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光学测量 > 干涉测量 |d8x55dk CR<Nau> 任务/系统说明 UDz#?ZWnd
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t<2B3&o1 亮点 !G3d5d2)C
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^h@1t FF •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ;4 O N •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 2aUy1*aM
RK`C31Ws 具体要求：光源 XZFM|=%X noa =wy  g4 |s9RMD e O:wx.PW 具体要求：用于准直的消色差透镜 n++L
=&Wd dLMKfh/4Q \L: ;~L/  @ukI t 3o=K?eOdg .UuCTH;6`  IPhV|7 80M"`6 具体要求：分束器 "NamP\hj ]%P Q3MT.  ED={OZD8
u xd5 XS 具体要求：参考光路反射镜 7 5LIQ!G|= VS lIeZ  _ cY!\'
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D^knN-nZ* 具体要求：测试光路反射镜 AVys`{*c ']hB_ 4v  #FBq8iJ
.(0'l@#fT 具体要求：探测器 sacaL4[_< OXs-gC{b  8)D5loS ^$7Lmd.qI 结果：3D光线追迹 -4&SYC w p<2A4="&  pUs s_3 /^kZ}}9baU 结果：场追迹 &ESE?{of) rVx%"_'*-
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|[ tlR`A $ 结果：移动样品的场追迹结果 ]e'Ol$3U9= CVh^~!"7j  8# 9 d i 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 w~eF0 {h
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