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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 |!LnAh  
    {/}^D-  
    n &}s-`D  
                                                             aB"xqh)a}T  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 sLns3&n2  
                                                                 2P9J' L  
    建模任务                                                         mhzYz;}  
    E4HU 'y~  
     5~r2sCDPk  
    L"vj0@n'0  
    光栅元件   kuKa8c  
    =|SdVv   
                                                             S%l:kKD  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: m 22wF>9  
    • FMM/RCWA `ZGcgO<c\  
    • Diffractive Lens Component n29(!10Px  
                                                                 #a,9B-X  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       C6QbBo  
    'M/ ([|@  
                                                         z"379b7cN  
    w>979g  
    正弦光栅-传输相位形态     #H5=a6E+q  
    $1 @,Qor  
                                                         ^}>/n. %  
    >n$ !<  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         D7Zm2Kj  
    ~V+l_ :  
     n&!+wcJ;Yt  
    8MZ$T3IM  
    正弦光栅-衍射效率 C2/}d? bki  
    A3+6 #?:;  
                                                                 x-_vl 9P)  
    o""~jc~  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       G]*|H0j  
    6 bO;&  
           U5+vN[ K  
    4JO@BV>t  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   |_zO_Frtp  
                                           $YM_G=k  
    ^^}Hs-{T  
                                                                 EUcKN1  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) {9'M0=  
    EW(J5/mn  
                                                               +)/ Uu3"=  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         )#[|hb=o  
    flnVYQe  
    rFu ez$  
     C}"@RHEu  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ZkWL_ H)  
    /[pqI0sf<A  
     =NDOS{($  
                                                                 tZ8e`r*  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         G[z .&l  
    3 ^}A %-bS  
     &jf7k <^  
                                                                 /A07s[L  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         RKuqx:U  
    :zp`6l  
     VKuAO$s$  
                                                                 e!X(yJI[O6  
    VirtualLab Fusion技术   PK:2xN:=  
    <P4 FzK  
                   r"]'`qP,  
     
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