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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 XF}rd.K:  
    - hzjV|  
    任务说明 1S0pd-i  
    MxOD8TDF4  
    ,`32!i  
    ,Ol (piR  
    灵活地导出制造数据： Rrg8{DZhv  
    - 平滑的界面 _n"Ae?TP  
    - 量化界面 Q$ri=uB;+  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F2 ~%zNe  
     {fV}gR2  
    亮点 O oSb>Y/4  
     导出各种表面形状的制造数据 [BM*oEFPB*  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 T@[!A);  
         ow6*Xr8eQ  
    ~>5#5!}@*  
    一般界面的制造数据 x0Yse:RE^  
    %+-C3\'  
    ; |L<:x/  
    *1{S*`|cJy  
    支持文件格式： f[sF:f(zI  
    - 纯文本 rR,2UZR  
    - ASCII码 _q?<at}y  
    - 点云 \}_Yd8  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） :q#K} /  
     ]"~51HQZ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 8FkFM^\1L  
    @kFu*"  
    采样高度剖面的STL导出 Q;u SWt<{  
    ' GG=Ebt  
    7v7G[n  
    {g6Qv-  
    量化界面的GDSII导出 fP HLXg5s  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 x9W(cKB'S  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 9\;|x  
    ILwn&[A0  
    ,#]t$mzbQ(  
     
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