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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 r0S"}<8O  
    iyj&O"  
    任务说明 <L5[#V_  
    Fdvex$r&  
    BH%eu 7`t  
    <K 4zH<y  
    灵活地导出制造数据： r$.ek\D5  
    - 平滑的界面 oOJN?97!k  
    - 量化界面 SD JAk&Z}R  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 BU])@~$  
     {mueP6Gz@J  
    亮点 [n66ZY#U]  
     导出各种表面形状的制造数据 }{ 9E~"_[  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 / <y-pFTg  
         HfmTk5|/  
    M[Ls:\1a  
    一般界面的制造数据 i mJ{wF  
    mqtl0P0  
    mJ Wl#3  
    yjN|PqtSV  
    支持文件格式： n;!t?jnf.  
    - 纯文本 Ku&0bXP  
    - ASCII码 AA yzT*^  
    - 点云 5H?`a7q N  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） VJJw"4DJ  
     HtS:'~DYo  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ggX'`bK  
    tjO||]I  
    采样高度剖面的STL导出 3Jk;+<  
    QJ pUk%Wj  
    e 0!a &w  
    N6yqA)z?;  
    量化界面的GDSII导出 %n!s{5:F  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }%_x T  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 1 !OQxY}f  
    Gl}=Q7  
    RQ9T<t42  
     
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