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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 3?GEXO&,E  
    hUy\)GsT  
    任务说明 p V^hZ.  
    S_B;m1  
    HLcK d`$/  
    {!hA^[}|  
    灵活地导出制造数据： cC6W1K!  
    - 平滑的界面 _S;L| 1>S  
    - 量化界面 u;*Wc9>sU  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 kiFTx &gf  
     0UvN ws  
    亮点 NPM}w!  
     导出各种表面形状的制造数据 ?5!>k^q  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 |PED8K:rU  
         1[vmK,N=E  
    ')/yBH9mR  
    一般界面的制造数据 IU`&h2KZ.  
    agFWye  
    Td5;bg6Qy  
    fhAK^@h  
    支持文件格式： j6KGri  
    - 纯文本 4W9#z~'  
    - ASCII码 I2=?H <  
    - 点云 =MqefV;-  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） X,<n|zp  
     ^\uj&K6l  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 8*^Q#;^~99  
    H}QOoXWkg  
    采样高度剖面的STL导出 `\:9 2+  
    &Q[Y&vNn  
    {g *kr1JM  
    p`3pRrER  
    量化界面的GDSII导出 Fss7xP'  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 r~uWr'}a}  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 b"y][5VE  
    d aIt `}s  
    joh=0nk;D  
     
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