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光学测量 > 干涉测量 |4;Fd9q^m FrGgga$ 任务/系统说明 4DI8s4fi
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|6sp/38#p 亮点 $w`x vX
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l *(8i ^ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 8mvy\l
EEH •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； aFX=C >M
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E}]v6 具体要求：光源 &
p /L
g)i\R;  S6 Q q$d>(vb q 具体要求：用于准直的消色差透镜 JzQ_{J`k oM>l#><nq X:"i4i[}{9  n,y ZRY cJ= 6r
: v!~fs)cdE|  r,73C/*&/ -V77C^()8d 具体要求：分束器 y&$A+peJ1 {H>gtpVy  ~d.Y&b
{3mRq"e 具体要求：参考光路反射镜 ?=sDM& ' S6DKREO  L\J;J%fz.
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 `KoV_2|
Ua: sye 具体要求：测试光路反射镜 gh]cXuph hD 82tr  N )X3XTY
Mk 6(UXY 具体要求：探测器 2* & ^v S&wMrQ  Rsm^Z!sn &jJL"gq" 结果：3D光线追迹 7;(`MIFXs /hR&8 `\\  >y 7?-*0 k(nW#*N_ 结果：场追迹 Tx# Mn~xD GR_-9}j QP
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b{&)6M)zo 结果：移动样品的场追迹结果 p?OoC By!o3}~g  Czu9o;xr 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 jvL[
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