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光学测量＞显微 b|-)p+ba *{VC<<` 任务/系统视图 ufk2zL8y ~T H4='4W3  Z$J-4KN
[KBa=3>{ 亮点 :!s7B|_U KWo Ps%G  bJ n&Y
d(|?gN^ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 G%HG6
在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 f~W+Rt7o 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 [[c0 g6 a_! H_J 说明：光源 zV }:~;w HsTY* ^V  |?J57 ( 60|PVsmDm  1Z
~C3)T= ez3 2k[eV! 说明：透镜系统 Q >4NUq _yAY5TIv  B]( R(x>L 说明：样品结构 9] +zZP_# <O =0 ^V  OB9E30 tRI<K 说明：探测器 ;-"!p ,ASNa^7/>  eV! (a8
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 47(_5PFb# xGyl7$J 结果：3D光线追迹 b; D B~]6 [Z  I )yaR+l 3PvxU|*F  tXA?[ S Q4 &P\V 结果：光线追迹 f|(9+~K/7& ASov/<D_q  yKUxjb^b\ 4z P"h0 结果：光线追迹衍射级数 vcj(=\
e8v muXP5MO  \mLEwNhRY &I=o1F2B) 结果：场追迹采样平面 o]tfvGvU* FVkl# Qy~  <gi~:%T ZRYlm$C 结果：场追迹焦平面 a$?d_BX hzk!H]>E  .! <yTh 9h+Hd&= 结果：减小光栅周期 ?J + jv
::{\O\w 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ' *XIp: OcMB)1uh\
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