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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 )nJh) {4\  
    [ZkK)78}k  
    任务说明 ti^msC8e  
    ImVHX~ qHJ  
    e4?p(F-x(  
    dJwE/s  
    灵活地导出制造数据： 7ZRLSq'S  
    - 平滑的界面 {!rpE7P-  
    - 量化界面 l\{{iAC]I  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 a)GT\1q  
     gXI8$W>  
    亮点 V57tn6 >b  
     导出各种表面形状的制造数据 bp?4)C*R  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -{'WIGm  
         j9Y'HU5"  
    W6[# q%o  
    一般界面的制造数据 b#[7A  
    m6=Jp<  
    5Myp#!|x:  
    51lN,VVD  
    支持文件格式： *yxn*B_xZ  
    - 纯文本 %1oG<s  
    - ASCII码 j? P=}_Ru  
    - 点云 !Cv:,q  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） T=n)ea A  
     p+>vX X  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） RY]Vo8  
    t*'U|K4L/  
    采样高度剖面的STL导出 -N]%) Hy  
    4q7hL  
    ayvHS&h  
    /Sag_[i  
    量化界面的GDSII导出 ?pJUbZ#J  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ~qxuD_  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 3l8k O  
    M:? :EJ  
    $yA2c^QS  
     
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