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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 bo0m/hVU  
    Hh$x8ADf  
    任务说明 5m=3{lBi  
    ,l.O @  
    UF|v=|*{#  
    b_W0tiyv%  
    灵活地导出制造数据： )?K3nr  
    - 平滑的界面  Ae <v  
    - 量化界面 (`<l" @:_*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 [NQ`S ~_:  
     w`CGDF\Oo  
    亮点 Z>wg o@z%  
     导出各种表面形状的制造数据 #T99p+O  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 A+iQH1C0h  
         .%M=dL>  
    z<m,Xj4w  
    一般界面的制造数据 &b iBm  
    rk-}@vp  
    iKv{)5  
    U*(m'Ea  
    支持文件格式： gk>A  
    - 纯文本 kC!7<%(  
    - ASCII码 /IxMRi=  
    - 点云 "6gu6f  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） H8`K?SXU  
     V+nqQ~pJ&  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） pV=X  
    s~6?p% 2]  
    采样高度剖面的STL导出 BikmAa  
    "e&S*8QhM  
    c}U&!R2p{  
    OU]!2[7c  
    量化界面的GDSII导出 cZe,l1$  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 c#<v:b  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 3G~ T_J&  
    r\F`xtR(  
    >/.-N  
     
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