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光学测量 > 干涉测量 Hv, LS;W _f{{( 7 任务/系统说明 PW4q~rc=: ;rS{:
vv7I_nK? W9)&!&<o 亮点 pJ{Y
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f 1d?.) gFh*eC o
•从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; 3a|\dav% •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; Ep}s}Stlr} #/]nxW.S 具体要求:光源 {b{s<@? s @C}P `{Ul! -HuA
\0J 具体要求:用于准直的消色差透镜 Uz7<PLxd W%J\qA A=4OWV? 5X+A"X
;C qb4z
T xkn;,`t^lJ BuwY3F\-O UI#h&j5pW 具体要求:分束器 {8aTV}Ha2 ;);kEq/=P M?qy(zb M`>E|"< 具体要求:参考光路反射镜 % `3jL7| M}Sv8D]I 26nx`w?j( $^P0F9~0
4Up/p&1@ z @Y;r=v 具体要求:测试光路反射镜 nR~(0G,H C]#,+q* v1[29t<I! 9iq_rd] 具体要求:探测器 *or(1DXP8 `]X>V, &vJH$R c:0L+OF}xY 结果:3D光线追迹 Y7aqO5 TN.rrop`#g OH88n69 q@qsp&0/ 结果:场追迹 Zh,71Umz ,^:.dFH6
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'c&,oLY >bxS3FCX 结果:移动样品的场追迹结果 .h[:xYm hj:,S| R@0R`Zs 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 /mMV{[
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