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光学测量 > 干涉测量 >aT~ G!y d(C5i8d 任务/系统说明 B? 9"Ztb
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EP{/]T 亮点 !:a^f2^=
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@[bFlqs E •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； w ,LB •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； n$<n
Yr`X
k0 ,]2R 具体要求：光源 ZUS06# t} 04:QEC"9mj  8zQN [ [#n `:W }yo<F 具体要求：用于准直的消色差透镜 XO}SPf- (?ZS 9&y} XRi37|p  A}i> ys ,3Nna:~f y< P Q$D)  G4uA&"OE IGo+O*dMw 具体要求：分束器 wI?AZd;`' B^C 5?  vJ e c+a
} wx(P3BHD 具体要求：参考光路反射镜 )g V @6w t? Q  (
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*A0*.>@N 具体要求：测试光路反射镜 l 0eh}d rLA^ &P:  zEDN^K '
9[h8Dy 具体要求：探测器 p,14'HS%@ NG:
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Q h$p}/A 结果：3D光线追迹 AI-ZZ6lzR %-
Ga ^[  =.qPjp_Q d O$X^Ea7~ 结果：场追迹 ~Xc1y!"9* wpt5'|I
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(&M,rW~Qxs 结果：移动样品的场追迹结果 l@`n4U.Gwl B?ipo,2~{  L;fz7? _j 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 $F6GCM3Cx
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