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光学测量＞显微 9 UCA&n QTosp Hf` 任务/系统视图 C@3UsD\s( yVe<+Z\7  Om(Ir&0 oTg
'N 亮点 z#B(1uI %J8uVD. 2  PYiO l
E1s~ + 显微镜系统中光栅的全矢量分析 snYyxi 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 PJPKn0,W 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 o8X? 1 TPn#cIPG 说明：光源 8R T<?I^5 M q='| 0,  U%n>(!d _+ OCI%=:  Pq, iR J ~;}uYJ 说明：透镜系统 ,uPN\` .u8 ?&=JGk^eJ  >en\:pJn)' 说明：样品结构 * !9=? W~FU!C?]  T N/y4 (j *j<{3$6Ii 说明：探测器 ar _@"+tZ
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?$U ~ga WZQXyu 结果：3D光线追迹 s Fx0 |rI; OvZ\  urg^>n4V] eo~b]D  VRTJKi ?2q0[T?e 结果：光线追迹 2BiF P|| }tL]EW^  c-"vQ> ux+ *z};&UsF{ 结果：光线追迹衍射级数 R'pfA
B|! BIEq(/-  Vjd(Z sR^b_/ElxT 结果：场追迹采样平面 KquuM ]5S =@c;%x  4dy !2KZN 7\N }QP0"u 结果：场追迹焦平面 u$FL(m4 y&/bp< Z  <zm:J4&>T cl`7|;v|? 结果：减小光栅周期 S f6%A
eVd:C8q 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 kgI8 PybY @?RaU4e
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