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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    30001
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 n9fA!Wic  
    (Cd{#j<  
    任务说明 15T[J%7f  
    v[DbhIXU  
    z<vO#  
    6 %k+0\d  
    灵活地导出制造数据： 4|41^B5Y  
    - 平滑的界面 : tqm2t  
    - 量化界面 ^zPEAXm  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ?r E]s!K  
     {!eANm'  
    亮点 )Z]y.W)  
     导出各种表面形状的制造数据 {AL9o2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 XL/o y'_  
         =<zSF\Zr_  
    h 4.=sbzZ  
    一般界面的制造数据 A r7mH4M  
    V52C,]qQH  
    z>p`!-'ID  
    ?-::{2O)  
    支持文件格式： .0fh>kQ  
    - 纯文本 ) !}-\5F  
    - ASCII码 o),6o'w(  
    - 点云 CndgfOF  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） O:^LQ  
     3JZWhxkf[$  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Xz .Y-5)  
    $7DcQ b9  
    采样高度剖面的STL导出 pz35trW  
    Ag4Ga?&8ec  
    *xo;pe)9  
    hN_f h J  
    量化界面的GDSII导出 *zVLy^L_8  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Z-h7  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 =e!l=d|/  
    H9san5{  
    uQu/(5  
     
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