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光学测量 > 干涉测量 4y3c=L
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tH/P 任务/系统说明 VNT? t{iRCj
N9G xJ6 $%bd`d*S 亮点 &t8,326; Yl&[_
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+u$JMp KZ[TW,Gw •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; Yh1nXkA!V •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; Wfd`v #2%V 具体要求:光源 l VD{Y`) O D N_i ;E
9o%f:o AA^K/y 具体要求:用于准直的消色差透镜 6~0kb_td I ]o|mjvs ._tEDY/1m <t(H+ykh L:Rg3eo H*k\C "t^RZ45 [Lji LKW 具体要求:分束器 wg0_J<y] ;yNY/ [6RODp3') *GXPN0^Qjo 具体要求:参考光路反射镜 _ s}aF Ix_w.f=8 s) s9Z,HY YFu,<8"swe
In?+ [>dDRsZ 具体要求:测试光路反射镜 L3oL>r'| i9Bh<j>:J ?m~1b_@A{ F5:xrcyC 具体要求:探测器 jRiMWolLv w?u3e+ ?`xF>P]M REU&8J@k&? 结果:3D光线追迹 Dom]w.W5 WxYEu+_ ef7 U7 hfIP
结果:场追迹 'L3MHTM>[ .
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u*%mUh }[|9vF"g.y 结果:移动样品的场追迹结果 O,
eoO,gB IfB .2e` u=L Dfn 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 {_(R?V]w,
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