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光整形>衍射光学 Xp@OIn q\G@Nn^ 任务说明 FL}8h/ 06r cW ` }'JPA&h| 0_)\ e 灵活地导出制造数据: i;7jJ(#V - 平滑的界面 _TiF}b!hi - 量化界面 dv:&N - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 'McVaPav hy rJu{p 亮点 q2Dg~et 导出各种表面形状的制造数据 *0tNun 5=3 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 v\Gu uhLW/?q. :I8t}Wg 一般界面的制造数据 Sx7xb]3XI" #Ki@=* Si(?+bda0c B;$5*3D+ 支持文件格式: UHwrssX&3 - 纯文本 SX.v5plhc - ASCII码 IbC)F> Dq - 点云 <XU]%}o - CAD格式(例如,STL,IGES) Xb {y*', [o "@*kf STL导出平滑界面(例如Asphere) bL<cgtz7) 9lwg`UWl, 采样高度剖面的STL导出 : nn'> 2TO1i0 mv_-|N~ nDfDpP& 量化界面的GDSII导出 x4(WvQ%O# 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 B("kE` 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Y2fs$emv .T2I]d 5Dd;?T>
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