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光学测量＞显微 MdjMTe s $gK>R5^G> 任务/系统视图 &c ~)z\$ bdh gHjz  %4K#<b"W SntYi0,` 亮点 S|w] Q (W/UR9x)|d  Z}S tA0F_
?y@pR e$2 显微镜系统中光栅的全矢量分析 /! G0 g%k 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ub&29Qte 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 t4f\0`jN <u/({SZ& 说明：光源 bvTkS EN . Dxr c  g<3>7&^ D$
z!wV  ka [NYW{. G<1mj!{Vp 说明：透镜系统 ZA@"uqa 6b {Vu:y h\<  6E4 L4Vb 说明：样品结构 DL{a8t1L 1D] wW%us  6*
w ;xf }1 ^.A84a 说明：探测器 >@iV!! ghiEl sBU   b=EZtk6>
xoaQ5u 结果：3D光线追迹 e0 EJ[bG 8 =ulj n/  YdaJ& x|5/#H  <0}'#9>O nfB9M1Svn 结果：光线追迹 {eV_+@dT K.Z{4x=0  |J Q05nb `BY`ltW 结果：光线追迹衍射级数 &Y$rVBgQ 1qF.0  krU2S- Kfl+8UR5 = 结果：场追迹采样平面 _Qas+8NW ]f?LQCTq<b  0}N^l=jQ :8g \B{ 结果：场追迹焦平面 o}z}79Z hRu%> =7  3WS % H17 <Jz>e}* ) 结果：减小光栅周期 f [D#QC
0:EiCKb)ol 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 jL<.?HE lvlH5Fc
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