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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 tFlLKziU  
    J)(KGdk  
    任务说明 MzUNk`T @  
    Cg{V"B:  
    uu0"k<Tp  
    _cPGS=Ew  
    灵活地导出制造数据： `y"(\1  
    - 平滑的界面 `|nCr  
    - 量化界面 ;QYUiR  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 P`z#tDT^"  
     (4:&tm/;  
    亮点 7oUecyoj  
     导出各种表面形状的制造数据 ]x)^/ d  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 a^:on?:9  
         i;:gBNmo=  
    +=.>9  
    一般界面的制造数据 iYbp^iVg  
    x<&2`=  
    o>Fc.$ngZ  
    Vo1,{"k  
    支持文件格式： etnq{tE5  
    - 纯文本 RLy2d'DS  
    - ASCII码 ~H<oqk:O-  
    - 点云 0)<\jo1 F  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） #kGgz O  
     8bf_W3  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） R'Gka1v  
    hY*ylzr83  
    采样高度剖面的STL导出 `.oWmBey\  
    U%.%:'eV=  
    R7'6#2y  
    \xCI8 *W  
    量化界面的GDSII导出 vR`#kxSdJ@  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ]|H`?L  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 8|]r>L$Wk  
    " a&|{bv  
    =1|^) 4M,x  
     
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