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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 s qac>v  
    8Z/P<u  
    $CHr i|  
                                                             lh~!cOm\=E  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ^7TM.lE  
                                                                 5x4JDaG2  
    建模任务                                                         #12PO q  
    +n^$4f  
     ;2)@NH  
    3boINmX  
    光栅元件   OyZgg(iN  
    ![U|2x   
                                                             gjL>FOe8u  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: j3IxcG}f  
    • FMM/RCWA o*I=6`j  
    • Diffractive Lens Component ./[%%"  
                                                                 #<4h Y7/  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       cL<  
    6/.-V1*O  
                                                         LurBqr  
    8_8 R$ =V  
    正弦光栅-传输相位形态     ~naL1o_FZ  
    8>6+]]O  
                                                         &'c1"%*%8>  
    HWFo9as""v  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         uUwwR(R  
    !95ZK.UT  
     ^l7u^j  
    z[}[:H8  
    正弦光栅-衍射效率 b)3dZ*cOJ  
    =d.Z:L9d  
                                                                 FJp~8 x=  
    3iR;(l}  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !d&K,k  
    2^E.sf$f  
           O9dIobu4  
    M@E*_U!U  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   2j Oh~-LU  
                                           37T<LU  
    # 0dN!l;  
                                                                 75jq+O_:  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /al(=zf  
    SLD%8:Zn  
                                                               jL6u#0  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         pD eqBO  
    `QnKal)  
    @vCPX=c  
     U_wn/wcLS  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         (UA a  
    m5v9:5{  
     w\:-lXw  
                                                                 UMma|9l(i  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         (es+VI2!&C  
    FL,jlE_  
     ?nn`ud?f  
                                                                 l|/h4BJ'  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         g G>1  
    A{bt Z#k  
     Nh^T,nv*l  
                                                                 'u@ )F`  
    VirtualLab Fusion技术   D}>pl8ke~g  
    N&]v\MjI62  
                   _*>bf G  
     
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