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光学测量>显微 tz{W69k+ 59eq"08 任务/系统视图 $ekJs/I& d ;GF<bz Sl@$ zqqu7.` 亮点 d^5OB8t ,'~8{,h5 C(( 7 Er; @nOyD 显微镜系统中光栅的全矢量分析 R7xKVS_MP 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 iC]=S} 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 CF|c4oY 82 *`
}Rt 说明:光源 N5$IVz} {Vy2uow0 p
BU,"Yy& &%."$rC/0b 5&}~W)"9 3N8RZt1.b 说明:透镜系统 UA@(D F/ BB]gUB 7g'jg7 说明:样品结构 m0I/X$-Cl5 O>P792) fJ
\bm +:@lde]/p 说明:探测器 KW^#DI6tr :by EXe;3 mj\]oWS7d Hggp*(AQK
BEn,py7 [l;9](\8O 结果:3D光线追迹 *;(wtMg S.,om;` kNW}0CDgs SJ/($3GkBd v[S>
>hg?!jMjrr 结果:光线追迹 "P4#Q_ |3tq.JU eC+S'Jgf x8L$T (^ 结果:光线追迹衍射级数 =uM2l OMaG*fb= DEmU},<S LEnm6 结果:场追迹采样平面 pDW4DF:`( ko-:)z 6pyLb3[e !3]}3jZ. 结果:场追迹焦平面 |7
.WP; 1 lLq9)+HGN Qyn~Vu43 lO?dI=}] 结果:减小光栅周期 \\\%pBT7]\ {5<3./5O 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 Knd2s~S sA(
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