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光学测量>显微 cKAl 0_[f" N%yFL 任务/系统视图 5H2|:GzUc d?.x./1[qi Gx)D~7lz yD"sYT 亮点 R)z|("%ec =c'LG o}z}79Z ?9A[;j|a0 显微镜系统中光栅的全矢量分析 m\=u/Zip 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 +/tD$ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ok'1 =|/b[Gd( 说明:光源 lhU# /}Z ?hYe4tc-# %e(,PL DGnswN%n1 oGZ9@Y)(T gu!A:Q 说明:透镜系统 HS7!O o hCPNm \8!HZei 说明:样品结构 Khl7Ez rYJvI \N)FUYoHg x4K5 说明:探测器 Oc>-jhx? L~~aW0, *?S\0a'W@ M}>q>
[B[ J%?NS ia[wVxd 结果:3D光线追迹 ZpyRvDz M<729M iu .{L(m FYJB.lAT 2%I:s6r =[,adB
结果:光线追迹 j.K yPWO ?g&]*zc^\ c?d#Bj ? $lQi0*s 结果:光线追迹衍射级数 *=8)]_=f ocMf}" &P;x<7h$t? 1#V0g Q 结果:场追迹采样平面 ,-Na'n AYi$LsLhO >@X=E3 p4[W@JV 结果:场追迹焦平面 5FMKJ7sC9 3B0%:Jj g^idS:GtX5 \S9z.!7v$ 结果:减小光栅周期 HOw hl U{x'@/Ld 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 *,. {Xf H|^4e
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