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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 Fb_~{q  
    )S`A+M K]  
    任务说明 YRwS{ e*u  
    aH:eu<s  
    86I".R$d  
    CocvEoE*z  
    灵活地导出制造数据： s^AYPmR6  
    - 平滑的界面 fpzTv3D=I  
    - 量化界面 lr|-_snx2  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 2^juLXc|R  
     3(CUC  
    亮点 R% ddB D\?  
     导出各种表面形状的制造数据 Wl*\kQ}U  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6=zme6D  
         2Gj&7A3b  
    4iKT  
    一般界面的制造数据 5ogbse"  
    .Wr7?'D1M  
    ;mMn-+3<  
    wwF20  
    支持文件格式： *d%m.:)N  
    - 纯文本 "BTA"  
    - ASCII码 ;DRJL   
    - 点云 ^x4gUT-Wy  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） M+ H$Jjcs  
     rm2TWM|  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Gjzhgz--  
    1sgoT f%  
    采样高度剖面的STL导出 ]-0 &[@I4@  
    f+)F-3  
    4u /?..L.  
    =7$YBCuF  
    量化界面的GDSII导出 jx-W$@  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }g`A*y;t  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 =EIsqk^*  
    $bN%x/  
    za24-q  
     
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