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_Zc%z@} 内容简介 IooNb:( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 T%Pp*1/m7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {5|("0[F 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 b|5w]<?' Y$-3v. 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Bg8#qv 目录 Yif*"oO Preface 1 ^JR;epVJ
内容简介 2 fj ,m 目录 i pA4*bO+ 1 引言 1 M=]5WZO~A 2 光学薄膜基础 2 !rhk
$L 2.1 一般规则 2 u? fTL2~ 2.2 正交入射规则 3 nNmsr=y5 2.3 斜入射规则 6 yA[({2% 2.4 精确计算 7 q/1Or;iK 2.5 相干性 8
st'D 2.6 参考文献 10 =xianQ<lK 3 Essential Macleod的快速预览 10 t_ur&.^SB 4 Essential Macleod的特点 32 4Tct 4.1 容量和局限性 33 &2I*0 4.2 程序在哪里? 33 _DP|-bp D 4.3 数据文件 35 xdy^^3" 4.4 设计规则 35 +2C?9:bH 4.5 材料数据库和资料库 37 s:y
^_W)d 4.5.1材料损失 38 ,572n[-q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Rb}KZ+o"Z 4.5.2 材料库 41 K^t?gt@k} 4.5.3导出材料数据 43 DDd|T;8 4.6 常用单位 43 ]=F8p2w? 4.7 插值和外推法 46 6yAA~;*5' 4.8 材料数据的平滑 50 B8I4[@m>w\ 4.9 更多光学常数模型 54 W2wpcc 4.10 文档的一般编辑规则 55 _w ]4~V9 4.11 撤销和重做 56 4QJ8Z t 4.12 设计文档 57 UF__O.l__ 4.10.1 公式 58 AKu_~bTk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 jQj,q{eA 4.10.3 沉积密度 59 iz]rFNR 4.10.4 平行和楔形介质 60 #Tp]^
n 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3,aN8F1;C 4.10.4 性能 61 34|a:5c 4.10.5 保存设计和性能 64 %1:c hvS 4.10.6 默认设计 64 }PeZO!K 4.11 图表 64 ?PPZp6A3L= 4.11.1 合并曲线图 67 V7t!?xOL 4.11.2 自适应绘制 68 >adV(V< 4.11.3 动态绘图 68 ?H R%bngK 4.11.4 3D绘图 69 /2NSZO 4.12 导入和导出 73 B>TSdn={> 4.12.1 剪贴板 73 Wf>^bFb"$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 G{
mC7@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 J7i+c];!< 4.13 背景 77 #%S0PL"x U 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 q9}m!*8e 4.15 生成Rugate 84 v@u<Ww;=@ 4.16 参考文献 91 K3p@$3hQ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 S-Ai3)t6 5.1 Jobs 92 ^i_Iqph= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^lO76Dz~a 5.3 输入材料 94 So4nJ><p 5.4 设计数据文件夹 95 ulXnq` 5.5 默认设计 95 GHN3PEJ> 6 细化和合成 97 &:#m&,tQ 6.1 优化介绍 97 ;6DnId2Zh 6.2 细化 (Refinement) 98 :%-,Fxl4 6.3 合成 (Synthesis) 100 (a{ZJI8_ 6.4 目标和评价函数 101 zX5G;,_ 6.4.1 目标输入 102 3x5!a5$Y 6.4.2 目标 103 xRX>|S 6.4.3 特殊的评价函数 104 #s+X+fe 6.5 层锁定和连接 104 ^b53}f8H 6.6 细化技术 104 LD55n%|0`H 6.6.1 单纯形 105 F!8=FTb 6.6.1.1 单纯形参数 106 T{S4|G1R6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 m@oUvxcd 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?y-s20Kd 6.6.3 模拟退火算法 109 wRVD_? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 d\Jji 6W 6.6.4 共轭梯度 111 g"y?nF.&F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |Cf
mcz(56 6.6.5 拟牛顿法 112 *W^=XbG 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [b`6v`x 6.6.6 针合成 113 ]C *10S` 6.6.6.1 针合成参数 114 =s[&;B`s 6.6.7 差分进化 114 Tb# 6.6.8非局部细化 115 %D^bahf 6.6.8.1非局部细化参数 115 v.`+I-\.z) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 KU2$5[~j 6.7.1 细化 116 3Xdn62[& 6.7.2 合成 117 F 1} 6.8 参考文献 117 o=9' 7 导纳图及其他工具 118 QHQj/)J8 7.1 简介 118 r'd/qnd 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 aJ2H.E 7.2.1 四分之一波长规则 119 /2h][zrZ[. 7.2.2 导纳图 120 c)3O/` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 %c1FwAC 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 !0dX@V'r 7.5 斜入射导纳图 141 k!13=Gh 7.6 对称周期 141 T}2:.Hk:N 7.7 参考文献 142 NW De-<fQ 8 典型的镀膜实例 143 pbdF]>\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 k5X b}@ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^/{4'\p 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4e/cqN6 8.4 W-膜层 148 ,o)4p\nV 8.5 V-膜层 149 ;o >WXw 8.6 V-膜层高折射基底 150 (rMZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 MOLO3?H( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~'[jBn) 8.9 四层抗反射薄膜 153 qC.i6IL 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 S.]MOB dt 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 B"[{]GP BY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 :A*0 ]X; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 FF@ `+T 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >
Z++^YVE 8.15十五层宽带抗反射膜 159 9}XT'+`y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 xPvRQ 8.17 1/4波长堆栈 162 `5<1EGJsD 8.18 陷波滤波器 163 ) MBS 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 eE,;K1 8.20 褶皱 165 {jhcZ"#>\ 8.21 消偏振分光器1 169 Gt5$6>A 8.22 消偏振分光器2 171 SW=aHM 8.23 消偏振立体分光器 172 #4q1{)= 8.24 消偏振截止滤光片 173 Q;@X2JSp 8.25 立体偏振分束器1 174 ?.j,Bq5At 8.26 立方偏振分束器2 177 =g[H]-Ee 8.27 相位延迟器 178 J=VyyUB 8.28 红外截止器 179 44<v9uSK 8.29 21层长波带通滤波器 180 X?kPi&ru 8.30 49层长波带通滤波器 181 :o<N!*pT 8.31 55层短波带通滤波器 182 rr)9Y][l} 8.32 47 红外截止器 183 'ucGt 8.33 宽带通滤波器 184 4)E|&)-fu8 8.34 诱导透射滤波器 186 tgfM:kzw 8.35 诱导透射滤波器2 188 iBS0rT_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 L77EbP`P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }JH`'&3 8.35 增益平坦滤波器 193 v0u\xX[H; 8.38 啁啾反射镜 1 196
Y 0]Kl^\A 8.39 啁啾反射镜2 198 <]c#)xg 8.40 啁啾反射镜3 199 `:R-[>5P8 8.41 带保护层的铝膜层 200 pr)K{~m]{< 8.42 增加铝反射率膜 201 oX#9RW/ >I 8.43 参考文献 202 9yDFHz w 9 多层膜 204 Jtpa@!M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ha5 bD% 9.2 内部透过率 204 @F~0p5I 9.3 内部透射率数据 205 T[m ~6 9.4 实例 206 f{f_g8f[ 9.5 实例2 210 L[1d&d!p 9.6 圆锥和带宽计算 212 <gR`)YF7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ~X[S<Gi# 10 光学薄膜的颜色 216 v=j>^FZ 10.1 导言 216 q?1yE@th 10.2 色彩 216 o\:$V 10.3 主波长和纯度 220 9ec0^T 10.4 色相和纯度 221 GPMrs)J*! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 17|@f 10.6 色差 226 `|uoqKv 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $}V7(wu 6@ 10.8 颜色渲染指数 234 /!:L7@BZ 10.9 色差计算 235 :mzCeX8 * 10.10 参考文献 236 Ko]QCLL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9y;y7i{>? 11.1 短脉冲 238 BQE{ 11.2 群速度 239 zU=YNrn 11.3 群速度色散 241 Q;=6ag' 11.4 啁啾(chirped) 245 ofVEao 11.5 光学薄膜—相变 245 nD(w @c? 11.6 群延迟和延迟色散 246 5Zzr5WM 11.7 色度色散 246 ^P]?3U\nj 11.8 色散补偿 249 R&]c"cO L8 11.9 空间光线偏移 256 jGJ.Pvc>i 11.10 参考文献 258 Jk%'mEGE 12 公差与误差 260 ?VUgwP_= 12.1 蒙特卡罗模型 260 ip<15;Z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Ri9Kr 12.2.1 误差工具 267 5XI;<^n2 12.2.2 灵敏度工具 271 U8EJC
.e&O 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -*rHB&e 12.2.2.2 灵敏度分布 275 lt&$8jh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /A0 [_ 12.3 参考文献 276 vU ?b"n 13 Runsheet 与Simulator 277 0S%tsXt+ 13.1 原理介绍 277 sg+ZQDF{x 13.2 截止滤光片设计 277 j
l}!T[5 14 光学常数提取 289 G`9cd\^ 14.1 介绍 289 '" ^ B&W 14.2 电介质薄膜 289 :U!'U;uQ 14.3 n 和k 的提取工具 295 xX[?L9RGz 14.4 基底的参数提取 302 Y>xi|TWN 14.5 金属的参数提取 306 =fL6uFmxI@ 14.6 不正确的模型 306 M' a& 14.7 参考文献 311 X!HDj< 15 反演工程 313 YCir Oge 15.1 随机性和系统性 313 &G0l&8pa 15.2 常见的系统性问题 314 14mXx}O 15.3 单层膜 314 }Q47_]5 15.4 多层膜 314 eo>/ 15.5 含义 319 fui4@ 15.6 反演工程实例 319 <WZ1- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 unC t4uX^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *?EO n - 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Uzan7A 16.1 光学性质的热致偏移 329 z0\;m{TH 16.2 应力工具 335 e} sc]MTM 16.3 均匀性误差 339 b`(yu.{Jn 16.3.1 圆锥工具 339 MZ;"J82p 16.3.2 波前问题 341
%zA2%cq< 16.4 参考文献 343 om XBnzT 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *p" "YEN 17.1 引言 345 %KbBH:z05 17.2 操作数 345 7p
P| 18 如何在Function中编写脚本 351 (eCF>Wh^m 18.1 简介 351 04I6-}6 18.2 什么是脚本? 351 1zh$IYrd 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 N>uA|<b, 18.4 基础 352 } l :mN 18.4.1 Classes(类别) 352 kHt!S9r 18.4.2 对象 352 #)W8. 18.4.3 信息(Messages) 352 7$g*N6)Q 18.4.4 属性 352 *,O
:>Z5I 18.4.5 方法 353 Rel(bA-[N 18.4.6 变量声明 353 zF[3%qZE:T 18.5 创建对象 354 a)I=U[ 18.5.1 创建对象函数 355 ir9Q##f 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 K*([9VZ 18.5.3 丢弃对象 356 o|rGy5 18.5.4 总结 356 5W?yj>JR 18.6 脚本中的表格 357 7bgnZ]r8t 18.6.1 方法1 357 s|{^ }4{ 18.6.2 方法2 357 "7Toc4 18.7 2D Plots in Scripts 358 btUUZ"q< 18.8 3D Plots in Scripts 359 mp&Le YYn 18.9 注释 360 sh',"S#=@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 GCf._8;% 18.11 一个更高级的脚本 362 #Pb7EL#c 18.12 <esc>键 364 M!xm1-,[ 18.13 包含文件 365 OhSt6&+ 18.14 脚本被优化调用 366 4f@havFIJ 18.15 脚本中的对话框 368 C5:dO\?O 18.15.1 介绍 368 O4 +SD 18.15.2 消息框-MsgBox 368 kr/1Dsr4 18.15.3 输入框函数 370 ?=/}Ft 18.15.4 自定义对话框 371 "ay,Lr 18.15.5 对话框编辑器 371 #U",,*2 18.15.6 控制对话框 377 j6&zRFX 18.15.7 更高级的对话框 380 )z?&"I 18.16 Types语句 384 *@-q@5r}! 18.17 打开文件 385 MFc=B`/X 18.18 Bags 387 vSyi}5D 18.13 进一步研究 388 .LeF|EQU\@ 19 vStack 389 9,iq"dQ 19.1 vStack基本原理 389 wu&|~@_s@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 s8f3i\1 19.3 五棱镜 393 &J5-'{U|0 19.4 光束距离 396 gTmUK{y' 19.5 误差 399 bMK#^ZoH 19.6 二向分色棱镜 399 Lyf? V(S 19.7 偏振泄漏 404 ;qMnO_E 19.8 波前误差—相位 405 VurP1@e& 19.9 其它计算参数 405 >,]
eL 20 报表生成器 406 yZj}EBa 20.1 入门 406 4y]: Gqz~ 20.2 指令(Instructions) 406 g|GvJ)VX 20.3 页面布局指令 406 w]o:c(x@ 20.4 常见的参数图和三维图 407 /JK-}E 20.5 表格中的常见参数 408 %U=S6<lbj; 20.6 迭代指令 408 _Cv[`e. 20.7 报表模版 408 i#M a-0# 20.8 开始设计一个报表模版 409 )"pxry4v7J 21 一个新的project 413 q[y,J 21.1 创建一个新Job 414 `aO@N( 21.2 默认设计 415 UgnsV*e & 21.3 薄膜设计 416 =E"kv!e
21.4 误差的灵敏度计算 420 T;4gcJPn"M 21.5 显色指数计算 422 8Y{}p[UFT 21.6 电场分布 424 pb/{ss+ 后记 426 Rktn/Vi 有兴趣可以扫码加微联系 5ykk11!p$
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