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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 {sfmWVp  
    4<3?al&  
    任务说明 x(3 I?#kE  
    1y)$[e   
    +zVcOS*-  
    4Fr7jD,#k  
    灵活地导出制造数据： EDgob^>  
    - 平滑的界面 =@1R ozt  
    - 量化界面 Z*)y.i`  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ]lB3qEn<  
     B~_,>WG  
    亮点 u .pKK  
     导出各种表面形状的制造数据 5}d/8tS  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 HV$9b~(  
         .cH{WZ  
    q(jkit~`A  
    一般界面的制造数据 9#EHXgz  
    ,3J`ftCV  
    }4\!7]FVYX  
    &Xn8oe  
    支持文件格式： #E$Z[G]  
    - 纯文本 J2oWssw"  
    - ASCII码 iBtjd`V*  
    - 点云 StdS$XW  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） p29yaM  
     { /F rs*AF  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） _Ra<|NVQh  
    j*eUF-J1  
    采样高度剖面的STL导出 ElEv(>G*  
    Z92iil;t  
     O ':0V  
    `FzYvd"N  
    量化界面的GDSII导出 't0+:o">:  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 s.R-<Y 3  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 >op:0on]}  
    z_:eM7]jv  
    wDT>">&d  
     
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