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光学测量 > 干涉测量 m|x_++3 d# $Pf=} 任务/系统说明 MU2kA&LH
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 #R31V QwK5
2G!z/OAj 亮点 2EN}"Du]mj
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 eT5IL(mH
B]}gfVO •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； E_[a|N"D •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； @qjN>PH~
YGs'[On8 具体要求：光源 ad47 4 2 F2_'U' a  S?a4 IK bwP@ }(K 具体要求：用于准直的消色差透镜 =OV5DmVmQ <RbfW'<G tlg}"lY  :[f[- F %H&WihQ nnE'zk<"  )+8r$ i `' EG7 具体要求：分束器 ^;( dF<?'r -e_TJ A  >+.GBf<E
0kls/^ 0, 具体要求：参考光路反射镜 (J nEso-V >=:mtc ph  Jg {K!P|i
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 *icaKy3
LikCIO 具体要求：测试光路反射镜 _y>drvg :V#xrH8R  f?eq-/U R
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具体要求：探测器 V51k X{S -b8SaLak  FV
aC8Kw G?\eO&QG{" 结果：3D光线追迹 +t& ) Z ,3MHZPJ?k]  I?%q`GyP5 !;[cJbqnh 结果：场追迹 DKem;_6OQ ][V`ym-e
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gCcO , 结果：移动样品的场追迹结果 0raFb,6l gM]E8%;{  ^J^FGo|M 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 PvjZoF["
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