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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 m+D2hK*  
    =,&u_>Dp  
    任务说明 '+)6#/*  
    o-\ok|,)#j  
    MAuM)8_P/|  
    07$/]eO%C  
    灵活地导出制造数据： x\Nhix}1D  
    - 平滑的界面 c0!Te'?  
    - 量化界面 q*HAIw[<y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >QYh}Z- /%  
     RE ![O  
    亮点 6obQ9L c  
     导出各种表面形状的制造数据 G*)s%2c>h  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 [=XZza.z  
         u~#%P&3 _W  
    +G5'kYzJ  
    一般界面的制造数据 gzl%5`DBw  
    z7'n, [  
    M?E9N{t8)a  
    [WcS[](ob  
    支持文件格式： N; rXl8  
    - 纯文本 jG+T.  
    - ASCII码 &FL%H;Kfx  
    - 点云 G[|3^O>P  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） %3]3r*e&5  
     Tx y]"_  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） (P2[5d|  
    GYFgEg}  
    采样高度剖面的STL导出 .(`(chRa}  
    '9^E8+=|  
    "F&Tnhh4  
    q:xtm?'$  
    量化界面的GDSII导出 8lMZ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 jFgZ}Xp  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 @)  
    +ckMT3  
    ~ wfoK7T}  
     
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