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光学测量＞显微 m4U+,|Fa 4O_+4yS 任务/系统视图 ZHD0u)ri=J D4O5@K fL  ^Xy$is3 |+xtFe 亮点 =>}.W:= maUHjI
5A-  (<R\
W;oU +z^t$ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 pebx#} ]p- 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Y:!/4GF 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 T ~~[a|bLa 3^R] [; 说明：光源 4IP\i w#w kH8$nk eev  m7wc)"`t {_toh/8)r  r>:L$_]L UG"6 RW @ 说明：透镜系统 |;U=YRi ?+,* YV T  [mf7>M`p]@ 说明：样品结构 WW [`E ^M(`/1 :  Ld}(*-1i UC+7-y, 说明：探测器 mU3 Y) 2 ] DCF  aFr!PQp4{
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 Igl JEH[+ )`s;~ _ZZ 结果：3D光线追迹 g N, k/U8 _/jUs_W  ?zhI=1 ED% z>mZT.  *qO ]v9 j VM!-I8t 结果：光线追迹 o!s%h!%L W7TXI~7  ,a9D~i 9R esh$* )1 结果：光线追迹衍射级数 zr3q>]oma k_K,J 6_)  o%Uu.P y|e2j&m 结果：场追迹采样平面 k(-Z@ Z{a{H X[Jx  c_ qcb7<~. 6^] `-4*W 结果：场追迹焦平面 192 .W+H< nIV.9#~&  !@^y)v %\X P: 结果：减小光栅周期 y$j1?7
5:*5j@/S 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 `z3|M#r\; TV1e
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