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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 &-=~8  
    %1i:*~g  
    任务说明 xX<f4H\'  
    N~!, S;w  
    /e2zH  
    9JA@m  
    灵活地导出制造数据： 5iA>Z!sP[  
    - 平滑的界面 w;O-ATUzN  
    - 量化界面 6Z_V,LD9L  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 cGV%=N^BE<  
     Nf] ?hfJ  
    亮点 RTmp$lV  
     导出各种表面形状的制造数据 $g>bp<9v4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 t% qep|  
         4S26TgY  
    H$I~Vz[\yb  
    一般界面的制造数据 `%Ih'(ne  
    rI$NNk'A  
    2.^{4 1:  
    =Y2 Rht  
    支持文件格式： VIF43/>(  
    - 纯文本 v`|]57?A  
    - ASCII码 1/-3m Po  
    - 点云 YS|Dw'%g /  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ]9YA~n\  
     p/Ul[7A4e  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） u9"kF  
    ]+I9{%zB%8  
    采样高度剖面的STL导出 PysDDU}v  
    9k6s  
    Jqxd92 bI  
    dj0%?g>  
    量化界面的GDSII导出 7i"b\{5  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /9_%NR[  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 X_78;T)uA  
    IHEbT   
    &PC6C<<f  
     
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