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光学测量＞显微 A[7\!bq5 3haR/Y N 任务/系统视图 ^$>Q6.x?*) MP
LgE.n  A-6><X's6 FG RdA^` 亮点 6VU k ZKc @XJzM]*w&  =\ek;d0Tqb
Yo-$Z-ud 显微镜系统中光栅的全矢量分析 EOj.Jrs~ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Ld H23\ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 dp|VQWCq Z=KHsMnB 说明：光源 59R%g .2Y \3bT0^7B  NsJ]Tp5! xGkc_  @A.7`*i_ c'!+]'Lr 说明：透镜系统 O-3R#sZ0 , tEd>  7QX p\<7 说明：样品结构 Zws[C hJc^NU5  l_lK,=cLj+ ,5XDH6L1 说明：探测器 A BIQi[A Y2!P!u+Q  \D5_g8m:
?PSJQ3BC|
 %E\ pd@ O>c2*9PM 结果：3D光线追迹 j>I.d+ p|`[8uY?  uS |f|)U& =XhxD<kI  D:56>%y@ ETQL,t9m 结果：光线追迹 .L =C7 w1 gw ^X -  Z ,QSbw@,7 B *;PF 结果：光线追迹衍射级数 )VM'^sV? 1 i=p5,|  4|INy =<"t 8b|m6 6#| 结果：场追迹采样平面 ":vF[6K6 C'&t@@:  '{F
Od_uk% }n t,DG!r 结果：场追迹焦平面 k%K\~U8" 6xW17P  XJguw/[wm 3f)!RKS9q 结果：减小光栅周期 /8[T2Z!
0N`'a?x 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 0 >:RFCo BnPL>11Y
 f eA(Rj @ sG5Do V5up/ 6b,1  K-6+fgeB PESJ7/^E
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