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光学测量 > 干涉测量 fQ~YBFhlr & ^JY 任务/系统说明 8(0q,7)y
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GA@Zfcg 亮点 qU:Mvb^5&
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}_o!f V •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； (Y?" L_pC •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； w7X], auRC
DmgWIede|: 具体要求：光源 6"U )d7^ $5a%hK  X8=s k ^DS+O> 具体要求：用于准直的消色差透镜 $NhKqA`0 qlfYX8edZ oyY0!w,Y  \i$WXW ]| 3re|=_
Hy 5x; y{qT  j{u! /FD kKR Z79"7s 具体要求：分束器 - g]g N HL{.8L{  CJu3h&Rp
b_T?jCyW 具体要求：参考光路反射镜 GS4
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R)?zL;,x 具体要求：测试光路反射镜 ?[G !6 pu +"bq  1Q ^YaHzuW
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具体要求：探测器 +]%d'h Ge]2g0  jTJ]: EN :D'#CoBA 结果：3D光线追迹 E)dV;1t h[0,/`qb{  #c ndq[H //}[(9b'\ 结果：场追迹 n)7olP0p $MEK t}S
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@P^8?!i+ 结果：移动样品的场追迹结果 @]H:=Q'gj ;hOrLy&O  >}*i Qq 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 {{?[b^
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