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光学测量 > 干涉测量 mDB +#W94s~0V 任务/系统说明 +{J8,^z# c`;\sW-_W
kxn&f(5 CD|[PkjW 亮点 ahBqYAK9 D &@]
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BJb ?^}30V:E •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; U.%Kt,qB •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; "t@p9> c'2d+*[ 具体要求:光源 {@Mr7*u [Kgb#L'{ bx@l6bpQ vvoxK 0 具体要求:用于准直的消色差透镜 I2cz:U7 ZL MH~cc A'WR!*Yt ?pDr"XH~ [K!9xM6 <n"BPXF~ 0YeTS!*Aj NFK`, 具体要求:分束器 U84W(X @ZKf3,J0 G#M)5'Q]U \l%xuT 具体要求:参考光路反射镜 ; *
[:~5Wc d[ N1zQW l'@-?p(Vuw NW3c_]`=
GK(CuwJe P&-o>mM 具体要求:测试光路反射镜 92+8zX 6%D9;-N) niVR!l W:w~ M'o 具体要求:探测器 '`];=QY9pg B@,9Cx564 {7o#Ve v*;d 结果:3D光线追迹 Ic&h8vSU i;[y!U &hCbXs= 1+o]+Jz| 结果:场追迹 uOxHa>h 1GY2aZ@
{K(mfTqm *[Hrbln 结果:移动样品的场追迹结果 XQ}Zr/f6 2wf&jGHs 8HF^^Cva 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 _n&Nw7d2
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