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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 $2F*p#l(<Z  
    l%"eQ   
    #3$U&|`  
                                                             Q=yQEh|Y  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 o(~>a  
                                                                 Z{/C4" F  
    建模任务                                                         Jug1Va<^c  
    {"e/3  
     "2CiW6X[M  
    @]d N   
    光栅元件   4i[3|hv'  
    qJW>Y}  
                                                             dH!k {3bL  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 5SX0g(C  
    • FMM/RCWA (@M=W.M#  
    • Diffractive Lens Component 6(oGU4  
                                                                 b0E(tPw5c  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ")HTUlcAe}  
    l~&efAJ-$  
                                                         YjS|Ht->  
    '[5tc fG#z  
    正弦光栅-传输相位形态     [_qBp:_j?s  
    _Ux>BJmP  
                                                         [}lv!KmzW  
    kOR%<#:J  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Q-}oe Q  
    t2+m7*76  
     4ej$)AdW3  
    UNYU2ze'  
    正弦光栅-衍射效率 'y}A3 RqN  
    TDY}oGmNn  
                                                                 "6pjkEt4  
    -.g5|B  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       2Pi}<pG~  
    Dw[w%uz  
           >g93Bj*  
    BD=;4SLT  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7"*- >mg  
                                           &.<{c `-  
    AGCqJ8`|T  
                                                                 %)l2dK&9"j  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) :n'QN Gj  
    Cj5M  
                                                               15U=2j*.b  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         j@kBCzX  
    RLulz|jC  
    FNmIXpAn*@  
     )_.@M '?  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         EN J]  
    a%(1#2^`q!  
     )zUV6U7v  
                                                                 p$[*GXR4  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         LUo3y'  
    _E'M(.B<  
     uaJ5'*  
                                                                 ,fET.s^|U  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         >PySd"u  
    30<dEoF  
     Jz:d\M~j5  
                                                                 'Q(A5zfN]Y  
    VirtualLab Fusion技术   mvUYp,JECl  
    0U`Ic_.  
                   :?RK>}4|F  
     
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