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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 3 h#s([uL  
    P3G:th@j=  
    任务说明 0z/h+,  
    yL.^ =  
    gWkjUz )  
    0f1H8zV  
    灵活地导出制造数据： z;J  
    - 平滑的界面 PC|'yAN:  
    - 量化界面 XM$GQn]B  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 pjACFVMFX  
     sH%&+4!3  
    亮点 ] GNh)  
     导出各种表面形状的制造数据 J==}QEhQ{  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 A^-iHm  
         =nzFd-P  
    _74UdD{^o  
    一般界面的制造数据 R;r|cep  
    ;d4 y{  
    `mrCu>7  
    D3y>iQd   
    支持文件格式： z=qWJQ  
    - 纯文本 %VWp&a8  
    - ASCII码 x@Y|v@}BE  
    - 点云 Tw x{' S  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Rs2-94$!5  
     q3+I<qsAz  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） EY~7oNfc`R  
    G.Tpl-m  
    采样高度剖面的STL导出 B%fU'  
    ?;^5ghY$  
    4f!dY o4L  
    Ah (iE  
    量化界面的GDSII导出 vO]J]][  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 FuuS"G,S  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 45) D+  
    -bA!PeI  
    ;|!MI'Af  
     
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