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光整形>衍射光学 'Z]wh .]T +* j8[sz 任务说明 a`[9<AM1# &F:.OVzX -L<FVB p I~;3T:! 灵活地导出制造数据: !>V)x - 平滑的界面 !??g:2 - 量化界面 m\XG7uo~ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `H 'wz7 -w>ss& 亮点 1{wbC) 导出各种表面形状的制造数据 Sfa=AV7K 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :wN!E{0j |fW_9={1kQ &r,)4q+ 一般界面的制造数据 E [6:}z< N:okt)q:% +xgP&nw[- #a2gRg 支持文件格式: J .VZD - 纯文本 i]s%tEZ1 - ASCII码 HOF=qE*p - 点云 jEwt1S V - CAD格式(例如,STL,IGES) L|}s Z\2! }-J0cV STL导出平滑界面(例如Asphere) /[D_9 5KDCmw 采样高度剖面的STL导出 fUGappb H Tv#2WX <5,|h3]-# s2GF*{ 量化界面的GDSII导出 [3I|MZ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =*I|z+ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ,p OGT71 PEm2w#X%L .Zj`_5C
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