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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 Xp@OIn  
    q\G@Nn^  
    任务说明 FL}8h/  
    06r cW `  
    }'JPA&h|  
    0_)\e  
    灵活地导出制造数据: i;7jJ(#V  
    - 平滑的界面 _TiF}b!hi  
    - 量化界面 dv: &N  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 'McVaPav  
    hy rJu{p  
    亮点 q2Dg~et  
     导出各种表面形状的制造数据 *0tNun 5=3  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 v\Gu  
         uhLW/?q.  
    :I8t}Wg  
    一般界面的制造数据 Sx7xb]3XI"  
     #Ki@=*  
    Si(?+bda0c  
    B;$5*3D+  
    支持文件格式: UHwrssX&3  
    - 纯文本 SX.v5plhc  
    - ASCII码 Ib C)F> Dq  
    - 点云 < XU]%}o  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) Xb {y*',  
    [o "@*kf  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) bL<cg tz7)  
    9lwg`UWl,  
    采样高度剖面的STL导出 :nn'>  
    2TO1i0  
    mv_-|N~  
    nDfDpP&  
    量化界面的GDSII导出 x4(WvQ%O#  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 B("kE`  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Y2fs$emv  
    .T2I]d  
    5Dd;?T>  
     
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