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光学测量 > 干涉测量 EPCu }LNpr 任务/系统说明 Ed3 *fY 5N(/K. ^
r>:7)p!| {]~b^=qE$ 亮点 zrjqB3R4@O qb y!
&N!QKrj3 -I.OvzQ* •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; "E;]?s9x •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; C+-xC~ @ oE [! 具体要求:光源 !Y3w]_x[: Int6xoz />(e.)f 3&kHAXzM 具体要求:用于准直的消色差透镜 :]Jwcp Z
4uft B98&JoS &ZgB b <qs>c<Vj ~xqRCf{8 &[}T41 08&DP^NS 具体要求:分束器 S,LW/:, %N@454enH %ci/(wL PuAcsYQhN 具体要求:参考光路反射镜 ]sJWiIe. m M!H}| a!}.l< ) /i|T \
NrVrR80Y 4f<%<Z 具体要求:测试光路反射镜 dV<|ztv s4bLL +5Yc/Qp "q4c[dna 具体要求:探测器 |:n4t6 4flyV - zJS,f5L6) }wrZP}zM> 结果:3D光线追迹 |l(rR06#.] LD5n_W mXT{)pU |D%i3@P&ZR 结果:场追迹 MK7S*N1 w@7NoD=
.w^M?}dx {~ ZSqd 结果:移动样品的场追迹结果 L,0HX .4A4\-Cqe -J4?Km 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 #Yi,EwD
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