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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 s0`uSQ2X  
    a v`eA`)S  
    任务说明 =* (d+[_  
    PD$'xY|1=  
    S9L3/P]  
    JRo{z{!O6  
    灵活地导出制造数据： jAJkCCG  
    - 平滑的界面 R]r~TJ o  
    - 量化界面 2N]y)S_<V  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 )WFUAzuN,  
     \{&55>  
    亮点 }5]NUxQ_  
     导出各种表面形状的制造数据 ;N j5NB7  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 W!Xgse3  
         gr S,PKH  
    kPxEGuL'  
    一般界面的制造数据 ktS0  
    GV2}K <s  
    x x 'XR'zK  
    KcrF=cA  
    支持文件格式： i$F)h<OU+  
    - 纯文本 "TxXrt%>A  
    - ASCII码 xp39TiXJ*  
    - 点云 >?DrC/  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） lS,Hr3Lz  
     "90}H0(+  
    STL导出平滑界面（例如Asphere）  r>G$u  
     /!9949XV  
    采样高度剖面的STL导出 0}b8S48|?  
    K E^_09  
    hyBSS,I  
    yy>4`_  
    量化界面的GDSII导出 {66vdAu&h<  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 <W5F~K ;41  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 &{ f5F7E@  
    XkNi 'GJf  
    {:rU5 !n  
     
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