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光学测量 > 干涉测量 gd@p|PsS^ GgFi9Ffj 任务/系统说明 u3tZ[Y2 c
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} 亮点 10sK]XI
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0WxCSL$#I •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； z xZtz •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； w3*-^: ?j
`kBnSi o~ 具体要求：光源 `m%dX'0 E _EY B
8e  IvBGpT"(I V`a+Hi<P\ 具体要求：用于准直的消色差透镜 KAA3iA@>+ q{4|Kpx@ t)1phg4H)  Nofu7xiDw[ ZKbDp~ CVKnTEs  /nB'kg[h\ ddpl Pzm# 具体要求：分束器 )GB`*M[ 89eq[ |G_  ^3I'y
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]YD(`42 x 具体要求：参考光路反射镜 jD< pIHau ~5#)N{GbY  9fVj
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'wQy]zm$ 具体要求：测试光路反射镜 b 6W#SpCF [Z }B"  a>Re^GT+z
/(6zsq'v| 具体要求：探测器 P \B3
y+) # 3.)H9
 a? <?5 03E3cp " 结果：3D光线追迹 wL
eHQ ] N~#D\X^t.  U~QMR-bz kO3 `54 结果：场追迹 Ee?;i<u c o]Gmg6p
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Ol cP( 结果：移动样品的场追迹结果 i: Mc(mW G1_Nd2w  k EAhTh&g* 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 q+/l"&j.
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