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$7*Ml)H!9 内容简介 Dx%fW` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 , $=V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 7> Qt O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Mf63 59 BMW4E 5 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 sOW|TN>y\ 目录 ] ge-b\ Preface 1 kgu+q\? 内容简介 2 b +_E)4 目录 i /P%:u0fX, 1 引言 1 3^a"$VW1 2 光学薄膜基础 2 U|QDV16f 2.1 一般规则 2 BkF[nL*| 2.2 正交入射规则 3 a`uT'g[* 2.3 斜入射规则 6 "8I4]' 2.4 精确计算 7 #]'xUgcE9 2.5 相干性 8 (qrT0D6 2.6 参考文献 10 {m?x}, 3 Essential Macleod的快速预览 10 +1%6-g4" 4 Essential Macleod的特点 32 HKwGaCj` 4.1 容量和局限性 33 2P}RZvUd 4.2 程序在哪里? 33 gr=`_k4~1 4.3 数据文件 35 )em.KbsPPF 4.4 设计规则 35 Y(f-e, 4.5 材料数据库和资料库 37 >vU
Hf`4T 4.5.1材料损失 38 KPhqD5,
( 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qr9F 4.5.2 材料库 41 %ab79RS]C 4.5.3导出材料数据 43 _<7FR:oBZ 4.6 常用单位 43 DPOPRi~ 4.7 插值和外推法 46 aBnbu
vp 4.8 材料数据的平滑 50 As`^Ku& 4.9 更多光学常数模型 54 K36B9<F 4.10 文档的一般编辑规则 55 96avgyc 4.11 撤销和重做 56 K;l'IN"N 4.12 设计文档 57 'Ap5Aq 4.10.1 公式 58 M)7enp) F. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 I1~g?jpH 4.10.3 沉积密度 59 0Pk-FSY|f 4.10.4 平行和楔形介质 60 3@L%#]xwi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 @El<"\ 4.10.4 性能 61 P>-,6a> 4.10.5 保存设计和性能 64 Biwdb 4.10.6 默认设计 64 ]N_^{k, 4.11 图表 64 A2d2V**Z 4.11.1 合并曲线图 67 (/U1J 4.11.2 自适应绘制 68 A\)X&vR[6 4.11.3 动态绘图 68 @UJmbD{ 4.11.4 3D绘图 69 (T01hR& 4.12 导入和导出 73 Bl];^W^P 4.12.1 剪贴板 73 ~tvoR&{I 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .)w0C%] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #8jd,I%L 4.13 背景 77 _O%p{t'q< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 kVv
<tw 4.15 生成Rugate 84 k;5}@3iQ 4.16 参考文献 91 K~-XDLh5Nu 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 w)n]}k 5.1 Jobs 92 w ZAXfNA 5.2 创建一个新Job(工作) 93 . $YF|v[= 5.3 输入材料 94 >ULp! 5.4 设计数据文件夹 95 ".?{Y(~ 5.5 默认设计 95 1.uQ(>n 6 细化和合成 97 ;[ueNP%*y| 6.1 优化介绍 97 CaBS0'
n 6.2 细化 (Refinement) 98 RzQS@^u*F0 6.3 合成 (Synthesis) 100
YPnJldVn 6.4 目标和评价函数 101 5FI>T=QF 6.4.1 目标输入 102 w.p'Dpw 6.4.2 目标 103 +hgCk87%# 6.4.3 特殊的评价函数 104 x~^I/$ 6.5 层锁定和连接 104 ^ZUgDQduc 6.6 细化技术 104 XH$|DeAFM 6.6.1 单纯形 105 'Y\"^'OU\ 6.6.1.1 单纯形参数 106 [uQZD1<q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 RJ4mlW 6.6.2.1 Optimac参数 108 T9-a
uK0d 6.6.3 模拟退火算法 109 GQq'~Lr5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,
% jTXb 6.6.4 共轭梯度 111 $:II@= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :0/o?'s 6.6.5 拟牛顿法 112 @!3^/D3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 L$Ar]O) 6.6.6 针合成 113 I>Fh*2 6.6.6.1 针合成参数 114 Cpv%s 1M 6.6.7 差分进化 114 \'Kj.EO{?$ 6.6.8非局部细化 115 *%'7~58ObS 6.6.8.1非局部细化参数 115 C/XyDbH 6.7 我应该使用哪种技术? 116 B
RjKV 6.7.1 细化 116 @|%ICG c 6.7.2 合成 117 5G;^OI!g 6.8 参考文献 117 XYF~Q9~ 7 导纳图及其他工具 118 }AZx/[k
|z 7.1 简介 118 l zPS
RT 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6RQCKN)
7.2.1 四分之一波长规则 119 +\vY; !^ 7.2.2 导纳图 120 <L/vNP 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +{ !t~BW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 W;]UP$5l 7.5 斜入射导纳图 141 F6]!?@ 7.6 对称周期 141 ~{Rt4o _W 7.7 参考文献 142 SliQwm5 8 典型的镀膜实例 143 1'm`SRX#e 8.1 单层抗反射薄膜 145 *1S.9L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 X]U"ru{1q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 JD`;,Md 8.4 W-膜层 148 ?V:]u3 8.5 V-膜层 149 PG[O?l 8.6 V-膜层高折射基底 150 Y_>-p(IH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^^3va)1{! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )wzs~Fn/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 |SukiXJZF 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 4m[C-NB!g 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 '#
IuY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 C"Q=(3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 V3~a!k 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Y1aF._Z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $o$Ev@mi 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Q[Sd 8.17 1/4波长堆栈 162 I+j|'=M 8.18 陷波滤波器 163 _6S
b.9m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1S]gD&V 8.20 褶皱 165 ;@YF}%!+W 8.21 消偏振分光器1 169 U2>dwn 8.22 消偏振分光器2 171 V& j.>Y 8.23 消偏振立体分光器 172 2G}7R5``9 8.24 消偏振截止滤光片 173 AH87UkNL 8.25 立体偏振分束器1 174 Vt)\[Tl~ 8.26 立方偏振分束器2 177 +IO1ipc4cE 8.27 相位延迟器 178 2T(,H.O 8.28 红外截止器 179 y_4krY|Zx 8.29 21层长波带通滤波器 180 QD;f~fZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 'Kzr-)JS 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q @OC = 8.32 47 红外截止器 183 $x_52 j\j 8.33 宽带通滤波器 184 K9O,7h:x 8.34 诱导透射滤波器 186 qwNKRqT 8.35 诱导透射滤波器2 188 ctUF/[_w; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wH_n$w 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 .Lr)~ 8.35 增益平坦滤波器 193 *[1u[H9Cv 8.38 啁啾反射镜 1 196 CVSsB:H6e 8.39 啁啾反射镜2 198 s3_e7D ^H 8.40 啁啾反射镜3 199 _?]BVw 8.41 带保护层的铝膜层 200 'UvS3]bSYW 8.42 增加铝反射率膜 201 ^Im%D(MY 8.43 参考文献 202 Rp`_Grcd 9 多层膜 204 JfP\7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 :OQ:@Yk 9.2 内部透过率 204 2hwXWTSu 9.3 内部透射率数据 205 Ux)p%- 9.4 实例 206
kulQR>u 9.5 实例2 210 U_}A{bFG 9.6 圆锥和带宽计算 212 \abAPo 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Ad`[Rt']kI 10 光学薄膜的颜色 216 6`4W, 10.1 导言 216 /@:up+$ 10.2 色彩 216 A{8K#@! 10.3 主波长和纯度 220 yhtvr5z1 10.4 色相和纯度 221 VM]GYz|#] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 iy.%kHC 10.6 色差 226 IzGB 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 _D2bGZN 10.8 颜色渲染指数 234 D _bkUR1 10.9 色差计算 235 [*?_ 10.10 参考文献 236 8pq-nuf|K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]Ic?:lKN 11.1 短脉冲 238 -wfRR>)d 11.2 群速度 239 zOao& 11.3 群速度色散 241 >: W-C{% 11.4 啁啾(chirped) 245 C7jc 6(>m 11.5 光学薄膜—相变 245 pg?i F1 11.6 群延迟和延迟色散 246 ANFg]g.Az 11.7 色度色散 246 D-o7yc"K 11.8 色散补偿 249 E &];>3C 11.9 空间光线偏移 256 sR>`QIi(a 11.10 参考文献 258 E/dO7I`B 12 公差与误差 260 gP%|:" 12.1 蒙特卡罗模型 260 L*UV 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 U7]<U-.& 12.2.1 误差工具 267 S[L#M;n 12.2.2 灵敏度工具 271 I NPYJ#% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 2GiUPtO&Gj 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &'huS?gA9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 9b" 9m*gC 12.3 参考文献 276 S7UZGGjTk 13 Runsheet 与Simulator 277 s,$Z("B 13.1 原理介绍 277 &PRx,G5 13.2 截止滤光片设计 277 q4Oxs 14 光学常数提取 289 ];pf 14.1 介绍 289 %K%^ ]{ 14.2 电介质薄膜 289 @@%i(>4Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 w*<Y$hnBzF 14.4 基底的参数提取 302 M q^|M~ 14.5 金属的参数提取 306 {*?sVAvj 14.6 不正确的模型 306 2<[eD`u 14.7 参考文献 311 d`9W 15 反演工程 313 J7'f@X~nM 15.1 随机性和系统性 313 n%0]V Xx# 15.2 常见的系统性问题 314 tLD~ 15.3 单层膜 314 m/YH^N0 15.4 多层膜 314 zd*3R+>U'> 15.5 含义 319 UTDcX 15.6 反演工程实例 319 6%gB
E 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 O;X(pE/G 15.6.2 反演工程提取折射率 327 mVv\bl?< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )|w*/JK\Z 16.1 光学性质的热致偏移 329 :W.jNV{e\F 16.2 应力工具 335 Lh8bQH 16.3 均匀性误差 339 >H0) ph 16.3.1 圆锥工具 339 f{y] 16.3.2 波前问题 341 )\T@W 16.4 参考文献 343 -ajM5S=d* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 V&Xi> X8 17.1 引言 345 .e`,{G(5q7 17.2 操作数 345 24T@N~\g 18 如何在Function中编写脚本 351 4meidKw] 18.1 简介 351 gEZwW]r- 18.2 什么是脚本? 351 le7
`uz!% 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
2[Z0I4r 18.4 基础 352 `6a]|7|f 18.4.1 Classes(类别) 352 [_y9"MMwn 18.4.2 对象 352 s<A*[ 18.4.3 信息(Messages) 352 ?mH@`c,fM 18.4.4 属性 352 )!'n&UxPo$ 18.4.5 方法 353 AIuMX4nb 18.4.6 变量声明 353 Y]C;T 18.5 创建对象 354 nK+lE0 18.5.1 创建对象函数 355 1s#yWQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 mD9STuA$H 18.5.3 丢弃对象 356 |h5kg<Zgo 18.5.4 总结 356 Gs[Vu@* 18.6 脚本中的表格 357 0o=!j3RjH 18.6.1 方法1 357 }qc#lz 18.6.2 方法2 357 P3'2IzNw 18.7 2D Plots in Scripts 358 Zxg 1M 18.8 3D Plots in Scripts 359 r%0pQEl 18.9 注释 360 M'yO+bu 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1#grB(p? 18.11 一个更高级的脚本 362 Da"yZ\4 18.12 <esc>键 364 - #3{{ 18.13 包含文件 365 *;<e
'[Y7f 18.14 脚本被优化调用 366 5a'yXB} 18.15 脚本中的对话框 368 ;aq `N}d 18.15.1 介绍 368 l iw,O 6 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Vy]A,Rn7 18.15.3 输入框函数 370 ]#F q>E 18.15.4 自定义对话框 371 "Dyym<J 18.15.5 对话框编辑器 371 $bk>kbl P 18.15.6 控制对话框 377 q1 H=/[a 18.15.7 更高级的对话框 380 vFTXTbt'h 18.16 Types语句 384 iJ}2"i7M 18.17 打开文件 385 r)V Lf#3B 18.18 Bags 387 @4;&hP2Z: 18.13 进一步研究 388 +H7y/#e+3 19 vStack 389 E]NY
(1 19.1 vStack基本原理 389 {5>3;. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 d-~vR(tU 19.3 五棱镜 393 vCj4;P g 19.4 光束距离 396 7'Lp8 19.5 误差 399 l1&5uwuF 19.6 二向分色棱镜 399 NdZ)[f:2 19.7 偏振泄漏 404 <nBo}0O} 19.8 波前误差—相位 405 .>P~uZiX! 19.9 其它计算参数 405 *xPB<v2N:P 20 报表生成器 406 @|Dm E!) 20.1 入门 406 qk&gA}qF 20.2 指令(Instructions) 406 o~= iy 20.3 页面布局指令 406 hGvq T, ' 20.4 常见的参数图和三维图 407 rsWQHHkO 20.5 表格中的常见参数 408 D}MoNE[r 20.6 迭代指令 408 <KtBv Ip] 20.7 报表模版 408 h6g:(3t6m 20.8 开始设计一个报表模版 409 6#E7!-u(- 21 一个新的project 413 ;d4y{ 21.1 创建一个新Job 414 d<#p %$A4 21.2 默认设计 415 *%X.ym' 21.3 薄膜设计 416 OZ^h\m4 21.4 误差的灵敏度计算 420 _
\l
HI 21.5 显色指数计算 422 Q\|18wkW 21.6 电场分布 424 SZ/(\kQ6 后记 426 pw=F' Y@N
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