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光学测量＞显微 'MQ%)hipA {1~T]5 任务/系统视图 s-?fUqA @Zm J z  AK2WN#u@Z # ia;-
3 亮点 kMxjS^fr 'M/ ([|@  M"wue*&
p2d\ZgWD=) 显微镜系统中光栅的全矢量分析 9lspo~M 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ^M[P-#X_ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ^}>/n. % >n$ !< 说明：光源 D7 Zm2Kj eb M{OI  n&!+wcJ;Yt 8MZ$T3IM  P} r)wAt G r)-5qh 说明：透镜系统 x-_vl
9P) o "" ~jc~  G]*|H0j 说明：样品结构 6 bO; & U5+vN[ K  4JO@BV >t |_zO_F rtp 说明：探测器 ;BBpN` T ^^}Hs-{ T  b{&FuvQg 2
=r6qX
 n?QZFeI` (vyz ;Ob 结果：3D光线追迹 OJ,m1{9$} t9u|iTY
f!  PRr*]$\&Mj 5w< A;f  +AI`R`Tm m#H_*L0 结果：光线追迹 x$B&L`QV Pi l;/t)"  lLiQ ;@ '%7 Bx of 结果：光线追迹衍射级数 fx?$9(r, )=_ycf^MC  LmL Gki$w ]gP5f @` 结果：场追迹采样平面 JN[0L : PT]GJ<K/  I}.i@d'O k-jahm4 结果：场追迹焦平面 o`? zF+M0 E zT`,#b  ;l!`C' :' GozPvR^/ 结果：减小光栅周期 >^SEWZ_[
Gy C)E Fd 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 \l,rpVv5m k<Sl1v K
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