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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 njNqUo>  
    CTqhXk[  
    任务说明 [IyC}lSW^-  
    *>GRU8_}  
    'K23oQwDB  
    Z@ec}`UO|u  
    灵活地导出制造数据： 6!6R3Za$  
    - 平滑的界面 }Oe4wEYN)  
    - 量化界面 Dl?:Mh  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Wa!C2nB  
     .5~3D97X&  
    亮点 3#uc+$[  
     导出各种表面形状的制造数据 C szZr>Z  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 xgsEe3|  
         sVlQ5M oo(  
    &[ |Z2}  
    一般界面的制造数据 V\c`O  
    SJ,];mC0  
    !h^_2IX  
    Yi`DRkp]3  
    支持文件格式： "?_ af  
    - 纯文本 %xX b5aY  
    - ASCII码 f(EO|d^u  
    - 点云 ey:%Zy [~  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Z0 c|;  
     M^n^wz  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Lq#!}QcW=  
    LCSJIt  
    采样高度剖面的STL导出 M>*xbBl  
    f?QP(+M5.  
    &jrc]  
    Wq25,M'  
    量化界面的GDSII导出 I!Fd~g9I4  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 (F*y27_u  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 2%-/}'G*  
    ;6=*E'  
    #=ko4?Wr(  
     
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