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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 5d%_Wb'  
    Kyu@>9Ok  
    任务说明 F68},N>vr@  
    U{HyxZ|q<  
    T\)dt?Tv#\  
    nrI"k2oA@  
    灵活地导出制造数据： cl@kRX<7'  
    - 平滑的界面 loR,XW7z  
    - 量化界面 /i> ?i@O-  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "OVi /:*B  
     D 8gQR Q  
    亮点 Z(l9>A7!  
     导出各种表面形状的制造数据 ,eyp$^2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8?A@/  
         i[o&z$JO  
    sE^ns\&QP=  
    一般界面的制造数据 gHp'3SnS  
    /L)?> tg  
    H U:1f)a a  
    x`Vy<h 33  
    支持文件格式： l#tS.+B7  
    - 纯文本 i<'{Y  
    - ASCII码 A>4l/  
    - 点云 6.k^m&-A  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） UIO6|*ka  
     }m9S(Wal  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <m~T>Ql1  
    @=02  
    采样高度剖面的STL导出 /;zZnF\ e  
    5wT' ,U"+  
    C<zx'lw!  
    j7QBU  
    量化界面的GDSII导出 z\X60T  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,G916J*XA  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 c ,Qw;  
    OJnPP>  
    2q2p=H>&  
     
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