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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 K<]fElh-  
    /2@%:b)  
    任务说明 5R=lTx/Hj  
    y{<#pS.  
    /XSPVc<  
    <;6])  
    灵活地导出制造数据： L\Jl'r|  
    - 平滑的界面 r0 X2cc  
    - 量化界面 QhGg^h%6  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 m|]^f;7z  
     GcU/   
    亮点 @l(Y6m|v\  
     导出各种表面形状的制造数据 li%-9Jd  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 "q`%d_  
         &1h3o^K  
    "qj[[L Q  
    一般界面的制造数据 `U g.c  
    kH&ZPAI  
    poeXi\e!(  
    8zc!g|5"  
    支持文件格式： '.K,EM!-~h  
    - 纯文本 KvD$`"L/CT  
    - ASCII码 n21$57`4  
    - 点云 xF/DYXC{8  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） lXPn]iLJ  
     Yjl0Pz .q  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） eurudl  
    !X8UP{J)L  
    采样高度剖面的STL导出 m@,>d_|-K-  
    r{Q< a  
    zOE6;c8 1  
    %8*d)AB:  
    量化界面的GDSII导出 m4DH90~a8  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 _#4,&bh8  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 KNg5Ptk  
    =CVT8(N*  
    "B}08C,?  
     
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