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光学测量 > 干涉测量 7;XdTx eR/7*G 5 任务/系统说明 ,Y* f]
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eg3{sDv, 亮点 Abl=Ev
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\rpu=*gt •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； tFGLqR%/ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； qRUz;M4
%63<Iz " 具体要求：光源 NM4 n dCHU* 7DS  3laSPih [. Gqs8$[ o 具体要求：用于准直的消色差透镜 |y]#-T?)t 6ugBbP +^ R\<^A~(Gl  Z5+0?X 0i = *sP,
6 I=1tf;Bsi  1}(g =S o5)U3U1| 具体要求：分束器 e0 D;]
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Kt 具体要求：参考光路反射镜 wj/r)rv
E ? 0%lB=qQ  P6X 4m(t
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t0wLj}"U 具体要求：测试光路反射镜 xT@\FwPr 4Q$\ hO3b  6rRPqO
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/_ LUys/0 具体要求：探测器 "xh]>_;&' B q R8%F  nGRF< 2! p<$z!|7m 结果：3D光线追迹 Q<"zpwHR g6N{Z e Wg  7)[4|I ><$hFrR! 结果：场追迹 G $?VYC8; N 4Dye c\
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z1t 结果：移动样品的场追迹结果
`/ #6k> ')go/y`YK  wKwi reOs 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 lGs fs(
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