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hm<:\(q 内容简介 Uw3wR!: Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 [?$tu%Q(Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6 lEv<)cC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 :TV`uUE G"6XJYoI 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 34_
V&8 目录 tk:G6Bkid Preface 1 N6%L4v8-}X 内容简介 2 (_gt!i{h 目录 i KhL%ov 1 引言 1 Q0ba;KPm 2 光学薄膜基础 2 N'pYz0_H 2.1 一般规则 2 KAu>U3\/ 2.2 正交入射规则 3 |BD2=7,z 2.3 斜入射规则 6 'jye* 2.4 精确计算 7 WWOjck# 2.5 相干性 8 =&FaMR2 2.6 参考文献 10 W!+=`[Ff 3 Essential Macleod的快速预览 10 r-]%R:U* 4 Essential Macleod的特点 32 >m%7dU 4.1 容量和局限性 33 Y&DoA0/y 4.2 程序在哪里? 33 rD !GEU 4.3 数据文件 35 GR 1%(, 4.4 设计规则 35 wuSotbc/ 4.5 材料数据库和资料库 37 h1f 05 4.5.1材料损失 38 {yd(n_PqY 4.5.1材料数据库和导入材料 39 q [+KQ, 4.5.2 材料库 41 VAqZ`y 4.5.3导出材料数据 43 4#ikdjB; 4.6 常用单位 43 PZ?kv 4 4.7 插值和外推法 46 EDF0q i 4.8 材料数据的平滑 50 z"FxKN~Z 4.9 更多光学常数模型 54 Re*~C: 4.10 文档的一般编辑规则 55 *|;`Gp 4.11 撤销和重做 56 QDKY7"H 4.12 设计文档 57 ,<s:*
k 4.10.1 公式 58 b+$wx~PLi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .4<lw 4.10.3 沉积密度 59 @`iz0DPG?Y 4.10.4 平行和楔形介质 60 ,TYFPulYcp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z 8#{=e 4.10.4 性能 61 gplrJaH@ 4.10.5 保存设计和性能 64 ]xbMMax 4.10.6 默认设计 64 4VC8#x1 4.11 图表 64 &78lep 4.11.1 合并曲线图 67 =&DuQvN, 4.11.2 自适应绘制 68 5%@~"YCo 4.11.3 动态绘图 68 ,V zbKx, 4.11.4 3D绘图 69 j^h:*rw 4.12 导入和导出 73 ni<\AF]` 4.12.1 剪贴板 73 5Ux= 5a 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 S?c<Lf~W 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 "x
3C3Zu.; 4.13 背景 77 ]c6h'} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 2~V"[26t 4.15 生成Rugate 84 `-?`H>+OG 4.16 参考文献 91 ,H$%'s1I( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 J\J3'u 5.1 Jobs 92 'X?Iho 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /1Ss |. 5.3 输入材料 94 ZQ-6n1O 5.4 设计数据文件夹 95 k3]qpWKj 5.5 默认设计 95 us.IdG 6 细化和合成 97 #6pJw?[ 6.1 优化介绍 97 DV)NY! 6.2 细化 (Refinement) 98 =p:~sn# 6.3 合成 (Synthesis) 100 Il#ST 6.4 目标和评价函数 101 Xxj<Ai2 6.4.1 目标输入 102 SN[ar&I 6.4.2 目标 103 E*s _Y 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~c*kS E2X 6.5 层锁定和连接 104 @![1W@J 6.6 细化技术 104 KJs`[,;< 6.6.1 单纯形 105 ?>gr9w\ 6.6.1.1 单纯形参数 106 Cj/!m 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 u7 <VD 6.6.2.1 Optimac参数 108 O:imX>|u 6.6.3 模拟退火算法 109 !"'6$"U\K 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #CW{y?= 6.6.4 共轭梯度 111 EZT 8^m 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 U_Q;WPJ 6.6.5 拟牛顿法 112 m9\~dD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @3~Wukc 6.6.6 针合成 113 ~~Rq$'q} 6.6.6.1 针合成参数 114 aEun *V^, 6.6.7 差分进化 114 YtXd>@7 6.6.8非局部细化 115 tGSXTF}G 6.6.8.1非局部细化参数 115 ][XCpJ)8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I$XwM 6.7.1 细化 116 5'<mfY'B 6.7.2 合成 117 5'<a,,RKu 6.8 参考文献 117 05
.EI)7 7 导纳图及其他工具 118 JgV4-B0 7.1 简介 118 BA8!NR| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Ag&K@ %|* 7.2.1 四分之一波长规则 119 ~4xn^.w 7.2.2 导纳图 120 '?LqVzZI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6]4=8! J 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0n={Mb 7.5 斜入射导纳图 141 {s6hi#R> 7.6 对称周期 141 <)"i' v $ 7.7 参考文献 142 1Ve~P"w 8 典型的镀膜实例 143 \6pQ&an 8.1 单层抗反射薄膜 145 R 0G!5>1i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 fwa*|y; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 czB),vooz 8.4 W-膜层 148 -KZ9TV # R 8.5 V-膜层 149 j(M.7Z7^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 Qo*OC 9E` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 xU(b:D Z 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 EoS6t 8.9 四层抗反射薄膜 153 +6n\5+5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Z4m+GFY 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 V >~\~H2Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 def\=WyK 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0C6T>E7 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ' t^ r2N/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 RcZ&/MY 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 <~u-zaN<W 8.17 1/4波长堆栈 162 +WguWLO" 8.18 陷波滤波器 163 8x 8nQ*_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Fc|N6I'o 8.20 褶皱 165 H|'n|\{lt 8.21 消偏振分光器1 169 N(O*"1b 8.22 消偏振分光器2 171 ^+kymZ 8.23 消偏振立体分光器 172 omT^jh 8.24 消偏振截止滤光片 173 c_aj-`BKp 8.25 立体偏振分束器1 174 sHOBT,B 8.26 立方偏振分束器2 177 L D%SLJ: 8.27 相位延迟器 178 N9u {)u 8.28 红外截止器 179 ^S(QvoaQ 8.29 21层长波带通滤波器 180 }*vE/W 8.30 49层长波带通滤波器 181 o)'06FF\$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 e488}h6#m 8.32 47 红外截止器 183 $2a_!/ 8.33 宽带通滤波器 184 n1b^o~agwC 8.34 诱导透射滤波器 186 cs[nFfM 8.35 诱导透射滤波器2 188 `H9!Z$7G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 >x
]{cb/m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 sWi4+PAM0 8.35 增益平坦滤波器 193
E/gfX
8.38 啁啾反射镜 1 196 M}
+s_h9 8.39 啁啾反射镜2 198 N37CAbw0 8.40 啁啾反射镜3 199 4{0vdpo3F 8.41 带保护层的铝膜层 200 /XdLdA!v 8.42 增加铝反射率膜 201 48{B} j%oU 8.43 参考文献 202 y!|4]/G]?t 9 多层膜 204 u]]mbER*t# 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 'u_j5 9.2 内部透过率 204 R''2o_F6 9.3 内部透射率数据 205 shiw;.vR{B 9.4 实例 206 biU
?>R
9.5 实例2 210 *9`k$' 9.6 圆锥和带宽计算 212 3@1$y`SN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 &
sXMB 10 光学薄膜的颜色 216 MFipXE! 10.1 导言 216 hb>uHUb& 10.2 色彩 216 pezfB{x? 10.3 主波长和纯度 220 t&IWKu# 10.4 色相和纯度 221 Vw`%|x"Xz 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 yvnvI y 10.6 色差 226 g3Ul'QJ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 nk;+L 10.8 颜色渲染指数 234 OJ.oHf=K! 10.9 色差计算 235 V8Z@y&ny 10.10 参考文献 236 h|<;:o?yh 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 :J+ANIRI 11.1 短脉冲 238 ^__P;Gr` 11.2 群速度 239 -.-@|*5 11.3 群速度色散 241 L\"eE'A 11.4 啁啾(chirped) 245 ;)ERxMun 11.5 光学薄膜—相变 245 FR\r/+n:t0 11.6 群延迟和延迟色散 246 @[Wf!8_ 11.7 色度色散 246 c57`mOe/b 11.8 色散补偿 249 %Siw> 11.9 空间光线偏移 256 <Rz[G+0S= 11.10 参考文献 258 1\/~> 12 公差与误差 260 nd5.Py$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 6}*4co 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @}'?o_/C 12.2.1 误差工具 267 dE3M 12.2.2 灵敏度工具 271 `*]r+J2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8mO_dQ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 bKh}Y` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 <irr.O 12.3 参考文献 276 6HH:K0j3' 13 Runsheet 与Simulator 277 M -8d*#_P 13.1 原理介绍 277 {<cgeH 13.2 截止滤光片设计 277 R0F&!y!B 14 光学常数提取 289 %mOQIXr1s 14.1 介绍 289 }t1 q5@QU 14.2 电介质薄膜 289 -@~4: o 14.3 n 和k 的提取工具 295 WJ\,Y} J 14.4 基底的参数提取 302 =~q$k 14.5 金属的参数提取 306 0Cyus 14.6 不正确的模型 306 59V8cO+qH 14.7 参考文献 311 .{(gku>g( 15 反演工程 313 -y/Y%]%0 15.1 随机性和系统性 313 >&T J 15.2 常见的系统性问题 314 4OG1_6K 15.3 单层膜 314 dX-j3lM:# 15.4 多层膜 314 ;U? 323Z 15.5 含义 319 i3>_E <"9 15.6 反演工程实例 319 vI(CX]o 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 nr&9\lG]G 15.6.2 反演工程提取折射率 327 '1Ex{$Yk 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \3x+Z! 16.1 光学性质的热致偏移 329 =$_kkVQ$ 16.2 应力工具 335 "a<:fEsSE 16.3 均匀性误差 339 oYWHO<b 16.3.1 圆锥工具 339 1=^| 16.3.2 波前问题 341 O1oh,~W 16.4 参考文献 343 ]Bz.6OR 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 hF1Lj=x 17.1 引言 345 =
jTC+0u 17.2 操作数 345 WHRBYq_ 18 如何在Function中编写脚本 351 hKems3 18.1 简介 351 qGzF@p(p8 18.2 什么是脚本? 351 ;NGSJfn 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 f2ck=3 18.4 基础 352 $wk(4W8E 18.4.1 Classes(类别) 352 ZtpbKy!\$B 18.4.2 对象 352 OZe`>Q6 18.4.3 信息(Messages) 352 D% 2S! 18.4.4 属性 352 ;20sh^~ 18.4.5 方法 353 Jn20^YG 18.4.6 变量声明 353 iq5-eJmq 18.5 创建对象 354 S AKIFNE 18.5.1 创建对象函数 355 DyRU$U 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 u>V~:q\X 18.5.3 丢弃对象 356 4u1au1c 18.5.4 总结 356 :=K+~?
18.6 脚本中的表格 357 cY|@s?3NND 18.6.1 方法1 357 :]8!G- Z 18.6.2 方法2 357 O#)YbaE 18.7 2D Plots in Scripts 358 e`?o`@vO, 18.8 3D Plots in Scripts 359 v/,,z+%- 18.9 注释 360 161IWos 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Ubh)}G,Mg 18.11 一个更高级的脚本 362 >{"E~U 18.12 <esc>键 364 :7s2M 18.13 包含文件 365 gbFHH,@ 18.14 脚本被优化调用 366 M4t:)!dji? 18.15 脚本中的对话框 368 )c.!3n/pb 18.15.1 介绍 368 ZD<e$PxxCd 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3.Jk-:u %m 18.15.3 输入框函数 370 :79u2wSh 18.15.4 自定义对话框 371 _F2ofB' 18.15.5 对话框编辑器 371 w%%*3[--X 18.15.6 控制对话框 377 z#d*Odc 18.15.7 更高级的对话框 380
$qiM_06 18.16 Types语句 384 .F0Q<s9 18.17 打开文件 385 Q|7m9~ 18.18 Bags 387 w[u>*I 18.13 进一步研究 388 (?[%u0%_ 19 vStack 389 z :A_ 19.1 vStack基本原理 389 :\%ZTBLL 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 g!`^!Q/($ 19.3 五棱镜 393 8,)<,g-/= 19.4 光束距离 396 QGnUPiD^ 19.5 误差 399 H^jcWwy: 19.6 二向分色棱镜 399 +[[^W;<.l 19.7 偏振泄漏 404 wjHH%y 19.8 波前误差—相位 405 d}@n,3 19.9 其它计算参数 405 Gf-GDy\{ 20 报表生成器 406 "XU)(<p 20.1 入门 406 cEGR?4z 20.2 指令(Instructions) 406 N^'(`"J s 20.3 页面布局指令 406 .cr<.Ov 20.4 常见的参数图和三维图 407 GGsAisF"N 20.5 表格中的常见参数 408 =TA8]7S~U 20.6 迭代指令 408 $NBQv6#: 20.7 报表模版 408 CxrsP. 20.8 开始设计一个报表模版 409 3s#/d,+ 21 一个新的project 413 ]ts^h~BZ$ 21.1 创建一个新Job 414 Z5@E|O & 21.2 默认设计 415 s@*i 21.3 薄膜设计 416 r%`3*<ALV) 21.4 误差的灵敏度计算 420 NZ%v{? 21.5 显色指数计算 422 &pHXSU 21.6 电场分布 424 .lGN
Fx 后记 426 jM>;l6l 有兴趣可以扫码加微联系 H?;@r1ZAn
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