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摘要 j^ 8Hjg 6I=d0m.io
?cz7s28a E"BW-<_! 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 +gndW -6F\= 建模任务 L)|hjpQ u8A,f}D 3
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b[N#p5 T[},6I|! 光栅元件 2g)q
( >/GYw"KK
2-g 5Gb2| 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: !JDyv\i} • FMM/RCWA 0""%@X]m • Diffractive Lens Component w{;bvq%lY vy5{Vm".4 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) w"Zws[pm] @&G
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o~:({ * e,8o2C$ 正弦光栅-传输相位形态 pDr/8HEh >>-{AR0
y>UQm|o<W %kBrxf 正弦光栅-传输相位形态 yq[CA`zVN O'~^wu.
QE;,mC> i2O$oHd 正弦光栅-衍射效率 i"!j:YEo czo*_q%
C0e oV} P]4u`& 正弦光栅-效率vs. 周期 A:sP%c; v>Kv!OY:c
Q?m= a0g ]ao%9:P; 正弦光栅—选定周期的相位形态 F*B^#AZg m<4tH5};d uhmSp+% ''EFh&F 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =p!Hl# ]'i}}/}u2
ss7Z-A 4z 闪耀光栅-传输相位形态 1NlpOVq:) UD]RWN 6O'B:5~[2 l(tMo7iPa 闪耀光栅-衍射效率 7tT L,Nxe lS`VJA6l.
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j0L 闪耀光栅-效率vs.周期 9;pD0h| Mg^3Y'{o
!Ie={BpzbZ +u7nx 闪耀光栅-选定周期相位形态 8bEii1EM DVyxe}
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