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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 %:u[MBe,  
    1dG06<!  
    任务说明 pyB~M9Bp/  
    VOgi7\  
    h)x_zZ%>o  
    %|"Qi]c d  
    灵活地导出制造数据： dcq#TBo8  
    - 平滑的界面 lZ+!H=`  
    - 量化界面 #V_GOy1-  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 UpUp8%fCU  
     t#b0H)  
    亮点  [aW =  
     导出各种表面形状的制造数据 \e:d)^cbh  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 4A.Q21s  
         6m`{Z`c$  
    J !#Zi#8sF  
    一般界面的制造数据 ae`|ic  
    p2pAvlNoF  
    B5=($?5^6%  
    #MgvG,  
    支持文件格式： <+]f`c*Z  
    - 纯文本  i g71/'D  
    - ASCII码 S`q%ypy  
    - 点云 FLr ;`3  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） %5B%KCCN  
     vA&Vu"}S  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 8 %Sb+w07  
    xAdq+$><  
    采样高度剖面的STL导出 ]qktj=p  
    k`YYZt]@  
    tJZc/]%`H  
    }STYG`  
    量化界面的GDSII导出 3'eG ;<F  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 k*$3i  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 8<&EvOk  
    !~ rt:Z  
    LI W*4r!  
     
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