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Z 6jEj9?O 内容简介 :Mf" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :FyF:=
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 NE995; 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 'j1e(wq 3>,}N9P-v 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /@os*c|je 目录 }Q7y tE Preface 1 boh?Xt-$ 内容简介 2 c/{FDN 目录 i |"H 2'L$ 1 引言 1 1^iBS 2 光学薄膜基础 2 *O?c~UJhhV 2.1 一般规则 2 )P$(]{ 2.2 正交入射规则 3 `i7r] 2.3 斜入射规则 6 8v:{BHX 2.4 精确计算 7 7
,Rg~L 2.5 相干性 8 n|`3d~9$& 2.6 参考文献 10 0mw1CUx9K 3 Essential Macleod的快速预览 10 c:[k+_Zr 4 Essential Macleod的特点 32 b7Y g~Lw 4.1 容量和局限性 33 ${Z0@G+ 4.2 程序在哪里? 33 }5 o?7}? 4.3 数据文件 35 pYO =pL^Q 4.4 设计规则 35 MvVpp;bd 4.5 材料数据库和资料库 37 MB plhVK8 4.5.1材料损失 38 Cj5mM[:s 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O5\r%&$xd 4.5.2 材料库 41 b@:OlZ~% 4.5.3导出材料数据 43 Io6/Fv>! 4.6 常用单位 43 T U%@_vYR 4.7 插值和外推法 46 MNT~[Z9L5G 4.8 材料数据的平滑 50 6(
HF)z 4.9 更多光学常数模型 54 Fu7:4+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ebg8qDE
4.11 撤销和重做 56 GAGS-G# 4.12 设计文档 57 Iq$| ?MH
4.10.1 公式 58 I[z:;4W}L^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 M .#} 4.10.3 沉积密度 59 8$00\><r 4.10.4 平行和楔形介质 60 xm'9n? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 >mGH4{H 4.10.4 性能 61 Ts iJK 4.10.5 保存设计和性能 64 UK`A:N2[ 4.10.6 默认设计 64 Uj@th 4.11 图表 64 K!|eN_1A 4.11.1 合并曲线图 67 8tvmqe_G 4.11.2 自适应绘制 68 QV4|f[Ki% 4.11.3 动态绘图 68 ~ELY$G.xl 4.11.4 3D绘图 69 =u~nLL
4.12 导入和导出 73 %&ejO=r 4.12.1 剪贴板 73 X-pbSq~5 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %1z;l. c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 j50vPV8m 4.13 背景 77 dj gk7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 56.!L 4.15 生成Rugate 84 r924!zdbR 4.16 参考文献 91 =C\Tl-$\f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 F^ q{[Z 5.1 Jobs 92 HB07 n4 | 5.2 创建一个新Job(工作) 93
'g v0;L 5.3 输入材料 94 *dBy<dIy 5.4 设计数据文件夹 95 ;p`1Y<d-O 5.5 默认设计 95 m*0YMS>Y | 6 细化和合成 97 dab]>% M 6.1 优化介绍 97 |}"YUk^ 6.2 细化 (Refinement) 98 @!ChPl 6.3 合成 (Synthesis) 100 &OR(]Wt0 6.4 目标和评价函数 101 I8H3*DE 6.4.1 目标输入 102 K7}.# *% ~ 6.4.2 目标 103 fI.|QD*$b 6.4.3 特殊的评价函数 104 rYUIFPN 6.5 层锁定和连接 104 hA=uoe\ 6.6 细化技术 104 jP@ @<dt 6.6.1 单纯形 105 2D\pt 6.6.1.1 单纯形参数 106 ZR>BK, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 J,W<ha* 6.6.2.1 Optimac参数 108 A#U! KX 6.6.3 模拟退火算法 109 #~0Nk6*u 6.6.3.1 模拟退火参数 109 A U~DbU0O 6.6.4 共轭梯度 111 i'Y8-}) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Q_mphW:[ 6.6.5 拟牛顿法 112 .Rr^AGA4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TrI+F+; 6.6.6 针合成 113 #UGSn:D<i 6.6.6.1 针合成参数 114 mc{z 6.6.7 差分进化 114 c3]t"TA, 6.6.8非局部细化 115 '%$Vmf)= 6.6.8.1非局部细化参数 115 )f?I{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +p u[JHF 6.7.1 细化 116 *WE8J#]d 6.7.2 合成 117 =m.Nm -g 6.8 参考文献 117 I~,.@{4 7 导纳图及其他工具 118 Bdo{zv&A 7.1 简介 118 eORXyh\K 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Pnytox 7.2.1 四分之一波长规则 119 IjI'Hx 7.2.2 导纳图 120 Ni~IY#
' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Nd8>p.iqO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3%v)!dTa<^ 7.5 斜入射导纳图 141 bY_'B5$.^2 7.6 对称周期 141 7x)Pt@c 7.7 参考文献 142 Okq,p=D6 8 典型的镀膜实例 143 )O'LE&kQ| 8.1 单层抗反射薄膜 145 hSehJjEoM 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -()WTdIy 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 96WzgHPWo 8.4 W-膜层 148 =<]`'15"V 8.5 V-膜层 149 OqtGKda 8.6 V-膜层高折射基底 150 H'AN osv 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ljFq ;!I5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *)m:u : 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;|Cdq 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 '9\cIni0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ny^ 1#R 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =\Q<TY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *_D/_Rp7 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 H cmW 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }:8}i;#M 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 XgxE M1( 8.17 1/4波长堆栈 162 _CD~5EA: 8.18 陷波滤波器 163 w8lrpbLh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ZP";B^J 8.20 褶皱 165 [@@{z9c 8.21 消偏振分光器1 169 WNR]GI 8.22 消偏振分光器2 171 $6Ma{r C| 8.23 消偏振立体分光器 172 G'|ql5Zw 8.24 消偏振截止滤光片 173 >u= 8.25 立体偏振分束器1 174 .W]k8N E 8.26 立方偏振分束器2 177 CR4O#f8\ 8.27 相位延迟器 178 6_mi9_w 8.28 红外截止器 179 a (U52dO, 8.29 21层长波带通滤波器 180 x`E<]z*w} 8.30 49层长波带通滤波器 181 ERPg TZT 8.31 55层短波带通滤波器 182 j!+jLm!l 8.32 47 红外截止器 183 8D.c."q 8.33 宽带通滤波器 184 i(~DhXz*T 8.34 诱导透射滤波器 186 ElO|6kOBYG 8.35 诱导透射滤波器2 188 )>@S8v,( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Pe`mZCd^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N~/'EaO 8.35 增益平坦滤波器 193 i1evB9FZ1z 8.38 啁啾反射镜 1 196 UPtj@gtcY 8.39 啁啾反射镜2 198 h,/Aq 8.40 啁啾反射镜3 199 UL[,A+X8D 8.41 带保护层的铝膜层 200 Y0(4]X \ey 8.42 增加铝反射率膜 201 =g+}4P 8.43 参考文献 202 !wp1Df[ 9 多层膜 204 f*%kHfaXgN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 BX/3{5Y>{ 9.2 内部透过率 204 dN5{W0_ 9.3 内部透射率数据 205 h$5[04.Q 9.4 实例 206 IiE6i43 9.5 实例2 210 W.3b]zcV 9.6 圆锥和带宽计算 212 B*tYp 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 EE9w^.3a 10 光学薄膜的颜色 216 cWW?@_ 10.1 导言 216 )<5k+O~ 10.2 色彩 216 5 `1 10.3 主波长和纯度 220 puPI^6y% 10.4 色相和纯度 221 Zn9tG:V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 k`5I"-e 10.6 色差 226 8"%Es 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 DS?.'"n[u 10.8 颜色渲染指数 234 Vn5T Jw 10.9 色差计算 235 !Cgj
>= 10.10 参考文献 236 ^kfqw0! 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2E }vuw=c 11.1 短脉冲 238 K]|Ud No 11.2 群速度 239 4jXo5SkEJ 11.3 群速度色散 241 1$b@C-B@g 11.4 啁啾(chirped) 245 iC3z5_g*@ 11.5 光学薄膜—相变 245 tWn
dAM(U7 11.6 群延迟和延迟色散 246 T'p L&@,Q 11.7 色度色散 246 s4bV0k 11.8 色散补偿 249 ?^voA.Bv< 11.9 空间光线偏移 256 #*bmwb*i 11.10 参考文献 258 4Ly>x>b< 12 公差与误差 260 6f +aGz 12.1 蒙特卡罗模型 260 i#-v4g 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8 m"k3:e^ 12.2.1 误差工具 267 mB-,\{) 12.2.2 灵敏度工具 271 L/"MRQ" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -,bnj^L 12.2.2.2 灵敏度分布 275 JP4DV=}L 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l.@1]4. 12.3 参考文献 276 [6a-d>e{ 13 Runsheet 与Simulator 277 3}nk9S:jr 13.1 原理介绍 277 $Ivjcs: 13.2 截止滤光片设计 277 vH+g*A0S< 14 光学常数提取 289 {KgA
V 14.1 介绍 289 w(@r-2D" 14.2 电介质薄膜 289 coAXYn 14.3 n 和k 的提取工具 295 =zFROB\ 14.4 基底的参数提取 302 n#+EG3 14.5 金属的参数提取 306 _v&fIo 14.6 不正确的模型 306 CyIlv0fd} 14.7 参考文献 311 Gd!-fqNa'x 15 反演工程 313 -PV1x1| 15.1 随机性和系统性 313 .I:rb~& 15.2 常见的系统性问题 314 %mC@} 15.3 单层膜 314 &vrQ *jX 15.4 多层膜 314 2|;|C8C 15.5 含义 319 AERJ]$\
15.6 反演工程实例 319 8n3]AOc'~- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NifQsy)*% 15.6.2 反演工程提取折射率 327 M
FIb-*wT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -,")GA+[7 16.1 光学性质的热致偏移 329 F
CYGXtc 16.2 应力工具 335 [Vs\r&qL 16.3 均匀性误差 339 &D3]O9a0; 16.3.1 圆锥工具 339 {VAih-y 16.3.2 波前问题 341 ?W'z5'| 16.4 参考文献 343 Qxz[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 M|blg!j; 17.1 引言 345 J];Sj 17.2 操作数 345 :9QU\{2 18 如何在Function中编写脚本 351 .HZ d.* 18.1 简介 351 IWE([<i}i[ 18.2 什么是脚本? 351 es7;eH*O9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 egu{}5 18.4 基础 352 aMI;;iL^ 18.4.1 Classes(类别) 352 ox&5}&\ 18.4.2 对象 352 _=$~l^Y[ 18.4.3 信息(Messages) 352 l>\EkUT 18.4.4 属性 352 jt}Re, 18.4.5 方法 353 4|PWR_x 18.4.6 变量声明 353 wlNL;W@w 18.5 创建对象 354 58Ibje 18.5.1 创建对象函数 355 qcs)
p 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Y|R=^
=d\ 18.5.3 丢弃对象 356 O?OAXPK2 18.5.4 总结 356 .,u>WIUxj 18.6 脚本中的表格 357 [~N;d9H+*1 18.6.1 方法1 357 htB7 j( 18.6.2 方法2 357 h@`Rk 18.7 2D Plots in Scripts 358 g}%ODa !H 18.8 3D Plots in Scripts 359 QYbB\Y 18.9 注释 360 n~629 & 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 KZ2[.[(Ph 18.11 一个更高级的脚本 362 F>\,`wP 18.12 <esc>键 364 CmB_g?K 18.13 包含文件 365 Q# hRnM 18.14 脚本被优化调用 366 g!^N#o 18.15 脚本中的对话框 368 /[TOy2/;%b 18.15.1 介绍 368 i\CA6I 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^ = C> 18.15.3 输入框函数 370 ]~;*9`: 18.15.4 自定义对话框 371 lfAy$qP"} 18.15.5 对话框编辑器 371 ,g?ny<#o 18.15.6 控制对话框 377 l`\L@~l n 18.15.7 更高级的对话框 380 &6\&McmkX 18.16 Types语句 384 Lc~m`=B 18.17 打开文件 385 W|2^yO,dX 18.18 Bags 387 CzV;{[?~; 18.13 进一步研究 388 Qm[((6} 19 vStack 389 %<kfW&_>w 19.1 vStack基本原理 389 Tu(:? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k5< n:dS 19.3 五棱镜 393 +c_AAMe 19.4 光束距离 396 +jE)kaV% 19.5 误差 399 1 fcV&qHR 19.6 二向分色棱镜 399 zh) &6'S\ 19.7 偏振泄漏 404 ~ n<|f 19.8 波前误差—相位 405 eP~3m 19.9 其它计算参数 405 :Ak^M~6a5 20 报表生成器 406 oVw4M2!"K 20.1 入门 406 :kHk'.V1( 20.2 指令(Instructions) 406 St?mq* , 20.3 页面布局指令 406 `)a|Q 20.4 常见的参数图和三维图 407 .!~ysy 20.5 表格中的常见参数 408 SLuQv?R}9 20.6 迭代指令 408 _ %mm 20.7 报表模版 408 Mzg'$]N 20.8 开始设计一个报表模版 409 (m1m}* @ 21 一个新的project 413 #w L(<nE 21.1 创建一个新Job 414 6teu_FS 21.2 默认设计 415 d*+}_EV)Y3 21.3 薄膜设计 416 ^U~Er'mT
21.4 误差的灵敏度计算 420 U>t:*SNC* 21.5 显色指数计算 422 t'F$/mx. 21.6 电场分布 424 \zJ^XpC 后记 426 rX$-K\4W 有兴趣可以扫码加微联系 No\#N/1@P
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