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光学测量 > 干涉测量 D%Wr /6X ' _N > 任务/系统说明 $T1c{T6n}
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RvVnVcn^# 亮点 !a0HF p$9
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$XJe ) •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 4kx#=MLt •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； R (6Jvub"I
#0weN% 具体要求：光源 xa K:@/ |u03~L9G  ;Eck7nRA ) oI^iL\\2h 具体要求：用于准直的消色差透镜 J?%Z7&/M> ek.L(n,J| r8@:Ko= a  2(UT;PSI Z";o{@p #u#s' W  :^l`m9 i^
1P6B 具体要求：分束器 wLW!_D,/R ,5<-\"{]  D|OX]3~
,"&v hgYU 具体要求：参考光路反射镜 gp;(M~we
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lO<Ujb#"R 具体要求：测试光路反射镜 BHa!jw_~o y9:|}Vh  ^5xY&1j
a}MOhM6T 具体要求：探测器 { <&x9<f9 1& wLNZXH  ='>k|s: Pf]L`haGN 结果：3D光线追迹 ?9/%K45 @aI`ru+a  he
9qWL&^G %]d^B | 结果：场追迹 }(ot IqE d[jxU/.p;
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7(Z I]< 结果：移动样品的场追迹结果 <.~j:Gbs E 2g|+*.*`  n&k1'KL&
通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 r*y4Vx7
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