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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 DIU9Le  
    mGK-&|gq  
    任务说明 <\If:  
    uv,_?x\'  
    dT9ekNQB  
    v-J9N(y"  
    灵活地导出制造数据： +-B`Fya  
    - 平滑的界面 ERE1XOe=D  
    - 量化界面 j+>#.22+  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (DW[#2\.  
     W?B(Jsv  
    亮点 N%,!&\L  
     导出各种表面形状的制造数据 v\UwL-4[  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 i{$h]D_fD  
         Po: )b  
    {D(_"  
    一般界面的制造数据 bxS+ R\  
    3N ]  
    {Va "o~io  
    T|c9Swu r  
    支持文件格式： [AZN a  
    - 纯文本 8?S)>-mwv  
    - ASCII码 1M4I7 *r  
    - 点云 TyCMZsvM,  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） &!kr &g#]  
     sPee" 9%,  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） "1U:qr2-H  
    2eOde(K+  
    采样高度剖面的STL导出 z>f>B6  
    l]s,CX  
    @?w8XHEa|  
    (v\Cv)OS  
    量化界面的GDSII导出 '~1uJ0H  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 :V%XEN)  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F_Q?0 Do0'  
    [,F5GW{x  
    _Vs\:tygs  
     
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