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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要  yw^, @'  
    A-5%_M3\G  
    Xp@OIn  
                                                             OTm"Iwzu@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ]z$<6+G  
                                                                 @bE?WXY  
    建模任务                                                         T~d';P  
    Z!6G (zz:>  
     : DP{YL|x  
    _TiF}b!hi  
    光栅元件   awtzt?VtLh  
    @B <_h+  
                                                             o qTh )  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: C8-q<t#SF  
    • FMM/RCWA F.6SX (x  
    • Diffractive Lens Component gqamGLK  
                                                                 epePx0N%x$  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       nfU}ECun4  
    _t7A'`Dh]  
                                                         fNumY|%3  
    Obm\h*$  
    正弦光栅-传输相位形态     0 $r{h}[^c  
    SX.v5plhc  
                                                         # jyAq$I0  
    +-i@R%  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -u(#V#}OV?  
    0o`o'ZV=c  
     h&P[9:LH  
    >3/<goXk7  
    正弦光栅-衍射效率 %\u>%s <9  
    YrX{,YtiX  
                                                                 6kk(FVX  
    _{8boDX#  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       G9TUU.T  
     lwlR"Z  
           j yE+?4w;  
    CEiG jo^  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   NUseYU``  
                                           `CBTZG09  
    =6hf'lP  
                                                                 C\Rd]P8\  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 60m1 >"  
     }#1g;  
                                                               @,hvXl-G*  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         2epL!j)Wh  
    /T0|<r!c  
    4 0eNgm^  
     te_D  ,  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ]`x~v4JU  
    @W8RAS~  
     kE1u-EA  
                                                                 KR63W:Z\'  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4f+Ke*^[RA  
    >dO^pDSs  
     6K6ihR!d  
                                                                 `%VrT`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         MC3{LVNK  
    :DEZ$gi  
     JL1Whf  
                                                                 8V@3T/}  
    VirtualLab Fusion技术   7_LE2jpC,5  
    b=sc2 )3?  
                   z\a#"2(G.  
     
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