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光学测量 > 干涉测量 ZR j/lQ2D ^h!}jvqE 任务/系统说明 K_F"j!0
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<H]s) 亮点 6TDa#k5v
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bbT1p :RF •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ny:/a •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； U".5x~UC
VS3lz?o?6g 具体要求：光源 P'^& SK CbwQbJ/v7  HCT+.n6 c#-*]6x 具体要求：用于准直的消色差透镜 j'`-3<k Va[t'%~&zR >X xHp  5 Od&-~O 7{\6EC}d[& 1zgM$p  g}d[j
I9 2!R+5^Iy 具体要求：分束器 p'A43 rl ,i,1t  #v; :K8
iJ`zWpj+{Q 具体要求：参考光路反射镜 "RTv[n! NQA2usb  0BH-kr
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q 4v:s 具体要求：测试光路反射镜 P *&Cght>0 r
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\OXQ%J2v 具体要求：探测器 gJ~CD1`O 3m$ck$  KciN"g|X djqw5kO:R 结果：3D光线追迹 !f]kTs]j~ %|j8#09  C80< L5\ > .I9S{7 结果：场追迹 ;2$0j1> ra2{8 x
 =K_&@|f+B
jYvl-2A' 结果：移动样品的场追迹结果 G;d3.ml/aZ U1(cBY  $ w+.-Tr 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 @1xIph<z
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