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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 6TJ5G8z_  
    =BQM(mal  
    任务说明 O%5cMz?eU  
    r9z_8#cR  
    gP8Fe =]  
    kv&%$cA  
    灵活地导出制造数据: kf\n  
    - 平滑的界面 B04%4N.g"X  
    - 量化界面 B+S &vV  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #m?GBr%k  
    jm&?;~>O  
    亮点 NCYN .@J  
     导出各种表面形状的制造数据 KK4>8zGR  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #Z<pks2 y  
         *zeY<6  
    !t "uNlN  
    一般界面的制造数据 n4\6\0jq6  
    W7.O(s,32  
    f gI.q  
    #S2LQ5U  
    支持文件格式: QwXM<qG*  
    - 纯文本 xb\(>7M6Y  
    - ASCII码 -v?,{?$0  
    - 点云 N[X%tf\L]F  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) nR4L4tdS  
    GlP [:  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) A[J9v{bD  
    LinARMPv  
    采样高度剖面的STL导出 2!f0!<te  
    }u cqzdk#2  
    `%AFKmc^;  
    vLR)B@O,2  
    量化界面的GDSII导出 9\3%5B7  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 g0I<Fan  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 IcZ_AIjlk  
    idnn%iO  
    lMAmico  
     
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