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光学测量＞显微 ,?> :Cdz4 U \`H0' 任务/系统视图 Zmr*$,v<y 7s'r3}B`  P1}Fn:Xe%7 2 NrM se 亮点 3&vUR(10 D4W^{/S  2_#V w&v
+]N PxUa 显微镜系统中光栅的全矢量分析 % .n 7+ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 sXm,y$ \m 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 @qWes@ `Pe WV[? 说明：光源 /J w 65 e VS_xC $X!S  tx01*2]pX L?p,Sy<RI  )a'c_ 2 [ %b(n on*
说明：透镜系统 ~R\Z&oQ I Lq"/S.  ]@UJ 8hDy 说明：样品结构 tr $~INe 84 $#!=v  ,c\3 b)ax l~9P 4
, 说明：探测器 7Yrp#u1! 3gzcpFNqX  e.:S BXZ
p 6FPdt)
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,=7deR }v?_.MtS 结果：3D光线追迹 Sx%vJYH0 Q-LDFnOFwp  Q\4nduQ iSz?V$}?  3d0Yq L_WV Tz?` 结果：光线追迹 .^J7^ Ky, HX]pcX^K  ;+/[<bv d" E5}wR(i,4 结果：光线追迹衍射级数 P6cc8x9g( Ni4*V3VB  (}C%g{8 %7*Y@k-)o 结果：场追迹采样平面 >nL9%W}8M 9 O/l{  ?NL >xMA ird
q51{G 结果：场追迹焦平面 :6Q`! in ADa'(#+6  O]Mz1 ev| 5c~OG6COx 结果：减小光栅周期 v9[[T6t/'
bl)iji`] 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 !MiH^wP K&WNtk3hT
 J0hY~B~X m8|&z{ ,^_aqH  *&vySyt +'NiuN
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