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9*wS}A&Jh 内容简介 BfQRw>dZ"{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 d9@!se9&Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (KQAKEhD! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 m E<n=g= =pHWqGOD 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ra#s!m1 目录 eTi r-7 Preface 1 'Y`.0T[& 内容简介 2 -UgD 目录 i :i'jQ<|wZN 1 引言 1 I[b@U<\ 2 光学薄膜基础 2 +Ja9p 2.1 一般规则 2 r2,AZ+4FP 2.2 正交入射规则 3 O}VI8OB(& 2.3 斜入射规则 6 erG@8CG 2.4 精确计算 7 GS1Vcav< 2.5 相干性 8 %) A-zzj 2.6 参考文献 10 L_$M9G|5n 3 Essential Macleod的快速预览 10 uYk4qorA 4 Essential Macleod的特点 32 Q)pm3Wi 4.1 容量和局限性 33 -4:L[.2 4.2 程序在哪里? 33 WR;"^<i9 4.3 数据文件 35 ("HT0a 4.4 设计规则 35 [p3)C<;ZC 4.5 材料数据库和资料库 37 N[G<&f9 4.5.1材料损失 38 \ dpsyc 4.5.1材料数据库和导入材料 39 =l&A9 >\ 4.5.2 材料库 41 XsE] Z4 4.5.3导出材料数据 43 gm;6v30e 4.6 常用单位 43 7=jeq|&kN 4.7 插值和外推法 46 )2c[]d/a4 4.8 材料数据的平滑 50 "+^d.13+] 4.9 更多光学常数模型 54 y7 tK>aD} 4.10 文档的一般编辑规则 55 hGc') 4.11 撤销和重做 56 Q<]~>cd^ 4.12 设计文档 57 Z$h39hm?c 4.10.1 公式 58 lZ^UAFF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (C;oot, 4.10.3 沉积密度 59 v&:R{ 4.10.4 平行和楔形介质 60 dm4dT59 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ti`R 4.10.4 性能 61 ^s'ozCk 0 4.10.5 保存设计和性能 64 -:txmMT 4.10.6 默认设计 64 J('p'SlI 4.11 图表 64 UH8)r 4.11.1 合并曲线图 67 *.ffyBI*~ 4.11.2 自适应绘制 68 V+A1O k) 4.11.3 动态绘图 68 (0%0+vY 4.11.4 3D绘图 69 GvQ|+vC 4.12 导入和导出 73 sePOW#| 4.12.1 剪贴板 73 $;<h<#_n; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 pH&Q]u;O 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 maANxSzi 4.13 背景 77 @nN+F,phx 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
5" U8| 4.15 生成Rugate 84 _"`wUMee 4.16 参考文献 91 )4[{+OJa 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -Kt36:| 5.1 Jobs 92 =U3,P% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7Kx3G{5ja 5.3 输入材料 94 >M7e'}0; 5.4 设计数据文件夹 95 `m5cU*@D 5.5 默认设计 95 \IQP`JR 6 细化和合成 97 cm]D"GFLY 6.1 优化介绍 97 '{EBK 6.2 细化 (Refinement) 98 ["N>Po 6.3 合成 (Synthesis) 100 Yyl2J#$! 6.4 目标和评价函数 101 ,cm;A'4] 6.4.1 目标输入 102 [!>2[bbl 6.4.2 目标 103 (bo{vX 6.4.3 特殊的评价函数 104 h+$1+Es 6.5 层锁定和连接 104 S<+_yB? 6.6 细化技术 104 BY:
cSqAW 6.6.1 单纯形 105 fU~>A-P 6.6.1.1 单纯形参数 106 jr"~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]4@z.1Mr 6.6.2.1 Optimac参数 108 -W>zON|l 6.6.3 模拟退火算法 109 >VqMSe_v 6.6.3.1 模拟退火参数 109 fw^mjD 6.6.4 共轭梯度 111 _-g:T 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |::kC3= 6.6.5 拟牛顿法 112 Ki-CJy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 hD\C[C, 6.6.6 针合成 113 /B!"\0G/, 6.6.6.1 针合成参数 114 Zl"h-~31 6.6.7 差分进化 114 9&}qie, 6.6.8非局部细化 115 &K k+RHM 6.6.8.1非局部细化参数 115 O*oL(dk*8L 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Bd m<<< 6.7.1 细化 116 uXeB OLC 6.7.2 合成 117 >'^l>FPc 6.8 参考文献 117 (FMG W
( 7 导纳图及其他工具 118 xPqpNs-, 7.1 简介 118 `(.ue8T 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7w)#[^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 zE.4e&m%Z? 7.2.2 导纳图 120 UeE& 8{=d 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 I}Q3B3Byg 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 c#9 zw[y-L 7.5 斜入射导纳图 141 `Y.RAw5LrE 7.6 对称周期 141 Q}]:lmqH 7.7 参考文献 142 O\OG~`HBN 8 典型的镀膜实例 143 2ok>z$Y 8.1 单层抗反射薄膜 145 Iu0K#.s_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /]]\jj#^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Tjure]wQz 8.4 W-膜层 148 I+O!<SB 8.5 V-膜层 149 7+T\ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ?Pmj }f 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 y9\s[}c_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 U$VTk 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?h>mrj 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !0Xes0gK0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \/K>Iv'$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~`tc|Zu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 5
+(YcV(" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 zZ-e2)1v 8.15十五层宽带抗反射膜 159 &;9<a^td 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 g;]2'Rj 8.17 1/4波长堆栈 162 o?{VGJH<v 8.18 陷波滤波器 163 :g<dwuVO 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @ n;WVG 8.20 褶皱 165 QS=n
50T, 8.21 消偏振分光器1 169 `!m+g0 8.22 消偏振分光器2 171 mq'q@@:c 8.23 消偏振立体分光器 172 +$},Hu69j 8.24 消偏振截止滤光片 173 i8HSYA 8.25 立体偏振分束器1 174 WlZ[9,:p1 8.26 立方偏振分束器2 177 1ygu>sKS&A 8.27 相位延迟器 178 [+GQ3Z\ 8.28 红外截止器 179 aeUm,'Y$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 NX)7g}S 8.30 49层长波带通滤波器 181 9M01} 8.31 55层短波带通滤波器 182 NqqLRgMOR' 8.32 47 红外截止器 183 9lTA/- 8.33 宽带通滤波器 184 Bfw>2 8.34 诱导透射滤波器 186 jIdhmd* $z 8.35 诱导透射滤波器2 188 HTx7._b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 j?z(fs-
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !JYDg 8.35 增益平坦滤波器 193 9@D,ZSi 8.38 啁啾反射镜 1 196 B u4N~0 8.39 啁啾反射镜2 198 sMO3eNLn 8.40 啁啾反射镜3 199 #On1Q:d 8.41 带保护层的铝膜层 200 >b*Pd
*f 8.42 增加铝反射率膜 201 $ a5K 8.43 参考文献 202 ~q|^z[7 9 多层膜 204 ol`]6"Sc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cW&OVNj 9.2 内部透过率 204 5& |