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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 -G@:uxB  
    [|{m/`8C  
    任务说明 _5&LV2  
    j#[%-nOT  
    :]+p#l  
    _yP02a^2  
    灵活地导出制造数据： >P[BwL]  
    - 平滑的界面 F=l.2t*9  
    - 量化界面 `(Ij@8 4  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^{R.X:a  
     U9]&~jR  
    亮点 Fooa~C"  
     导出各种表面形状的制造数据 MR-cOPn  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WuUT>om H  
         jhkNi`E7  
    e =Teq~K  
    一般界面的制造数据 $1b x\  
    Jl|^  
    CyEEE2cV  
    (X(c.Jj  
    支持文件格式： !:|[?M.`  
    - 纯文本 (3fU2{sm  
    - ASCII码 :Yy8Ie#  
    - 点云 #23m_w^L  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） f+W8Gszi  
     A.@Af+  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） QLum=YB  
    (D <o=Q  
    采样高度剖面的STL导出 $mZpX:7/u8  
    %5|DdpES  
    EaXD Y<  
    /!HFi>   
    量化界面的GDSII导出 9o|#R&0  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )'Yoii{dSU  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ;gmfWHB<  
    CKgbb4;<m[  
    1?N$I}?  
     
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