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摘要 !:`Ra e/ppZ>
1mkQ"E4 V1AEjh 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 .T[!!z#^ V_ avaE 建模任务 =D;UMSf !^Qb[ev
`3H?*\<( j.e`ip 光栅元件 Qt)7mf M<hs_8_*
Ra*k 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ]ys4 • FMM/RCWA AX^3uRQJ • Diffractive Lens Component c9/
'i ;FIMCJS 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) GHJQ d&G8G -+Awm{X_@
a93d'ZE-X C=pPI 正弦光栅-传输相位形态 UeC%Wa<[ p>w~T#17
vf/$`IJ !F}J+N=} 正弦光栅-传输相位形态 N:sECGS, 2Q;Y@%G
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tS*^}e* 正弦光栅-衍射效率 8P'En+uE1| Q?I"J$]&L
ML9T(th6v NUO,"Bqq 正弦光栅-效率vs. 周期 E|6Z]6[ +A&IxsTq5=
y("0Xve a5Acqa 正弦光栅—选定周期的相位形态 :pV("tHE j)SgB7Q LQ&d|giA VNh,pQ( 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) E.G h@i D ;T r
D2wgSrY 闪耀光栅-传输相位形态 yz&q2 bQnwi?2 NiQc2\4% \Lh<E5@] 闪耀光栅-衍射效率 vNwSZ{JBd ~Hs]} Xo
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