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光学测量>显微 AyMbwCR"X "(E%JAwZ^W 任务/系统视图 7FP
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id(P3M +hMF\@ toC|vn&P 亮点 8X=2# &) !9=Y(rb Z
,98 $s5D/60nO 显微镜系统中光栅的全矢量分析 X#u< 3<P 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 )Z@hk]@?_[ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换
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z 说明:光源 !Ka~X!+\ KKJ a?e`C \1#!%I=. 78u=J z6 c}#(,<8X N+ ei)- 说明:透镜系统 |>=\
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说明:样品结构 %967#XI[y z%WOv~8~ F}_Zh9/$( C~VyM1inD 说明:探测器 dY]iAJ x9H
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l`RFi)u~& BjbpRQ, 结果:3D光线追迹 M9sB2Ips< ~Uaz;<"j0 F5f1j]c Ty"=3AvRLV J~rjI24 4 {3<
` 结果:光线追迹 |:d:uj/ `v$Bib) dZjh@yGP. sh8(+hg 结果:光线追迹衍射级数 +N!!Z2 ?VT
]bxb 7)+%;|~ &5;y&dh 结果:场追迹采样平面 X+k`UM~ W/I D8+:i lIL{*q( |m>n4-5QL 结果:场追迹焦平面 {:d9q dq$CCOC^F de?lO;8 \%:]o-+"I 结果:减小光栅周期
H!ISQ8{V X~Vr} 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 r<L>~S>yb VNLggeX'U
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