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光整形>衍射光学 lM86 *g 'l w,bILv) 任务说明 X^r5su? / *RDy!m ,24NMv7 L$=@j_V2 灵活地导出制造数据: Q&]
}`Rp= - 平滑的界面 7F5t& - 量化界面 !C
*%,Ak - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 jJkM:iR l TY%,s 亮点 dIQ7u 导出各种表面形状的制造数据 PVP,2Yq! 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 *:J#[ET, >ygyPl
;1s #~3x^4Y 一般界面的制造数据 K QXw~g? M[}EVt~ #H{<nVvg^ sOg@9-_Uh 支持文件格式: SlB,?R2 - 纯文本 f{xR
s-u] - ASCII码 h#'(i<5v
- 点云 ^.5L\ - CAD格式(例如,STL,IGES) )67_yHW pJrc\`D STL导出平滑界面(例如Asphere) kq6S`~J^R D
M(WYL{ 采样高度剖面的STL导出 3G9"La,b
|:$D[= e48`cX\E %;yDiQ !+ 量化界面的GDSII导出 9r-]@6; 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 j}uFp|df< 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 W7>4-gk Qj5~ lX`W ["- pylhK
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