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光学测量＞显微 k+M-D~@5H $-fY 8V3[ 任务/系统视图 wR$8drn]Rq 6|cl` }g_j  i 4rF~'h@ VVl-cU 亮点 JW'a cD a\_,_psK  #'h CohL
1tz .e\ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ):ZumG#o 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 f Ev36xb2S 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 D~&e.y/gHN as!j 0j% 说明：光源 <j3HT"^[D p;=(-4\V}  toJ&$HrE KZfRiCZ  jloyJ@ck {o%R~{6 说明：透镜系统 VW`=9T5%@ n5>N9 lc  xR`2+t&t 说明：样品结构 26K ~m@ uZI a-b  9(j!#`O7& ??V["o T 说明：探测器 1Di&vpn0u K*FAngIB  \"Iy <zG
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 J[w XG6M K_n%`5 结果：3D光线追迹
j]&{ @Y 4/>={4Y9  hhhO+D1( {H2i+"cF  54w-yY "QS7?=> *F 结果：光线追迹 tO3 ;; % U2$T}/@  4 PQWdPv; .vMi <U; 结果：光线追迹衍射级数 kM`#U
*j T 1=M6iJ  ,qB081hPG D9 en 结果：场追迹采样平面 ? Q}{&J y{JkY\g  :^a$ve3(Jq 2-84 结果：场追迹焦平面 A4' aB0^ {IWb:p#I]  )3sb 2
# Kq$1lPI 结果：减小光栅周期 YSyW '~!b
W6Pg:Il7 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 kZQ;\QL1} M.xEiHz
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