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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 k)JwCt.%  
    G_?qY#"(  
    任务说明 ;\t(c  
    Dz+R Q`Vn  
    qFjnuQ,w  
    *1_A$14 l  
    灵活地导出制造数据： \K(# r=  
    - 平滑的界面  Fr9_!f  
    - 量化界面 {4b8s%:!4  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 &qZ:"k  
     )> a^%V9  
    亮点 mC84fss  
     导出各种表面形状的制造数据 mOx>p"n  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 r;8$ 7C.  
         [E/8E h<  
    If(IG]>`D  
    一般界面的制造数据 b=Y3O  
    O)G^VD s  
    j~Ubpf  
    )"<:Md$7  
    支持文件格式： S|ADu]H(  
    - 纯文本 :@+@vM;gh  
    - ASCII码 Q?W}]RW  
    - 点云 z@J;sz  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ,?s: s&4  
     )L:p.E  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） pc<A ,?  
    +jX.::UPm  
    采样高度剖面的STL导出 >zB0+l  
    CT#N9  
    =k22f`8ew  
    z c, Q  
    量化界面的GDSII导出 OAtn.LU  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 X7& ^"|:  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 { Sn J  
    q3R?8Mb  
    w97B)Kn6  
     
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