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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 Pxu!,Mi[d  
    2SU G/-P#  
    任务说明 ^_b+o  
    p D!IB`cA4  
    .#R\t 7m%  
    fLK*rK^{"  
    灵活地导出制造数据： v0!>":  
    - 平滑的界面 KZO!  
    - 量化界面 Saa# Mj`M  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 D+{h@^C9Z  
     9_'xq.uP  
    亮点 L%`~`3%n-  
     导出各种表面形状的制造数据 (gBP`*2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 r{qM!(T  
         e#Jx|Ej=  
    $Ch!]lJA  
    一般界面的制造数据 $Tu%dE(OF  
    ^ ab%Mbb  
    :T3I"  
    R`ajll1  
    支持文件格式： 6N(Wv0b $  
    - 纯文本 RC Fb&,51  
    - ASCII码 N'R^S98x  
    - 点云 j>~^jz:  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） pc&/'zb  
     aNb=gjLpt  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Ixm< wKwW#  
    LNml["   
    采样高度剖面的STL导出 #(3w6 l2  
    P(G$@},W  
    ~Kda#=  
    A<^IG+Q,B7  
    量化界面的GDSII导出 |Hg)!5EJ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 d{&+xl^ll  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 !q~s-~d^  
    %j=dKd>  
    $K^"a  
     
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