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光整形>衍射光学 6TJ5G8z_ =BQM(mal 任务说明 O%5cMz?eU r9z_8#cR gP8Fe =] kv&%$cA 灵活地导出制造数据: kf\n
- 平滑的界面 B04%4N.g"X - 量化界面 B+S
&vV - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 # m?GBr%k jm&?;~>O 亮点 NCYN .@J 导出各种表面形状的制造数据 KK4>8zGR 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #Z<pks2
y *zeY<6 !t "uNlN 一般界面的制造数据 n4\6\0jq6 W7.O(s,32 f gI.q #S2LQ5U 支持文件格式: QwXM<qG* - 纯文本 xb\(>7M6Y - ASCII码 -v?,{?$0 - 点云 N[X%tf\L]F - CAD格式(例如,STL,IGES) nR4L4tdS GlP
[: STL导出平滑界面(例如Asphere) A[J9v{bD LinARMPv 采样高度剖面的STL导出 2!f0!<te }u
cqzdk#2 `%AFKmc^; vLR)B@O,2 量化界面的GDSII导出 9\3% 5B7 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 g0I<Fan 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 IcZ_AIjlk idnn%iO lMAmico
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