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光学测量 > 干涉测量 Lnl=.z`jK . 3T3E X|G 任务/系统说明 Lk}J8 V^2
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]Q)OL 亮点 Hf2_0wA3
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 JP [K;/
s9DYi~/, •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； w_K1]<Q* •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； vV-`jsq20H
Bt n]}8K 具体要求：光源 Z,Dl` w I:1C8*/  T}v4*O., f(y:G^V 具体要求：用于准直的消色差透镜 =MDy s b&: d|Lj ~x| $5%SNzzl  x7<K<k;s u <v7;dF|s =$JE T<(  m tcw#D Si;H0uP O 具体要求：分束器 +Q"4Migbe@ H9 Q&tl9 
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lZKi'vg7 具体要求：参考光路反射镜 $suzW;{# wgGl[_)  ":QZ y8f9%
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t!7-DF|N 具体要求：测试光路反射镜 4zFW-yy m
G YoM  5 ">Z'+8
suDQ ~\ n 具体要求：探测器 ]Gq !`O1 JYHl,HH#z  ~q25Yx9W@ `*1p0~cu
结果：3D光线追迹 j3E7zRm] \ 4ID5q ~  ' %o#q6O >(t6.= 结果：场追迹 %| Lfuz* sdw(R#GE
 j*r{2f4Rt
> /caXvS 结果：移动样品的场追迹结果 i?^L/b`H J<jy2@"tXo  $*=<Yw4 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 <frutU16\
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