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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 YPxM<Gfa8  
    <7~'; K  
    任务说明 -f DnA4;  
    q.;u?,|E/  
    Hj}K{20  
    @{2 5xTt  
    灵活地导出制造数据： }4,L%$@n  
    - 平滑的界面 ?` ?)QE8  
    - 量化界面 ff^=Ruf$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 gw!vlwC&T  
     'tH_p  
    亮点 DA\2rLs  
     导出各种表面形状的制造数据 ;=MU';o  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 uLV#SQ=bZN  
         *}*FX+px)  
    .6Pw|xu`Pw  
    一般界面的制造数据 vw9@v`k  
    -Fe?R*-g  
    ,0!}7;j_c  
    *_d7E   
    支持文件格式： 9P+-#B  
    - 纯文本 9w7n1k.  
    - ASCII码 koug[5T5  
    - 点云 EFM5,gB.m  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） eceP0x  
     %WjXg:R  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Jcd-  
    C&(N I  
    采样高度剖面的STL导出 do>wwgr  
    .[ICx  
    D9H?:pmv?  
    ^'PWI{ O  
    量化界面的GDSII导出 m+]K;}.}R  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 NXrJfp  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 3EPv"f^V  
    N2;B-UF 7  
    o6.^*%kM'  
     
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