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光学测量＞显微 ]j1BEO!Bg h!d#=.R 任务/系统视图 PicO3m q/4PX  r43dnwX -$e\m]
}Z 亮点 zao ZCyJT% M.|hnGX N  Lo;T\C N
,{E'k+ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ](T*f'LN 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 v t(kL(}v 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 OsC1('4@ ia?8 Z"&lK 说明：光源 >aa-ix
& Q^mJ _~  [dt1%DD`M /]+t$K\cBq  J+z0,N[ 8 dL(c C 说明：透镜系统 H 5sj%
v { 0Leua  p=Vm{i7 说明：样品结构 *7-uQKp W }T+8+RU  vLkZC T_\GvSOI 说明：探测器 Gia_B6*Y[ (a)d7y.oo  )9@Ftz g|
N2~DxVJ5cT
 /B1NcRS lT$A;7[ 结果：3D光线追迹 1}V_:~7 d]a*)m&  ?[VS0IBS }|A%2!Q}  53l9s <bOQ nq_sbli 结果：光线追迹 L
TO1LAac r! #a.  d3Y#_! ) 501|Y6ptl 结果：光线追迹衍射级数 v)X1R/z5xw &LYU#$sj  Iy`Zh@"~ rGq~e|.O3 结果：场追迹采样平面 \mv7"TM jQ 7RH/?_  .\1XR ^*R r x 结果：场追迹焦平面 r%TgZ5~u BBy/b c!  <K 4zH<y r$.ek\D5 结果：减小光栅周期 oOJN?97!k
_=, [5 " 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 !@ bN qY0GeE>N
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