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光学测量 > 干涉测量 TCwFPlF| pHXm>gTd,J 任务/系统说明 3</_c1~
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亮点 y*jp79G
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B:yGS*.tu •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ^+>laOzC`8 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ok"k*?Ov
-n~1C {< 具体要求：光源 T "}5}6rSG O_ muD\  1Kw+,.@ d E!)xj.aS$ 具体要求：用于准直的消色差透镜 c ( f ~]|6T~+]83 MO]F1E?X  Af~$TyX av8B-GQI*# )5Q~I,dP  9IdA%RM~mH CAig ]=2' 具体要求：分束器 Fc)@,/R"v HTv2#  }z'8Bu
PfAgM1 具体要求：参考光路反射镜 @|Cz-J;D GE:vp>>}`  W s3)gvpPA
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cN-? l7 具体要求：测试光路反射镜 Jc& {`s^Nu &T?RZ2  ehGLk7@7&
c)6m$5] 具体要求：探测器 Gt8M&S-; : %_LpZ  RtkEGxw*^ '2A)}uR 结果：3D光线追迹 -lr
vKrt7 P [G)sA_"  0I-9nuw,^; 6##_%PO<m 结果：场追迹 '6nA F 60^`JVGWH
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sg^zH8,3 结果：移动样品的场追迹结果 6IN
e@ fh& nu"&  \}yc`7T:L0 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 '| 6]_
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