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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 <8r%_ ']  
    ;% !'K~  
    任务说明 FL0(q>$*8  
    OMO.-p  
    04:^<n+{  
    gGe `w  
    灵活地导出制造数据： ![U|2x   
    - 平滑的界面 N\HOo-X  
    - 量化界面 gjvKrg  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 $0D]d.w=  
     <G\q/!@_  
    亮点 '(&.[Pk:"  
     导出各种表面形状的制造数据 h3>/..l  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 l5D8DvJCj  
         t%q@W,2J  
    n/S1Hae`  
    一般界面的制造数据 *8,]fBUq  
    8WZM}3x$f{  
    ,V.X-`Y  
    >=6tfLQ  
    支持文件格式： EmVE<kY .  
    - 纯文本 kVy%y"/  
    - ASCII码 ggJn oL  
    - 点云 ~WehG<p v[  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） z[}[:H8  
     aJOhji<b#L  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 6*GY%~JbD  
    -+#\WB{AI  
    采样高度剖面的STL导出 { >bw:^F  
    k[gO>UGB;  
    +VI2i~  
    \;.\g6zX  
    量化界面的GDSII导出 68+ 9^  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。  $3W[fC  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 tO)mKN+ (  
    +/-#yfn!TR  
    ,N?~je.  
     
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