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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 JUe K"|fA  
    !D.= 'V  
    任务说明 OpWC2t)  
    Wq=ZU\Y  
    [=]+lei  
    BXQ\A~P\  
    灵活地导出制造数据： L:|X/c9r[  
    - 平滑的界面 h(+m<J  
    - 量化界面 c4!c_a2pS  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Q#yu(  
     se^NQ=  
    亮点 {ar5c&<  
     导出各种表面形状的制造数据 CF4Oh-f  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 yDu yMt#  
         GFASF,+  
    kR`6s  
    一般界面的制造数据 | o;j0  
    \]L::"![?  
    9^#zxmH)  
    e]dPF[?7  
    支持文件格式： ft~|  
    - 纯文本 5WtQwN~  
    - ASCII码 mMD$X[:  
    - 点云 i?&4SG+2~K  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） CYTuj>Ww  
     r?Zy-yQ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Qwp\)jVi  
    MHpL$g=5_  
    采样高度剖面的STL导出 !_^ {udB}  
    rA1zyZlz  
    Xa@ _^oL  
    M[`w{A  
    量化界面的GDSII导出 6\)8mK  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 lzr>WbM{{p  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 BM=V,BZy  
    IDiUn! 6Q  
    9" }^SI8  
     
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