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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 CBHc A'L  
    )+Y&4Qu  
    任务说明 , Oli  
    qtzRCA!9(Z  
    gb 4pN  
    >o[|"oLO  
    灵活地导出制造数据： e|'N(D}h*  
    - 平滑的界面 ("Dv>&w9  
    - 量化界面 _V@P-Ye  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 z\.1>/Z=  
     _;e\:7<m  
    亮点 V(mn yI  
     导出各种表面形状的制造数据 ek)Xrp:2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 97!5Q~I  
         40K2uT{cq  
    8$}OS-  
    一般界面的制造数据 9L)L|4A.l  
    7 g6RiH}  
    Y<LNQ]8\G  
    8tQ|-l *  
    支持文件格式： .3wY\W8Dr-  
    - 纯文本 Iql5T#K+  
    - ASCII码 0BTLcEqgZ  
    - 点云 ^M Ey,  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 3"rkko?A  
     Y}.Ystem  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） F?4Sz#  
    I/s.xk_i  
    采样高度剖面的STL导出 $qm~c[x%  
    } uQ${]&D  
    3g'+0tEl  
    >q(6,Mmb  
    量化界面的GDSII导出 U e*$&VlT  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 D ,M@8 h,  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Hed$ytMaGz  
    ?`P2'i<b  
    Q}P-$X+/ n  
     
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