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光学测量 > 干涉测量 OlD7-c2L] Z&~k]R0y 任务/系统说明 H;7O\ n r'YWW
Mft0Dj/ *>}McvtTw 亮点 &* V0( &%_y6}xIw
Q1N,^71 9*GL@_c •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; pl1EJ < •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; :Olj % xH>0 具体要求:光源 )w}*PL Apw-7*/ =y,yQO 4wM$5 具体要求:用于准直的消色差透镜 [T$$od[. dpc=yXg>"c ?z4uze1 ByB0>G''. ;X9MA=b oKMg7 3* S`'uUvAA Y(Z(dV!Po 具体要求:分束器 ey9fbS ^I 8V53+]c$Y AW{/k'%xw `#IT24! 具体要求:参考光路反射镜 z=8_%r l*m]2"n] Og%zf1)aZM K4VPmkG
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S+e-b'++? 具体要求:测试光路反射镜
'%JMnU &Hp\(" U_zpLpm^ ZQ-z2s9U 具体要求:探测器 #h5Hi9LKf 6|(7G64{ `6l24_eKf `5~o=g 结果:3D光线追迹 +wf& L :,J86#S) `P)64So-1 {F{[!. 结果:场追迹 .Q6{$Y%l y(p:)Iv
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z3C V.OoZGE>] HWao3 Lz 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 A$Jn3Xd~!
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