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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 K.jm>]'z4;  
    h|Uy!?l  
    =24<d!R  
                                                             ZX!u\O|w  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 B%Sp mx8  
                                                                 S}cm.,/w  
    建模任务                                                         i&?do{YQ)  
    .J3Dk=/  
     h47l;`kD-#  
    x?|   
    光栅元件   7|Tu@0XXA  
    yjP;o`z%  
                                                             (P N!k0Y  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: u)fmXoQ  
    • FMM/RCWA e RjpR?!\  
    • Diffractive Lens Component W=EvEx^?%  
                                                                 YEx7 6  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xl$#00|y  
    B[0XzV]Z  
                                                         U8(Rye$  
    ,&IBj6%Y  
    正弦光栅-传输相位形态     (9J,Qs[;  
    bh1WD_  
                                                         bu#}`/\_  
    -3<5,Q{G+  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         }]H_|V*f  
    <99Xg_e  
     kEE8cW3  
    !%?X% @9  
    正弦光栅-衍射效率 bG0t7~!{E  
    V4OhdcW{  
                                                                 ArUGa(; f  
    _azg 0.)  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ~o+HAc`=v  
    M"]~}*  
           #U NTD4   
    #is:6Z,OEU  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   !RnO{FL  
                                           %Y` @>P'  
    ,"u-V<>6O  
                                                                 5B? >.4R  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) +t R6[%  
    @l^=&53T  
                                                               y.~y*c6,g  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +QIM~tt)  
    \z<B=RT\  
    bO: Ei  
     g`!:7|&,_  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         }xHoitOD  
    _{o=I?+]  
     B8_ w3;x  
                                                                 z$E+xZ  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Dqe/n_Z  
    jl=<Q.Mm7  
     qDO4&NO  
                                                                 3Bz0B a  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         A:EF#2) g  
    QH6Lb%]/  
     dvk? A$  
                                                                 l'(Cxhf.W  
    VirtualLab Fusion技术   m El*{]  
    l/_3H\iM  
                   d(w $! $"h  
     
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