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光学测量＞显微 D09Sg%w S}m)OmrmA 任务/系统视图 m<T%Rb4?@ UJAv`yjG  Db}j?ik/ Xv5wJlc!d 亮点 mW(W\'~_~ Pe_W;q.  9X+V4xux
lHY+}v0 显微镜系统中光栅的全矢量分析 v!-/&}W) 1 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 .LnGL]/ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 .=7vI$ujd w>s,"2&5J 说明：光源 i4Q@K,$ V5 nwu#  ` x Ex^P^7 O_ muD\  1Kw+,.@ d E!)xj.aS$ 说明：透镜系统 c ( f ~]|6T~+]83  MO]F1E?X 说明：样品结构 #>("CAB02T b;B%q$sntC  iJI }TVep# lV3x *4O= 说明：探测器 \g&,@'uh !OhC/f(GBZ  "+R+6< "
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OmtyX eH'av}  +5g_KS ^,lIK+#Elz 结果：光线追迹 EqkN3%I G q5J5>  s0TORl6Z| pGP7nw_g 结果：光线追迹衍射级数 ;>U2|>5V ,\W 8b-Z  bI7Vwyz !]A 结果：场追迹采样平面 &)#
ihK_ jodIv=C  TM__I\+Q L81ZbNU?$ 结果：场追迹焦平面 ;R Z ) 58}U^IW  R"/GQ`^AqA \S `:y?[Y 结果：减小光栅周期 x xHY+(m
Z\bmW%av 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 w8")w*9Lmg XAD- 'i
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