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光学测量 > 干涉测量 jLZ~9FXF2 v'DL >Y 任务/系统说明 0P!6
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C9 *'.~ 亮点 Mb+cXdZb
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-,p(PK •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； >0u4>=# •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； K 72U0}$B
Y.=v!*p?} 具体要求：光源 Rb\\6 BU0 jtN2%w;  CFn!P;.! p+A#t~K 具体要求：用于准直的消色差透镜 $0{c =r9 IEO5QV:u: =cg 0o_q8  *R8 q)Q h*&-[nSo {aAA4.j^  5H>[@_u+: ULAAY$o@5 具体要求：分束器 YB~}!F [( `|Tr"xavf  -Vw,9VCF
CYs:P8^ 具体要求：参考光路反射镜 \u2p] K> V[A uw3)  %?R}sUo
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vJ }^ p } 具体要求：测试光路反射镜 X8 p-VCkV Xb3z<r
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{_l@ws 具体要求：探测器 X> =`{JS1 # (T  ~[ isR|> }M * Oo 结果：3D光线追迹 iIA&\'|;i 591Syyy  K`768 %q WOG=Uy$ 结果：场追迹 mKQ !@$* +P81&CaY
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Z$~Wr3/ 结果：移动样品的场追迹结果 k*[["u^u] b_:]Y<{> f  @|idlIey 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 +r"{$'{^
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