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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 _7Xd|\Zc  
    rQ`\JE&`  
    cJxW;WI!,  
                                                             p+orBw3  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ;\<""Yj@l  
                                                                 nGq]$h  
    建模任务                                                         #d7N| 9_  
    mSU@UD|'  
     FWuw/b$  
    M:R8<.{  
    光栅元件   O!:QJ ^8 d  
    7n\ThfH{  
                                                             dv"as4~%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: gO+\O  
    • FMM/RCWA O4m(Er@a  
    • Diffractive Lens Component @)o0GHNP  
                                                                 uzHT.iBn  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z'7#"D  
    MQwIPjk8  
                                                         x|.v{tQa  
    ec`bz "1  
    正弦光栅-传输相位形态     JDkCUN5  
    znt)]>f#  
                                                         A[RHw<  
    0yn[L3x7  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         J5O.*&  
    p={Jf}v  
     W0Ktw6  
    24/ /21m  
    正弦光栅-衍射效率 `q%U{IR  
    C`dkD0_  
                                                                 F;#zN  
    v9u<F6  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       {1jpLdCbV^  
    CK2B  
           %Nj #0YF]  
    doBNghS  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   nt=x]wEC  
                                           ndr)3tuYu  
    `AR"!X  
                                                                 RL6Vkd?  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Nu@5 kwH  
    XlVc\?  
                                                               4:D:| r  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         8q0I:SJy  
    ?{eY\I  
    _mXs4  
     Zb."*zL  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         YJd8l>mz  
    <|a=hHPi:  
     {=3B)+N  
                                                                 8"x9#kyU<3  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         I FsE!oDs4  
    b vRB  
     \b$<J.3  
                                                                 J_PH7Z*=,  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %%&e"&7HE  
    ,HZYG4,  
     p;0 PxL=  
                                                                 )\>r-g$  
    VirtualLab Fusion技术   }z wX  
    ys%zlbj[  
                   m2(E>raV6  
     
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