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光学测量＞显微 z{XB_j6\= hh;kBv07o 任务/系统视图 ;&d#)&O"e 4D65VgVDM  cy%M$O|hX5 {gD ED 亮点 M9"Bx/ NaR} 0  \E c<ch[)c
jcCAXk055 显微镜系统中光栅的全矢量分析 .6y+van 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 P1F-Wy1 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 M5 bE5C % .bDK} 说明：光源 *@rA7zPFf %"
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~_<) =, XCjiBeC 说明：透镜系统 XIcUoKg^ HLyA zB~r  ~WA@YjQ] 说明：样品结构 M=,pn+}y> MlV(X G>'  z5@XFaQ BJ
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c4*zQJ 结果：光线追迹衍射级数 M+ [ho] ZSf &M  MCN>3/81 qzW3MlD 结果：场追迹采样平面 12 p`ZD= <Km9Mq  ,X!6|l8 tF;0P\i 结果：场追迹焦平面 ny-:%A 0F[ f%2j  Z],j|r Wy6 LS~at.3zX 结果：减小光栅周期 wfo, r 7
Z6I|Y5#H 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 uj.i(U s v3r3$ (Hr
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