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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 .VA'W16  
    VJbn/5+P  
    MA+{7 [  
                                                             EUmbNV0u  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /P[@o  
                                                                 u OB`A-K  
    建模任务                                                         (nnIRN<}$  
    dTVh{~/  
     GhC%32F  
    4<btWbk5u*  
    光栅元件   rCsH 0:l8P  
    j"Z9}F@  
                                                             cnL@j_mb  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: $_+.D`vx`  
    • FMM/RCWA }>yQ!3/i  
    • Diffractive Lens Component ;mauA#vd  
                                                                 7Um3m yXU  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ;\54(x}|K  
    S{S.H?{F  
                                                         f)#nXTXeC  
    ;~"#aL50fe  
    正弦光栅-传输相位形态     1#V&'A  
    |bX{MF  
                                                         ]]6  
    '/GZ/$a_l  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         g E$@:j  
    ?{(Jy*  
     =SK{|fBB  
    Senb_?  
    正弦光栅-衍射效率 w1,6%?p(O  
    P~@.(hed  
                                                                 qlg?'l$03)  
    %Hpz^<`  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       8C4v  
    p K hV<MFB  
           Rf#t|MW*#  
    X+'B*K$  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   yL"pzD`[H  
                                           v]U0@#/p  
    _8s1Wh G  
                                                                 V~4yS4  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) m<GJ1)%3i  
    K&;;{~md.  
                                                               3.V-r59  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         KBa   
    tS sDW!!M  
    b\^9::oY  
     x`Ik747^v  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         "a]Ff&T-  
    !A#(bC  
     P7y.:%DGD0  
                                                                 B+n(K+  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         >OW>^%\!1  
     $&to(  
     la*c/*  
                                                                 ds<q"S {p  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         hC2_Yr>N%  
    O;SD90  
     PJ'.s  
                                                                 #RVN 7-x  
    VirtualLab Fusion技术   xYD.j~  
    4qmaL+Q  
                   O_[]+5.TX  
     
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