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光学测量 > 干涉测量 A1@-;/H3 h}oQr0"c 任务/系统说明 \x+DEy'4;5
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L=p.@VSZ 亮点 _ E%[D(
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AVJk •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 8fN0"pymo •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 5 [3hw 4
}n.h)Oz 具体要求：光源 YO Y+z\Q }J*&()`  f 4 _\F/ ?yz%r`;r 具体要求：用于准直的消色差透镜 7Y)wu $!7} ceOjuzY RpXQi*c0  1t0F J@)* <r kW 4 cU>&E* wD  7^; OjO@8 K c<z; 具体要求：分束器 ZChY:I$< `8-aHPF-  <_>6a7ra
W(8g3 具体要求：参考光路反射镜 h <M7[p= E, |n'  EzyIsp> _
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N|j. @K 具体要求：测试光路反射镜 qh'BrY u* q!TbM"  =gn}_sKNE
jysV%q 3 具体要求：探测器 [0LqZ<\5 nsp K. *?  3az c `[hl YUb,5 Y0 结果：3D光线追迹 OT[m
g 4& s,v#lJ]d0W  V[M#qZS L8zqLD i& 结果：场追迹 C]H <L#)ZU ]*@$%iCPE
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Zz-;jk X) 结果：移动样品的场追迹结果 =QfKDA de6dLT>m  "k|` xn 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 h6e$$-_
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