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光学测量＞显微 k{?P gf27 iAOm[=W 任务/系统视图 tocZO hd@ >p.  1m52vQSo3l Y2)2
tzr] 亮点 {Gd<+tQg L1'#wH  =%}++7#
]~!jf 显微镜系统中光栅的全矢量分析 *Z+8L*k97 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 l Wa4X#~. 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 a2{ nrGD P2q'P& 说明：光源 ? ^E B"{ &K 1\"  &r cC7v K9 1h"CjOp,7  -t<8)9q( A1mxM5N 说明：透镜系统 :KJG3j?
J wkMRO  ww_gG5Fc$ 说明：样品结构 8b^v@|)N zSpL^:~  vbDSNm#Yv _x.<Zc\x 说明：探测器 1nt VM+ D 2U")g}U  J^Dkx"1GD
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 cZ!%#A z @+9x8*~S' 结果：3D光线追迹 YkPc&&# Ac0^`  i|@l UXBp Qj?qWVapA  I$#B#w?!$r "|2| Vju% 结果：光线追迹 hU:M]O0 uw 3Ishe"  Tn$/9<Q iK#5 nY]. 结果：光线追迹衍射级数 vS! TnmF B{#*PAK=  '^T Q Ubw w3,1ImrXp 结果：场追迹采样平面 {HJzhIgCf :GXD-6}^|  [r_ YQ*+ej x6, #Jp 结果：场追迹焦平面 DNP %]{J ZB+N[VJs)  X& B2&e; X-tc Ud 结果：减小光栅周期 dSD7(s!
sXD.*D 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 &a'H vQ V #E[{
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