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光学测量 > 干涉测量 r3?5'S` |:/ @t 任务/系统说明 +E `063 "rf\' 9=
&U854 -ca]Q|m 8 亮点 B=^2g}mgK /$<JCNGv
%Ln?dF+ vLD:(qTi •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; <vO8_2,V- •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; P'gT6*an," b^;N>zx 具体要求:光源 s2wwmtUCN #SK#k<&P Ds;Rb6WcnY dcM+ylB 具体要求:用于准直的消色差透镜 i"ck`6v"8 )lE3GDAPgZ 8o%E&Jg: upZYv~Sa B44]NsYks~ \qRjXadj R20a(4m /{49I, 具体要求:分束器 -aTg>Q|g& `*|LI P]{B^,E G >I. 具体要求:参考光路反射镜 44g`=o@ XtnIK x Q@&W; vK[v
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WX+< 4j F%Ro98?{ 具体要求:测试光路反射镜 {^2({A#& 1"*Nb5s "`y W]v E5v|SFD 具体要求:探测器 5EVB27k x)%% 5 uKaf{=* -fx(H+ 结果:3D光线追迹 6~>^pkV KE }o K gR1El.r gs^UR6
D, 结果:场追迹 ^F;Z%5P= 0e[ tKn(
D>!v_v6 =[v2 结果:移动样品的场追迹结果 s\F EA"w/ s8/ozaeo Cb!`0%G 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 Y2ah zB
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