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光学测量＞显微 4?g~GI3 S2 0x 任务/系统视图 : Y(Yk5 UtG@0(6C  !(F+~, <|k!wfHL 亮点 _)p@;vGV +|r;t  W!.UMmw`
HD ?z 显微镜系统中光栅的全矢量分析 mJ<rzX 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 l!Z >QE`.S 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 9c9-1iS ;#78`x2 说明：光源 IJx dbuKg .}kUD]pW  ?,]%V1(@V` ?RiW:TQ*  U# Y ?'3 : qi`*4cas*A 说明：透镜系统 * :\-:* wJ1qJ!s@  yop EqO 说明：样品结构 ,f0cy\.? V%dMaX>^i  huWUd)Po% )9##mUt'} 说明：探测器 idvEE6I@ ].pz  `5 <
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 I?J$";A &E.0!BuqV 结果：3D光线追迹 fU !C: VvSD &r^qI  ,[,+ _A J*U,kyYF  )M#~/~^f+ aWm0*W"(@ 结果：光线追迹 k`Ab*M$@Xs 8xDS eXh;  kWjCSC>jA xE;4#+_I 结果：光线追迹衍射级数 7~C@x+1S/ Zla5$GM  ] ?#f=/ z(g 4D! 结果：场追迹采样平面 Ec8Y}C,{7< eqD%Qd x  }/x `w FfI $3:9 结果：场追迹焦平面 QKCc5 Ik >sd@X*|  KqcelI?-I SLSJn))@! 结果：减小光栅周期 . Mh Z=sn
,aV89"} 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 \ s`'3y F:n(yXA
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