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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 rh$1-Y  
    {v+a!#{c7  
    T|f_~#?eV  
                                                             3%NE/lw1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Y}/jR6hK  
                                                                 yv${M u  
    建模任务                                                         \r]('x3S  
    q<}PM  
     TczXHT}G  
    '?R=P  
    光栅元件   uAb 03Q  
    A*Q[k 9B  
                                                             (^S5Sc=  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: b@-)Fy4d2  
    • FMM/RCWA a97Csxf;7  
    • Diffractive Lens Component |B1Af  
                                                                 ew"m!F#  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       f)tc4iV  
    ,'-?:`hP'  
                                                         kt<@H11  
    7S2c|U4IM  
    正弦光栅-传输相位形态     Ge9}8  
    a&:>Ped"  
                                                         (q k5f`O  
    14u^[M" U  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -$tCF>,  
    [5LMt*Y  
     q/J3cXa{K  
    Ey = 4 b  
    正弦光栅-衍射效率 `g8tq  
    #]5)]LF1q  
                                                                 7n>|D^  
    n@o  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       sBB:$X  
    #J3zTG(:@  
           -~]^5aa5n  
    PE7t_iSV  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   `L">"V`$Bj  
                                           }Y$VB%&Hy  
    HqDa2q4  
                                                                 +ks$UvtY  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ,m"l\jP  
    4= $!_,.  
                                                               PJ6$);9}6  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         R''Sfz>8  
    xF^r`  
    ep`/:iYW  
     X{|k<^:  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Y/!0Q6<[2Y  
    fX$6;Ae  
     kz|[*%10  
                                                                 @hBx, `H^  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ur`V{9g  
    }K+\8em  
     V?o&])?[  
                                                                 =1_jaDp  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ; S{ZC5  
    =I{S;md  
     ^r%i3  
                                                                 ~'|&{-<  
    VirtualLab Fusion技术   yW'BrTw  
    mrX}\p   
                   ) +*@AM E  
     
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