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光学测量 > 干涉测量 x+]\1p M8TSt\ 任务/系统说明 Cn[0(s6
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&%/7E_j7 亮点 +j4"!:N}B
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@|tL8 ? •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； H_Qs Nf •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； z+>}RT]
VzKW :St 具体要求：光源 Qg<(u?7N lO_UPC\@fw  s91JBP|B7 $8 1*^ 具体要求：用于准直的消色差透镜 ,11H.E
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RO~aD!N >cCR2j,r  bAm(8nT7w 5>\/[I/! 具体要求：分束器 GHeVp/u ;{%\9nS  }I2@ %tt?
])!o5`ltZ 具体要求：参考光路反射镜 *^wm1|5 BFOq8}fX2  9amaL~m
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EG=Sl~~o 具体要求：探测器 <U\B!fO' !_cg\K U#  tyqT [6XF=L,! 结果：3D光线追迹 $H9% J o_^ ?n[4  Ot6aR k *5^Q7`` 结果：场追迹 b7p@Dn?E LB a[:j2
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4QIX19{" 结果：移动样品的场追迹结果 PU^l. *=I}Qh( 1  ub\ MlSr 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 TO?R({yx*
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