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光学测量>显微 -ImVXy]? EY^?@D_< 任务/系统视图 %UlgG1?A QB3er]y0% tyFsnck i0F6eqe=J 亮点 7%Ou6P$^fr _Kbj?j 57KrDxE} ^l<!:SS 显微镜系统中光栅的全矢量分析 /ke[nr 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 TE:|w
Xe 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 m48Ab` Rn)fwGC 说明:光源 5Q\ hd*+g "U/yq 6^lix9q7 qu&p)*M5 a7!{`fR5 a"l\_D'.K8 说明:透镜系统 >qBJK)LHOv Xl:.`{5L qh+&Z x~ 说明:样品结构 ]FgKL0 !%[fi[p 1Tr%lO5?6 Ym.{
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%qr*| /4N ?v. jf 结果:场追迹焦平面 0b['{{X( n/x((d%"E !8D>Bczq) w!z*?k=Da 结果:减小光栅周期 {3.n!7+ Eg8b|!-')8 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 |KY-kRN7 R>]7l!3^1
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