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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 %afz{a5  
    Nt~G  {m  
    任务说明 z6Zd/mt~x  
    /X;! F>  
    \L"0Pmt[  
    a0PClbf2.  
    灵活地导出制造数据： j`QXl  
    - 平滑的界面 H]( TSt<Q"  
    - 量化界面 q OV$4[r  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 y$+_9VzYB  
     Dv}VmC""  
    亮点 p~z\&&0U0  
     导出各种表面形状的制造数据 vu3zZMl  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 BHR(B]EI  
         =xr2-K)e  
    P(B&*1X  
    一般界面的制造数据 pt%Y1<9Eh?  
    gW^0A)5  
    v*^'|QyM7  
    y6&o+;I$[  
    支持文件格式： TE-(Zil\  
    - 纯文本 W.> }5uVl6  
    - ASCII码 @Uqcym.  
    - 点云 @wh-.M D  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） K Vnz{cx`  
     6t'vzcQs  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） $u, ~183  
    mV|Z5= f  
    采样高度剖面的STL导出 M<ba+Qn$  
    Ur(<  ]  
    +K48c,gt?  
    *a'I  
    量化界面的GDSII导出 |M|>/U 8  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 nBtKSNT#Q  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 oT9qd@uQ0:  
    cD9.L  
    m]&y&oz  
     
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