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光学测量 > 干涉测量 G,VTFM6 0Y%u[i/ 任务/系统说明 %Km^_JM
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@Kx@ 2#~b 亮点
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+YQ$_ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； Gu3# y"a> •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； TqvgC k-
0|RFsJ" 具体要求：光源 ,)S(SnC F *J ]2"~_.  jkzC^aG 8PR1RC J 具体要求：用于准直的消色差透镜 F%Xj' = &!kD81 ?Mm _iJ8*v 8 A  =54"9* s.9)? < [ ( M>[D!Yt  MmZs|pXk O&]P
u5 具体要求：分束器 }i)^?@ qu}&4_`%:V  F2B9Q_>P
d 0b`qk @4 具体要求：参考光路反射镜 3M?vK(zG>P zqDG#}3f^  5._=m"Pl
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#o(c= 具体要求：测试光路反射镜 ^lt;K{ eJ=K* t|  m (CbMu
gbC! >L V 具体要求：探测器 W=[.. d QSaJb?I  QJsud{ada U{)|z-n 结果：3D光线追迹 _ ?\4k{ET (_9cL,v  XOdkfmc+s' c`F~vr r)X 结果：场追迹 $bGe1 \ 5S;|U&f|
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5bfd8C 结果：移动样品的场追迹结果 zUe)f~4 N ?RJ uDW  .y)Y20=o! 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 "#3p= }]
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