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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 lM86 *g 'l  
    w,bILv)  
    任务说明 X^r5su?  
    / *RDy!m  
    ,24NMv7  
    L$=@j_V2  
    灵活地导出制造数据: Q&] }`Rp=  
    - 平滑的界面 7F5 t&  
    - 量化界面 !C * %,Ak  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 jJk M:iR  
    lTY%,s  
    亮点 dIQ7u  
     导出各种表面形状的制造数据 PVP,2Yq!  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 *:J#[ET,  
         >ygyPl ;1s  
    #~3x^ 4Y  
    一般界面的制造数据 K QXw~g?  
    M[}EVt~  
    #H{<nVvg^  
    sOg@9-_Uh  
    支持文件格式: SlB,?R2  
    - 纯文本 f{xR s-u]  
    - ASCII码 h#'(i<5v  
    - 点云 ^.5 L\  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) )67_yHW  
    pJrc\`D  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) kq6S`~J^R  
    D M(WYL{  
    采样高度剖面的STL导出 3G9"La,b  
    |:$D[=  
    e48`cX\E  
    %;yDiQ!+  
    量化界面的GDSII导出 9r-]@6;  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 j}uFp|df<  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 W7>4-gk  
    Qj5~ lX`W  
    ["- pylhK  
     
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