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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 'Z]wh.]T  
    +* j8[sz  
    任务说明 a`[9<AM1#  
    &F:.OVzX  
    -L<FVB  
    p I~;3T:!  
    灵活地导出制造数据: ! >V)x  
    - 平滑的界面 !??g:2  
    - 量化界面 m\XG7uo~  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `H 'wz7  
    -w>ss&  
    亮点 1{wbC)  
     导出各种表面形状的制造数据 Sfa=AV7K  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :wN !E{0j  
         |fW_9={1kQ  
    &r,)4q+  
    一般界面的制造数据 E [6:}z<  
    N:okt)q:%  
    +xgP&nw[-  
    #a2gRg  
    支持文件格式: J .VZD  
    - 纯文本 i]s%tEZ1  
    - ASCII码 HOF=qE*p  
    - 点云 jE wt1S V  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) L|}s Z\2!  
    }-J0cV  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) /[D_9  
    5KDCmw  
    采样高度剖面的STL导出 fUGappb  
    HTv#2WX  
    <5,|h3]-#  
    s2GF*{  
    量化界面的GDSII导出 [3I|MZ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =*I|z+  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ,p OGT71  
    PEm2w#X%L  
    .Zj`_5C  
     
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