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光学测量 > 干涉测量 'f<N 7%eZ }:2##<"\t 任务/系统说明 Og 1-LP|X
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O >h` 亮点 5sT3|yq
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 C-y MWr
76 !LM Nf •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； T`E0_ZU; •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； iN&oSpQ
D./{f 8 具体要求：光源 7+P;s,mi7 hVF^ "$  7 FE36Ub9 H7Q$k4\l 具体要求：用于准直的消色差透镜 PuJ3#H
T Z[nHo ' n[Q(q[ULV  q\@Zf} 3Z?ornS %D4)Bqr  &G"s !: | `o|;A] 具体要求：分束器 "SMJ:g", r!&174DSR1  #^L&H
oo6
I;w ! 具体要求：参考光路反射镜 +mWf$+w ~P'.R.e  GUR iW42
x qX3uq
 $eFMn $o
RB %+|@c 具体要求：测试光路反射镜 9295:Y| w1 p3Ux%/ZqPV  6Hnez @d
;O}%SCF7 具体要求：探测器 Bz f R8mD Q'n+K5&p  1 %v6d
! gk|>E[. 结果：3D光线追迹 q K D or*{P=m+R  jc"sPr v5 "kP,v&n 结果：场追迹 $bG*f*w J]U_A/f
 Po)U!5Tm
?SNacN @r 结果：移动样品的场追迹结果 <W #G)c0 -*k2: i`  4NID:< 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ~pZ0B#K
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