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光学测量＞显微 ~pky@O# b |k00Z+O( 任务/系统视图 1G`Pmh@ 2MK-5 Kg  p5*jzQ L-&\\{ X 亮点 ]h V*r@d &uVnZ@o42  ;mi%F3
akTk( 显微镜系统中光栅的全矢量分析 7 a } k 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 F((4U"
光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 #B w0,\ y8xE
6i 说明：光源 cm +P]8o%{ \z ) %$#I  K:WDl;8 (d sa8Vvz vo.  ue>D 7\8 :rP=t , 说明：透镜系统 #lO Mm9 UC$ppTCc?  z'7]h TA 说明：样品结构 TkF[x%o l%=;  1xx}~|F?| 5~S5F3 说明：探测器 |1Z)E+q*: BFt> 9x]T  NX&_p!_V
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 Eh BKj |y gI`m.EH}}N 结果：3D光线追迹 *=xr-!MEk ? r!o~|9|  A?0Nm{O;3v og>uj>H &  R^e'}+Z 2t1ZIyv3 D 结果：光线追迹 -7|H}!DFT iJ|uvPCE  MfkN]\Jyw 8l">cVo]T 结果：光线追迹衍射级数 L \iFNT}g` 7mfS *aCb  . 'yCw#f N)Z?Z+ }h 结果：场追迹采样平面 *n"{J(Jt` #,v {Ihn  iam1V)V |+"(L#wk 结果：场追迹焦平面 a09<!0Rp 3
8`<:{^Y  R/a*LSe@& XB5DPx 结果：减小光栅周期 {f p[BF
)=-szJjXZ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 xe$_aBU YA5g';$H*
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