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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 7[qL~BT+  
    $^{#hYq)o  
    任务说明 aHpZhR| f$  
    h{ix$Xn~  
    Y.Z:H!P);$  
    },JJ!3  
    灵活地导出制造数据： ?jlz:Z4  
    - 平滑的界面 5toa@#Bc%  
    - 量化界面 _&S#;ni\c  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Mkk.8AjC|  
     {en'8kS  
    亮点 d *gv.mE  
     导出各种表面形状的制造数据 F5/,S   
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 a oU"  
         <YU4RZ  
    gz[3xH~  
    一般界面的制造数据 [{u3g4`}  
    ;xzaW4(3  
    YJ"D"QD  
    Q#SQ@oUzD  
    支持文件格式： ;zD4 #7=  
    - 纯文本 Y01! D"{\  
    - ASCII码 $'Mf$h  
    - 点云 \#dacQ2E@  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） LAxN?ok9gD  
     t&{;6MiE  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） |H_WY#  
    0: hv6Ge^  
    采样高度剖面的STL导出 I(pq3_9$  
    Qm[s"pM  
    eeCG#NFY5  
    wv{ Qx^  
    量化界面的GDSII导出 HV/:OCK  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 AK&>3D  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 V27RK-.N!  
    U[?_|=~7  
    E;C{i  
     
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