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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 Ri AMW|M"C  
    s8's(*]  
    任务说明 %2b^t*CQ  
    7vRp<  
    #Vmf 6  
    x%k@&d;z  
    灵活地导出制造数据： 8PVjNS/  
    - 平滑的界面 pl[@U<8aw  
    - 量化界面 D/"velV  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 S,5>/'fy0  
     ?[.8A/:5  
    亮点 8oI|Z=  
     导出各种表面形状的制造数据 x'\C'zeF  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 du ~V=%9  
         L#'XN H"  
    N.q*jY= X|  
    一般界面的制造数据 sm Ql^ 6a  
    $kN=45SR  
    !x ~s`z  
    ZI1]B944ni  
    支持文件格式： 7T6Zlp  
    - 纯文本 DrioBb@  
    - ASCII码 ?aWVfX!+G5  
    - 点云 l"+8>Mm  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ZCZ@ZN  
     sCt)Yp+8}B  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） `V<jt5TS  
    ORF:~5[YS`  
    采样高度剖面的STL导出 *U%3 [6hm  
    OE0G*`m  
    7$g$p&,VX  
     yZ[g2*1L  
    量化界面的GDSII导出 iSoQ1#MP)2  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 h/|p`MP\1  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 "9c=kqkX  
    573,b7Yf  
    VZr:yE  
     
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