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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 (${:5W  
    V-#JV@b  
    任务说明 YK{J"Kof  
    |dEPy- Xe  
    wipl5O@L  
    !%M,x~H  
    灵活地导出制造数据： v@Eb[7Kq/1  
    - 平滑的界面 \:Tq0|]Px  
    - 量化界面 @2. :fK  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 :|kO}NGM  
     #*pB"L  
    亮点 bP-(N14x+  
     导出各种表面形状的制造数据 @!oN]0`F;  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 mZB:j]T  
         OEl;R7aOB&  
    M2ex 3m  
    一般界面的制造数据 >b"@{MZ@t  
    I~F&@  
    !m:WoQ/  
    KRlJKd{  
    支持文件格式： .S|T{DMQ[  
    - 纯文本 _Ycz@Jn  
    - ASCII码 iJhieNn  
    - 点云 nI?*[y}  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~l:Cj*6x8  
     kM4z %  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 'Up75eT  
    r3?8nQ$  
    采样高度剖面的STL导出 jt}oq%Bf  
    N LpKh1g  
    Dti-*LB1  
    qspGNu  
    量化界面的GDSII导出 b+:mV7eX  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 MVzj7~+  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 {J1rjrPo  
    r6\g #}  
    <w}i  
     
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