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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 I!Za2?  
    k .l,>s`!  
    任务说明 |wj/lX7y  
    ]R{=|  
    s ^{j  
    efP2 C\  
    灵活地导出制造数据： HI eMV,.QN  
    - 平滑的界面 OiY2l;68  
    - 量化界面 D2Go,1  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Xl*-A|:j  
     vR~*r6hX8  
    亮点 fhn0^Qc"+  
     导出各种表面形状的制造数据 o6K BJx  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6YU2  !x  
         z_l3=7R  
    z(orA} [  
    一般界面的制造数据 .^.UJo;4G  
    @+X}O /74  
    e@,,;YO#4  
    Nd!2 @?V4  
    支持文件格式： rb\Ohv\  
    - 纯文本 e?lqs,m@"  
    - ASCII码 W{m0z+N[B  
    - 点云 \a]\j Zb  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 6eK^T=  
     83l)o$S  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） {Rj'=%h  
    TcfBfscU  
    采样高度剖面的STL导出 r IK|}5  
    ?s"v0cg+  
    *u{.K:.I  
    JN KZ'9  
    量化界面的GDSII导出 kyo ,yD  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 dju&Ku  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 NxX1_d  
    wD,F=O  
    j'J*QK&Q  
     
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