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光学测量>显微 kR_[p._ N!va12 任务/系统视图 %q!nTGU~ m 8f_w +*!! =Vv{ td 亮点 p*'?(o:= C^~iz
in ]Lh\[@#1f &,)tD62s 显微镜系统中光栅的全矢量分析 >ylVES/V 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 \E30.>%, 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 HvngjP{> 0j yokER 说明:光源 5Tu.2.)N _\<M58/z Yl f4q/- JSL 3.J Xgm7>=l ,s)H% 说明:透镜系统 *Zvw&y* <eI;Jph5 +1y#=iM{ 说明:样品结构 *!Dzst-J3 E5dXu5+ye 6 qq7: 3m^BYr*y^ 说明:探测器
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y/FisX y\[=#g1(@ 结果:3D光线追迹 Yc$|"to M Q6Y^,B $1v5*E :U9R
1^}A _pS%tPw sHF vzE% 结果:光线追迹 bm4W, kpdFb7>| {G}HZv%S U |^F-.Z 结果:光线追迹衍射级数 Y!L jy
[/ I%p#E#[G @2mP -:,h8JyMP 结果:场追迹采样平面 |(%H O@i 82X. No7Q,p j#& 结果:场追迹焦平面 Trrh`@R 0
OBkd ?@1'WD t `T70FsSJ 结果:减小光栅周期 e0L;V@R V|AE~R^ 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 6fkr!&Dy7 Xo`1#6xsE
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