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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 [%`L sY  
    -lNq.pp3-$  
    eumpNF%$  
                                                             {+V]saYP  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 WzwH;!  
                                                                 @ppT;9<d  
    建模任务                                                         /\0 rRT  
    v3`k?jAaI  
     ;I^+u0ga  
    ra4$/@3n  
    光栅元件   dvl'Sq<  
    9h$08l  
                                                             (ndTEnpp  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Jiv%Opo/|  
    • FMM/RCWA [m9Iz!E  
    • Diffractive Lens Component qQ%RnD9  
                                                                 |\W9$V  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       x]=s/+Y  
    Pzl2X@{%  
                                                         %gb4(~E+N  
    sOY+ X  
    正弦光栅-传输相位形态     v3ky;~ke  
    ..5rW0lr  
                                                         K_" denzT+  
    \=yWJ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -xXz}2S4  
    ZHWxU  
     Zr%,F[j?  
    nH=8I~jp  
    正弦光栅-衍射效率 ls9 28  
    &I|\AG"X}  
                                                                 qZS]eQW.  
    Yi5^# G  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Q^H8gsv  
    ~g|Z6-?4Jj  
           Pd"=&Az|  
    7%Q?BH7{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   {%"n[DLps  
                                           Q/[g|"  
    oE H""Bd  
                                                                 XDtMFig  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 5(+PI KCjC  
    IOjp'6Yr  
                                                               YXi'^GU@  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         bl8EzO  
    !*tV[0 i2  
    XjRk1 ~  
     8nj^x?bn  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         U $2"ZyFii  
    s.#%hPX{  
     sgGXj7  
                                                                 1LK`    
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         5OR2\h!XZt  
    /Z?$!u4I  
     sYG:\>}ie  
                                                                 L/Ytkag  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         +&*D7A>~p  
    g5OKhL0u  
     AVnH|31dC~  
                                                                 Mxmo}tt  
    VirtualLab Fusion技术   "?X,);5S  
    @|2L>N  
                   p|gzU$FWbk  
     
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