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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 RvgAI`T7$  
    R`<{W(J;r  
    任务说明 ix_$Ok  
    #L)4 |  
    t' _,9  
    1v8:,!C  
    灵活地导出制造数据： - KoA[UJ  
    - 平滑的界面 G~mB=]  
    - 量化界面 } cH"lppX  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 6nhfI\q3wY  
     +{l3#Y  
    亮点 L_CEY  
     导出各种表面形状的制造数据 cJp1 <R  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 30T:* I|  
         @,f,tk=\S  
    hH@o|!y  
    一般界面的制造数据 ~{]m8a/ `6  
    [.yx2@W  
    ";!1(xZr  
    @kgpq  
    支持文件格式： )jQe K  
    - 纯文本 3=eGS  
    - ASCII码 crOtQ  
    - 点云 2>_LX!kyP]  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） nR|uAw  
     -uY:2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 5|B(K @<  
    ?@uK s4  
    采样高度剖面的STL导出 H1c|b !C  
    (? #U&  
    '/]Aaf@U8  
    ThiPT|5u  
    量化界面的GDSII导出 m{=~| I  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ;@;ie8H  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 YH'.Yj2  
    uu46'aT  
    -*{(#k$  
     
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