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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 -Fs^^={Q  
    G.c@4Wz+  
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                                                             &t w   
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 },5_h0  
                                                                 ;j/-ndd&&  
    建模任务                                                         iXDQ2&gE*  
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    n"{oj7E0a  
    光栅元件   eX>X=Ku  
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                                                             3fJwj}wL  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 20f):A6  
    • FMM/RCWA 'E,Bl]8C5  
    • Diffractive Lens Component __V6TDehJ$  
                                                                 d/OIc){tD  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ;DKwv}  
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                                                         gaJIc^O  
    cuP5cL/Y  
    正弦光栅-传输相位形态     U;:,$]+  
    HSOdqjR*  
                                                         eMvb*X6  
    @.X}S "yr  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         M_4g%uHG  
    ]4>[y?k34  
     ft[g1  
    1W5\   
    正弦光栅-衍射效率 +B@NSEy/+  
    #={L!"3?e  
                                                                 =#<hT s  
    <z|? C  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ^q,KR ut  
    Ga%]$4u  
           hqY9\,.C  
    3HA$k[%7P  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   m!:7ur:Y  
                                           \6Ze H  
    va8V{q@t'  
                                                                 UG>OL2m>5  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) G1~|$X@@  
    *[7,@S/<F  
                                                               morI'6N  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         < P5;8  
    0{Kl5>Z9M  
    dTaR 8i  
     LZG^\c$  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         IR%a+;Xs  
    rA9x T`  
     xIrpGLPSh  
                                                                 <E BgHD)  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         jl2nRo  
    -& kQlr  
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                                                                 ooIMN =  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .KT+,Y  
    A0rdQmrOL  
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                                                                 _'H<zZo  
    VirtualLab Fusion技术   G"TPu _g  
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