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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 %:}o\ _w  
    D"M[}$P  
    e!=~f%c<N  
                                                             4o|<zn  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ]Ns)fr 6  
                                                                 d1';d6.u\  
    建模任务                                                         )F_nK f"a  
    nArG I}@  
     l i) 5o  
    \b*z<Odv  
    光栅元件   (vFO'jtcB-  
    v>/_U  
                                                             4n} a%ocv^  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ay0.D FL  
    • FMM/RCWA CUnBi?Mi  
    • Diffractive Lens Component G@zJf)u}  
                                                                 apgR[=Oy  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       g.pR4Mf=Z  
    =Q*x=}NH  
                                                         L;-V Yo#  
    C}qHvwFm  
    正弦光栅-传输相位形态     VWK%6Ye0  
    ^[6el_mj  
                                                         G|YNShK4=9  
    nJ}@9v F/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         I-^C6~  
    4L_)@n}  
     e'MW"uCP}  
    H128T8?r[  
    正弦光栅-衍射效率 u|cP&^S  
    66-tNy  
                                                                 3EHB~rL/C  
    '+\t,>nRkl  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       G#fF("Ndu`  
    82iFk`)T  
           @'<=E AXe  
    ,KCxNdg^#-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   *-*SCA`E^=  
                                           ?a-5^{{  
    oFGWI#]ts>  
                                                                 >Ptu-*  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) [ eb k u_  
    !;;7:!)P  
                                                               ( k,?)  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          |nfMoUI  
    O7p=N8V  
    ;W]9DBAB  
     Q' Tg0,,S  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         w+wtr[;wwL  
    "8R &c}  
     A"z9t#dv@  
                                                                 A$i^/hJs  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         G\o9mEzQ  
    %lD+57=  
     }|%1LL^pB  
                                                                 R a"hdxH  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         7MGvw-Tpb7  
    Qj'Ik`o  
     - AU{Y`j  
                                                                 )xiu \rC  
    VirtualLab Fusion技术   =t`cHs29  
    i\O^s ]  
                   G:3szz  
     
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