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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 V Yw%01#  
    d`d0 N5\  
    任务说明 { BEo &  
    u>pBB@  
    HMY@F_qY`u  
    d1joVUYE  
    灵活地导出制造数据： 8q)=  
    - 平滑的界面 71C42=AU  
    - 量化界面 vB! |\eJ  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 T#Z%y!6  
     3/JyUh?  
    亮点 [\R>Xcu>  
     导出各种表面形状的制造数据 wY"o`o Z  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 dGwszziuK  
         bAr` E  
    &6Il(3-^  
    一般界面的制造数据 ^nVl (^{  
    Y\2|x*KwvF  
    ESb ]}c:  
    $j)hNWI  
    支持文件格式： fE,9zUo  
    - 纯文本 ]TstSF=  
    - ASCII码 mKq"3 4F  
    - 点云 nW?R"@Zm  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~2 u\  
     bzi|s5!'<  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 2=ztKfsBhE  
    5jq=_mHt  
    采样高度剖面的STL导出 p4VSm a_(  
    ~YCuO0t  
    -v?hqWMp#  
    (Y(E%  
    量化界面的GDSII导出 l0tYG[  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 r+<{S\ Q  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 FbACTeB  
    =neL}Fav56  
    R|!B,b(  
     
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