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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 C/sDyv$  
    NbDfD3 1GK  
    TAXl73j_CY  
                                                             =z]8;<=pL  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ;4g_~fB  
                                                                 |H(Mmqgk  
    建模任务                                                         %s#`i$|z*n  
    C}~/(;1V=  
     e1k\:]6  
    2k^dxk~$V;  
    光栅元件   _:tclBc8R  
    HOb-q|w  
                                                             l imzDQ^  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: c/c%-=  
    • FMM/RCWA w|1Gb[  
    • Diffractive Lens Component  W1@Q)i  
                                                                 #=MQE  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       e$wbYByW  
    !`VO#_TJ  
                                                         M~G1ZB  
    jgr2qSU C  
    正弦光栅-传输相位形态     E9Q?@'h  
    ? }k~>. \  
                                                         I)-u)P?2x  
    >Kd(.r[Er  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Kk^tQwj/QE  
    >:ZlYZ6sI  
     B) 81mcy  
    N1V qK  
    正弦光栅-衍射效率 ;5*)kX  
    ?gSk%]S/!  
                                                                 :*2+t-  
    3xW;qNj:!l  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       V zx%N.  
    t `4^cd5V  
           Yg;g!~   
    1m/=MET]  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   h&!k!Su3#  
                                           ,u}n!quA  
    35Jno<TP'  
                                                                 Y[Gw<1F_  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) N_vVEIO9  
    _ +,2b:D:  
                                                               NVnKgGlHgd  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         F:/R'0  
    cLQvzd:h=  
    MwxfTH"wi  
     ;+-$=l3[a  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         dt"[5;_P`  
    ];P^q`n=.  
     Ru?Ue4W^b  
                                                                 6(4o}Sv  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         yaf&SR@7k{  
    'aB0abr|  
     t|*PC   
                                                                 AJrwl^ lm  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         4/{Io &|  
    ^uW!=%D  
     S^ ?OKqS  
                                                                 TJ9,c2d+  
    VirtualLab Fusion技术   g<s[6yA  
    b`n+[UCPtn  
                   Vgs( feGs  
     
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