[ 6.6.3 模拟退火算法 109 l"y9XO| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3CuoBb8 6.6.4 共轭梯度 111 }gRLW2&mR> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \1'R}B@; 6.6.5 拟牛顿法 112 3^yWpSC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }eFUw 6.6.6 针合成 113 G*p.JsZP 6.6.6.1 针合成参数 114 tS|zf,7 6.6.7 差分进化 114 pytfsVM 6.6.8非局部细化 115 @Hdg-f>y] 6.6.8.1非局部细化参数 115 ms<u YLp 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Jd6Q 9~z# 6.7.1 细化 116 ^F9zS`Yz2 6.7.2 合成 117 #f;1f8yrN 6.8 参考文献 117 n7.lF 7 导纳图及其他工具 118 5MU@g*gj,C 7.1 简介 118 Z*"t]L 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 k\Tm?^L) 7.2.1 四分之一波长规则 119 '6J$X- 7.2.2 导纳图 120 yZaDNc9' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 2czL 1Ci 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HTpd~W/\ 7.5 斜入射导纳图 141 D I[^H 7.6 对称周期 141 e;r-}U 7.7 参考文献 142 [;8fL 8 典型的镀膜实例 143 @|A&\a-"J 8.1 单层抗反射薄膜 145 @5GP;3T 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 pvxqeC9` 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 urjp&L& 8.4 W-膜层 148 g]JI}O*5 8.5 V-膜层 149 5z]KkPQ 8.6 V-膜层高折射基底 150 R!xc$`N 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 g~u!,Zc 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Z i&X ,K~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 yE{UV>ry 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 i.,B
0s]Z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O4mWsr 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 NZ9,9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 vu >@_hv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 m]pvJJ@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o!0a8i 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 sJ()ItU5i 8.17 1/4波长堆栈 162 v3#47F) 8.18 陷波滤波器 163 I@v.Hqg+7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1&E&8In]$r 8.20 褶皱 165 8#-}3~l[ 8.21 消偏振分光器1 169 MRu+:Y=K 8.22 消偏振分光器2 171 D)6|| z} 8.23 消偏振立体分光器 172 NO1]JpR 8.24 消偏振截止滤光片 173 P^+>QJ1 8.25 立体偏振分束器1 174 * OFT)S 8.26 立方偏振分束器2 177 Py<vN! 8.27 相位延迟器 178 e{S`iO 8.28 红外截止器 179 "+Rm4_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 b~echOj 8.30 49层长波带通滤波器 181 24l9/v' 8.31 55层短波带通滤波器 182 2b1:Tt9 8.32 47 红外截止器 183 ^>uGbhBp 8.33 宽带通滤波器 184 5OE?;PJ( 8.34 诱导透射滤波器 186 6Z:|"AwC2 8.35 诱导透射滤波器2 188 .1M>KRSr, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wt,N<L 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i/B"d,=< 8.35 增益平坦滤波器 193 4}j}8y2)H 8.38 啁啾反射镜 1 196 .<hv&t
8.39 啁啾反射镜2 198 Pw1H)<X
8.40 啁啾反射镜3 199 X/"H+l 8.41 带保护层的铝膜层 200 Id1[}B-T
8.42 增加铝反射率膜 201 VlvDodV 8.43 参考文献 202 '-{jn+, 9 多层膜 204 2Z |kf9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 JOk`emle 9.2 内部透过率 204 jL>r*=K)% 9.3 内部透射率数据 205 9a unv 9.4 实例 206 ST.W{:X 9.5 实例2 210 >48Y-w 9.6 圆锥和带宽计算 212 VtFh1FDI\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j+seJg<_ 10 光学薄膜的颜色 216 p%'((!a2 10.1 导言 216 g`8|jg0]`I 10.2 色彩 216 qI:wm= 10.3 主波长和纯度 220 ['<rfK 10.4 色相和纯度 221 `dhK$jYD 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 "w1jr 6" 10.6 色差 226 o,I642R~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 yKJp37R 10.8 颜色渲染指数 234 @"0qS:s]X 10.9 色差计算 235 ,"v% 10.10 参考文献 236 =?hlgQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !h\3cs`QU 11.1 短脉冲 238 eS|p3jk; 11.2 群速度 239 u@Lu.t!], 11.3 群速度色散 241 -Zh+5;8g 11.4 啁啾(chirped) 245 q\<vCKI-^ 11.5 光学薄膜—相变 245 d=XhOC$ 11.6 群延迟和延迟色散 246 6dp~19T^ 11.7 色度色散 246 6(=:j"w0 11.8 色散补偿 249 ~x+w@4)a> 11.9 空间光线偏移 256 `P~RG.HO 11.10 参考文献 258 dewu@ 12 公差与误差 260 ]]4E)j8 12.1 蒙特卡罗模型 260 B~IOM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 fA^ O 12.2.1 误差工具 267 R<)uvW_@ 12.2.2 灵敏度工具 271 s zg1.& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Qt$Q/<8U 12.2.2.2 灵敏度分布 275 "%Ak[04' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 }e$);A| 12.3 参考文献 276 V !$m{)Y 13 Runsheet 与Simulator 277 #S5vX<"9 13.1 原理介绍 277 d8>D=Ve 13.2 截止滤光片设计 277 sQvEUqy9 14 光学常数提取 289 f!yxS?j3 14.1 介绍 289 CT : ac64 14.2 电介质薄膜 289 LO229`ARr| 14.3 n 和k 的提取工具 295 )yk
LUse+ 14.4 基底的参数提取 302 UJI1n?~ 14.5 金属的参数提取 306 A`KTm( 14.6 不正确的模型 306 V/Tp&+Z.c 14.7 参考文献 311 %-dGK)? 15 反演工程 313 ]!QeJ'BLM 15.1 随机性和系统性 313 -?[:Zn~$a 15.2 常见的系统性问题 314 aSj$62G" 15.3 单层膜 314 S@_GjCpn 15.4 多层膜 314 mP-+];gg 15.5 含义 319 J=sQ].EK 15.6 反演工程实例 319 S=Zjdbd 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 V}*b^<2o5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 TBpW/wz/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 $8Zw<aEJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 >9DgsA`' 16.2 应力工具 335 CH2o[& 16.3 均匀性误差 339 8PQ& 7o 16.3.1 圆锥工具 339 sbVeB%k 16.3.2 波前问题 341 #q-t!C%E 16.4 参考文献 343 ~b+>o 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4 ClW*l 17.1 引言 345 Y#G '[N> 17.2 操作数 345 5ZPl`[He 18 如何在Function中编写脚本 351 3^Ex_jeB 18.1 简介 351 #Rs7Ieu+ 18.2 什么是脚本? 351 n V<YwqK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ]ba<4:[Go 18.4 基础 352 82$^pg> 18.4.1 Classes(类别) 352 J&5|'yVX 18.4.2 对象 352 2c}kiqi{ 18.4.3 信息(Messages) 352 eI@O9<.& 18.4.4 属性 352 IL<5Suz: 18.4.5 方法 353 nQ mkDPjU 18.4.6 变量声明 353 J[9jNCq| 18.5 创建对象 354 u5lj+? 18.5.1 创建对象函数 355 g\ke,r6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 /];F4AO5 18.5.3 丢弃对象 356 .w0? 18.5.4 总结 356 =U:iR 18.6 脚本中的表格 357 \"5 \hX~dS 18.6.1 方法1 357 C'{Z?M> 18.6.2 方法2 357 HLS^Ga,( 18.7 2D Plots in Scripts 358 'h:4 Fzo< 18.8 3D Plots in Scripts 359 5K8\hoW{ 18.9 注释 360 i'a M#4V 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 CxO)d7c 18.11 一个更高级的脚本 362 sg3%n0Ms.W 18.12 <esc>键 364 7JujU.&{6 18.13 包含文件 365 o;"!#Z 1SJ 18.14 脚本被优化调用 366 @x)z" )> 18.15 脚本中的对话框 368 1@/+ c 18.15.1 介绍 368 >
vgqf>)kk 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |/q *Fg[f 18.15.3 输入框函数 370 qoEOM%dAqV 18.15.4 自定义对话框 371 !OiP<8 ,H 18.15.5 对话框编辑器 371 L,R9jMx?_ 18.15.6 控制对话框 377 YyI|^f8C 18.15.7 更高级的对话框 380 /6>2,S8Ar 18.16 Types语句 384 l9n8v\8,o 18.17 打开文件 385 BV<LIrAS 18.18 Bags 387 *G=n${' 18.13 进一步研究 388 wTOB' 19 vStack 389 Bs^W0K$uBO 19.1 vStack基本原理 389 E;%{hAD{ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "3Ec0U \s 19.3 五棱镜 393 pxP7yJL` 19.4 光束距离 396 8,%y`tUn>u 19.5 误差 399 q+SDJ?v 19.6 二向分色棱镜 399 M5D,YC3< 19.7 偏振泄漏 404
!Qn:PSk 19.8 波前误差—相位 405 a-hF/~84S: 19.9 其它计算参数 405 olh|.9Kdj} 20 报表生成器 406 :V`q;g 20.1 入门 406 jLZ+HYyG9 20.2 指令(Instructions) 406 M[N|HsI8? 20.3 页面布局指令 406 HgbJsv$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 7pkc*@t 20.5 表格中的常见参数 408 yfYAA*S!z 20.6 迭代指令 408 5Pn$@3 20.7 报表模版 408 R D)dw 20.8 开始设计一个报表模版 409 #*?a" 21 一个新的project 413 ~bgFU 21.1 创建一个新Job 414 V<+d o|@F 21.2 默认设计 415 jo+T!CUM' 21.3 薄膜设计 416 ?"J5~_U. 21.4 误差的灵敏度计算 420 Jzh_`jW0l 21.5 显色指数计算 422 }Vg&9HY 21.6 电场分布 424 c_%vD~6W- 后记 426 oU67<jq DLf6D |" 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 o:m:9dn  g(|p/%H P oC*>R8 有需要可以扫码加微联系
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