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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 n S Vr,wU  
    G1 I<B  
    任务说明 8zjJshE/  
    6!=q+sw/X  
    VmXXj6l&  
    <^ratz!-  
    灵活地导出制造数据： [EQTrr( D  
    - 平滑的界面 (tiE%nF+  
    - 量化界面 X8~?uroq  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 zOy_qozk  
     "od 2i\  
    亮点 r*FAUb`bG  
     导出各种表面形状的制造数据 #;;A~d:V  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 "wxyY^"  
         _!?a9  
    T]\'D&P~D  
    一般界面的制造数据 v[jg|s&6"  
    o}52Qio  
    \#C]|\  
    1>umf~%Wa  
    支持文件格式： L;6{0b58 $  
    - 纯文本 $9W,1wg  
    - ASCII码 )d{fDwrx1  
    - 点云 <uo@k'   
    - CAD格式（例如，STL，IGES） UH((d*HX4  
     @R`Ao9n9V  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <EY{goW  
    =t.T9'{  
    采样高度剖面的STL导出 {.Brh"yC  
    wb39s^n  
    J M;WCV%NM  
    d9l2mJzW  
    量化界面的GDSII导出 \9}DAM_  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Bt(nm> Ng  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。  e `K{  
    o76{;Bl\O  
    6yC4rX!a  
     
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