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光学测量 > 干涉测量 yQ&;#`!' a3p|>M6E 任务/系统说明 D4`7,JC}< p%j@2U
UY>{e>/H9 =. OWsFv 亮点 D b(a;o 'zRd?Z>%
igz&7U8gg v3`J~,V< •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; d{DlW
|_ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; rJZ-/]Xf!6 mA{gj[@:x 具体要求:光源 MLL2V`vBT Rk`c'WP0* JlGyGr^MD ;9 b?[G 具体要求:用于准直的消色差透镜 5% +T~ E* R(x%<I r\L:JTZ$ f61~%@fE ~|?2<g$gYR 60QElJ9D mAXTO7 VRMlr.T+ 具体要求:分束器 Be?mIwc_g RU[{!E Jb_/c`` XMuZ'I 具体要求:参考光路反射镜 ,{YC|uB C%G-Ye|@ {jr>Z"/q hZ$* sf
Qg1LT8 mnG\UK,k 具体要求:测试光路反射镜 @p}H@#/u\ hLO nX<%a u;y1leG x4fLe5xv 具体要求:探测器 4}96|2L5 CYG'W FvZZ =]"[?a > "<bL-k*H) 结果:3D光线追迹 DlTV1X-^1 8=t?rA QZ
h|6&yI ZH.l^'(W 结果:场追迹 m;8_A|$A h&[!CtPm
Zni8im,_j 0p&:9|'z 结果:移动样品的场追迹结果 bm(0raugs %`%1W
MO &\K,kS [.r 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 p5>TL!4M
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