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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 l$/lbwi%  
    Y`bTf@EP>  
    任务说明 er)I".|  
    =huV(THU  
    H%>4z3n   
    HRDpFMA/~  
    灵活地导出制造数据： y3s+.5;  
    - 平滑的界面 o1$u;}^|  
    - 量化界面 &gY) x{  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |9c~kTjK  
     /]xa}{^B  
    亮点 qVE0[ve  
     导出各种表面形状的制造数据 `!HD. E[2c  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6,3o_"J!  
         d"#Zp&#  
    M[YFyM(  
    一般界面的制造数据 7 D#y  
    !V37ePFje  
    - Fbp!*. u  
    H,X|-B  
    支持文件格式： 1w^wa_qx  
    - 纯文本 =W.}&  
    - ASCII码  V>'  
    - 点云 lZcNio  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ZLv/otf:|"  
     &P|[YP37_  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） E s5: S#  
    *n? 1C"l  
    采样高度剖面的STL导出 yS\&2"o  
    "S%t\  
    K}R+~<bIY  
    Lqj Qv$  
    量化界面的GDSII导出 G-Tmk7m  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 RU:Rt'  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F`nQS&y  
    Iv6 q(c  
    @dDeOnF  
     
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