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光学测量 > 干涉测量 {%6`!WW[ OX\F ~+ 任务/系统说明 dL
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[Nbm|["q~ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； (mt k 4 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； )gy!GK
j^rIH#V 具体要求：光源 cJ
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C !^Y(^RS@ 具体要求：用于准直的消色差透镜 =h73s0 ] tS8u B%+T2=&$7  V-L"gnd&2 MfQ?W`Kop )+t0:GwP`:  2u*KM`fa` m#Z#
.j_2 具体要求：分束器 H@8sNV/u A` o8'+`C  FZ E"7ec>m
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.O }% 具体要求：测试光路反射镜 rK]Cr9W M eHNyNVz  :mn>0jK,N
x- .?HS[ 具体要求：探测器 _1 !OlQ 56-dD5{hxR  uurh??R d8=x0~7 结果：3D光线追迹 {w^+\]tC mg.kr :  &/]Fc{]^$f G@jZ)2
结果：场追迹 (uZ&V7l mah JSz(3
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@Y<bwv 结果：移动样品的场追迹结果 v"XGC i91L >!bJslWA  @{tz:f 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ?8Z0Gqt74
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