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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 fa9c!xDt  
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    ;4p_lw@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \)'s6>58|  
                                                                 ~6L\9B )  
    建模任务                                                         Q$Qs$  
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    5D 9I;L{  
    B'"(qzE-kM  
    光栅元件   hi4#8W  
    !PJD+SrG  
                                                        
    :"5'l>la  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: _]:wltPv  
    • FMM/RCWA Z~)Bh~^A  
    • Diffractive Lens Component k"X<gA  
                                                                 b$\3Y'":  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       89ivyv;]U  
    E+-ah vk  
                                                    
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    W,dqk=n  
    正弦光栅-传输相位形态     78&(>8@m  
    {#"[h1  
                                                    
    k/bY>FY2r  
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         A+v6N>}*  
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    QII-9 RxX"  
    |^p7:)cy  
    正弦光栅-衍射效率 >8h14uCk  
    S_?{ <{  
                                                            
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    yop,%Fe  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5Y77g[AX2-  
    x[l_dmq  
      
    Wg X9k J  
    W2cgxT  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   nP`#z&C  
                                      
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    )fSO|4   
                                                                 l]tda(  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) !9w3/Gthj  
    '4 T}$a"i  
                                                          
    W$&{jr-p  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         2_i/ F)W  
     g=W1y  
    vzDoF0Ts*p  
    PNVYW?l  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         S5B12P  
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    1=Npq=d  
                                                                 XL!\Lx  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         h\C" ti2  
    ^yLiyRe\  
    JBzRL"|  
                                                                 +M@p)pyu  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         o[<lTsw<  
    G&ZpQ)  
    AcC'hr.N+  
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    VirtualLab Fusion技术   :)7{$OR&  
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