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光学测量 > 干涉测量 @ K9T )p] cabN<a
l 任务/系统说明
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]c)SVn$6 亮点 `9ox?|iJ
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F T~^$)8= •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 5)UmA8"zVB •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； }>0
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K(gj6SrjV 具体要求：光源 +]-KzDsr"V L|X 5Ru  Z=0W@_s R~~rqvLm 具体要求：用于准直的消色差透镜 rg,63r uNbA>*c4M yr>bL"!C A  H#inr^X a GcR`{ 3 hO 4*x!B![]y  X }(0y
5-^%\?,x 具体要求：分束器 >K
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yf) `jPM1< 具体要求：参考光路反射镜 >|) 0Amt %z~U@Mka  h
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kA__*b}8UK 具体要求：测试光路反射镜 FRFAWK< cO,V8#H  'c&@~O;^d
C8E C ?fSQ 具体要求：探测器 f_ztnRw }4SSo)Uv/  8[)]3K x = O1;vc}AA 结果：3D光线追迹 |*KS<iHr% A Vm{#^p[(  DYlvxF` </gp3WQ. 结果：场追迹 OZD!#YI _-]!;0E IV
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_I_?k+#WFe 结果：移动样品的场追迹结果 `8;,&<U'` Reu{
 \bm6/fhA: 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ttaQlEa=Z
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