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光学测量＞显微 & ZgB b =$UDa`}D 任务/系统视图 le?hCPHkp n83,MV?-  q& 0Jl w{3
B 亮点 IiV:bHUE}0 *p{wC
r  RS G\3(
g4 <w6eB 显微镜系统中光栅的全矢量分析 DG&14c>g 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 UUy| /z% 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ~p {.4n2: o Jy ]n9 说明：光源 pC0l}hnUg d I<s)!  yzt6 \w{x- }  WR=e$ ; |?0Cm|? 说明：透镜系统 !']=7It{ U@dztX@u  3!^5a %u 说明：样品结构 HONrt|c bS _!K U  LbDhP G`u #L.fGTb 说明：探测器 f_X]2i n 6|3$43J,F  pb_+ _( /c
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 gT*0WgB ce&)djC7U 结果：3D光线追迹 E~]8 >U?V 4lH$BIAW  K:fK! / >I Aw Nr  ~sk ;6e)(2 =1fO"|L 结果：光线追迹 EZ*FGt6( - XIjo l(  a? K = j8 nG
Gx 结果：光线追迹衍射级数 ,# rl" 6,)!\1k  $}r*WZ
. |$6Pi%! 结果：场追迹采样平面 Mh>H5l.1i g![]R-$  ZurQr} ]kx)/n-K 结果：场追迹焦平面 &}31q` q[1:h  nk9Kq\2f: S#dkJu]]# 结果：减小光栅周期 g
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J6/Mm7R 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 J:Uf}!D 'F^nW_ryW
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