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光学测量>显微 `NrxoU= e3&R3{ 任务/系统视图 u PjJ>v YMC*<wXN Fj|C+;Q. W,}C*8{+ 亮点 s-Bpd#G>/ |R DPx6!V ]r{y+g| 0zetOlFbO 显微镜系统中光栅的全矢量分析 a3JG&6- 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 RY/9Ku ` 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 | M4_@P d XrLeoK 说明:光源 o|$l+TC Beqzw0 !Mceg le`fRq8f& yY[N\*P =rGjOb3+ 说明:透镜系统 *ax$R6a#X DhYQ>Gv8U V!(Ty%7 说明:样品结构 *C Me:a ):31!IC .e~17}Ka} *6?h,Dt L 说明:探测器 iO~3rWQ 4DaLmQ2O 3a_~18W ~sx?aiO
+"'cSAK .k|8nNj 结果:3D光线追迹 \x5b=~/ N*gnwrP{ FIDV5Y/f tI ~.3+F N^jQ\|A< |>Qj] 结果:光线追迹 bk44qL;8 [< Bk% B5 gi#bU EIPNR:6t 结果:光线追迹衍射级数 5ro^<P0f** pX `BDYg. Bf1,(^3XH
p"\Z@c 结果:场追迹采样平面 F[RQ6PW B>hf|.GI B+:/!_ FL*qV"r^n 结果:场追迹焦平面 4i|yEf ?S9? ?y/ h fZY5+Z< E">FH>8K} 结果:减小光栅周期 Y@B0.5U2 C@1B?OfJ 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 (?4m0Sn>#h jkTC/9AE|
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