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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 ;d40:q<  
    sAlgp2-  
    任务说明 KZNyp%q  
    &0`7_g7G  
    X_l,fu^C#$  
    $0t %}DE  
    灵活地导出制造数据： [Nc  Ok,  
    - 平滑的界面 t57b)5{FM  
    - 量化界面 VRt*!v<")  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 XU7bWafy  
     yqwr0yDAl  
    亮点 JM%#L*;  
     导出各种表面形状的制造数据 ?2;G_P+  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 )' #(1 ,1k  
         gId+hxFa:r  
    06$9Uz9  
    一般界面的制造数据 oMbCljUC  
    (6{ VMQ  
    }1dh/Cc`  
    i|mA/ e3b  
    支持文件格式： 9A!qg<  
    - 纯文本 }dM^6 Kd%  
    - ASCII码 a{W-+t   
    - 点云 6wgOmyJx  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） KK6YA  
     y]_DW6W  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） (Q+3aEUE  
    ]u';zJ.  
    采样高度剖面的STL导出 7F4]EA ^  
    =qRVKz  
    W% ud nJ  
     Eqc$*=  
    量化界面的GDSII导出 :*1w;>o)n  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =F4}  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 UsTPNQj  
    [6|vx},N  
    hj4Rr(T  
     
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