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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 mKvk6OC  
    &+xNR2";  
    任务说明 va:5pvt2&  
    <omSK- T-  
    Zyu4!  
    f-k%P$"X&  
    灵活地导出制造数据： ,l_"%xYx  
    - 平滑的界面 Vge9AH:op  
    - 量化界面 Elo m_   
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 {<v?Z_!68  
     GASDkVoij  
    亮点 <2fZYt vt  
     导出各种表面形状的制造数据 -L NJ*?b  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 & VJ+X|Z  
         Ty}'A(U  
    [GyW1-p33w  
    一般界面的制造数据 >KNiMW^V  
    ~dkS-6q~Q  
    ;/XWX$G@  
    MXh0a@*]  
    支持文件格式： QgqR93Ic  
    - 纯文本 z{wJQZ9"  
    - ASCII码 P6!c-\  
    - 点云 H!y1&  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） *Ew`Fm H  
     /vYuwaWG=  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） mp*&{[XoVC  
    8doKB<#_+=  
    采样高度剖面的STL导出 %?Yf!)owh  
    IE+{W~y\  
    D|9xD  
    p9 <XaJ}   
    量化界面的GDSII导出 `aD~\O  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 :XC~G&HuF6  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 h64<F3}  
    -|bnvPmE  
    tBd-?+~7  
     
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