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光整形>衍射光学 |+mOH#Aty
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| - 平滑的界面 jqqaw - 量化界面 yHtGp%j - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 W9+h0A- , Z4p0M 亮点 W&LBh%"g 导出各种表面形状的制造数据 (Z'WR 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 SE-} XI\ Ol_/uy1r[ 'iGMn_& 一般界面的制造数据 +}\29@{W 8|Q4-VK<! l [x%I d^_itC;-, 支持文件格式: P$F#,Cn - 纯文本 l#|J
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6 - 点云 p0?o<AA%O - CAD格式(例如,STL,IGES) krwf8!bI {MA@A5 STL导出平滑界面(例如Asphere) @eA %(C ]~ >@%v& 采样高度剖面的STL导出 u`nt\OF W3aXW,P. V 3l.Nz@a* ;q'DGzh 量化界面的GDSII导出 X #H:&*[! 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 e|35|I ' 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 }q/(D? zmdWVFVv /1H9z`qV
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