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光学测量 > 干涉测量 l Je =z | Vl Q0{
任务/系统说明 <+ 0TN]?
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Q?e]N I^ 亮点
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#;l~Y}7' •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； >5,nB < •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； :i;iSrKy
q-3,p . 具体要求：光源 6gUcoDD hrLPy V:  :BI grz"Jz f$\gm+&hXE 具体要求：用于准直的消色差透镜 l!6^xMhYk #x) lN =D 1%-ym  Z?IwR hj~nLgpN a!n |/9
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1M 具体要求：分束器 3B{B6w}t&
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fT:a{ 具体要求：参考光路反射镜 6xFvu7L_c; ]KsL(4PY  :$=r^LSH
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_A[k&nO!&J 具体要求：测试光路反射镜 q4'Vb hcQky/c\#b  3k5C;5
4P1<Zi+< 具体要求：探测器 ? b}d"QsmU WyO7,Qr\  s>A!Egmo W,\LdQ 结果：3D光线追迹 P z=x$aY O@[jNs)].  L?W F[nF R G-5 4D_ 4 结果：场追迹 -F7GUB6B %f v;C
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=vqy5y 结果：移动样品的场追迹结果 9|;"+jlt x4r=ENO)q  | o YqkP| 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 'G6M:IXno
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