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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 t}$WP&XRG<  
    Tvdg:[V<  
    任务说明 nd~cpHQR^  
    q6R``  
    =EE>QM  
    ~8fy qE$  
    灵活地导出制造数据： \PHbJN:BI  
    - 平滑的界面  3W& f^*  
    - 量化界面 $q}zW%  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 +OEheG8  
     x?5D>M/Y  
    亮点 L$T23*9XY  
     导出各种表面形状的制造数据 yiourR)H<  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 F?APDGAN  
         }bkQr)us  
    V?_:-!NJ(  
    一般界面的制造数据 cOhx  
    b-'T>1V  
    %8U/!(.g  
    nw.,`M,N  
    支持文件格式： | DB7o+4  
    - 纯文本 VR5CRNBJ  
    - ASCII码 6A$  Y]u  
    - 点云 PIo8mf/  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） k4@$vxy0  
     YTb/ LeuT  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） U;PGBoe  
    0ZRIi70u  
    采样高度剖面的STL导出 =I(F(AE  
    9YMD[H\}V  
    rzl0*CR  
    *F4"mr|\  
    量化界面的GDSII导出 E2hy%y9Tp  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 jUtFDw  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 .zm/GtOV@  
    M&93TQU-  
    v|]1x2191  
     
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