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光学测量 > 干涉测量 tw\1&*: e:.?T\ 任务/系统说明 )<_qTd0` lq,]E/<&
IX<9_q 8ZCA
vEy 亮点 '^[+] ^~@3X[No
Wyeb1 YmjA!n •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; G8/q&6f_ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; I,)\506 y"U)&1 c% 具体要求:光源 elpTak@ sdyNJh7Jr ({!H() 0]=Bqyg 具体要求:用于准直的消色差透镜 #)[.Xz:U Vx>Q [fo#){3K a1%}Ee H~>8q~o] Zkqq< Qc PU{#6 Y3(I;~$! 具体要求:分束器 Ze#DFe$ 5ddfdIp ;)P=WS:= *">CEQ[MT 具体要求:参考光路反射镜 UK*v\TMv -Wh 2hWg+ VEn3b DBLM0*B
#5'@at'1 Fpeokr"i 具体要求:测试光路反射镜 gG}H5uN kp}[nehF 8ZM#.yBB *rHz/& , 具体要求:探测器 v9S=$Aj C8|# x#zj0vI-8 ,tg(aL 结果:3D光线追迹 RO%M9LISI i1m>|[@k *vEj\ 9PV+Kr!c5I 结果:场追迹 EBz4k)@m iXL^[/}&?M
:M f8q!Q' cs9h\]ZA 结果:移动样品的场追迹结果
kN8B, 1,Mm+_)B $8AW 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 )|k#cT{=M
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