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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 j^ 8Hjg  
    6I=d0m.io  
    ?cz7s28a  
                                                             E"BW-<_!  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 +gndW  
                                                                 -6F\=  
    建模任务                                                         L)|hjpQ  
    u8A,f}D 3  
     Rb b[N#p5  
    T[},6I|!  
    光栅元件   2g)q (  
    >/GYw"KK  
                                                             2-g 5Gb2|  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: !JDyv\i}  
    • FMM/RCWA 0""%@X]m  
    • Diffractive Lens Component w{;bvq%lY  
                                                                 vy5{Vm".4  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       w"Zws[pm]  
    @&G %cW(  
                                                         o~:({  
    * e,8o2C$  
    正弦光栅-传输相位形态     pDr/8HEh  
    >> -{AR0  
                                                         y>UQm|o<W  
    %kBrxf  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         yq[CA`zVN  
    O'~^wu.  
     QE;,mC>  
    i2O$oHd  
    正弦光栅-衍射效率 i"!j:YEo  
    czo*_q%  
                                                                 C0e oV}  
    P]4u`&  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       A:sP%c;  
    v>Kv!OY:c  
           Q?m= a0g  
    ]ao%9:P;  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F*B^#AZg  
                                           m<4tH5 };d  
    uhmSp+%  
                                                                 ''EFh&F  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =p!Hl#  
    ]'i}}/}u2  
                                                               ss7Z-A4z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         1NlpOVq:)  
    UD]RWN  
    6O'B:5~[2  
     l(tMo7iPa  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         7tT L,Nxe  
    lS`VJA6l.  
     nfr..4,:  
                                                                 R^4 j0L  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         9;pD0h|  
    Mg^3Y'{o  
     !Ie={BpzbZ  
                                                                 +u7nx  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8bEii1EM  
    DVyxe}  
     H 4W4# \M  
                                                                 dy0xz5N-  
    VirtualLab Fusion技术   f+dj6!g5/  
    0R?LWm j  
                   $k3l[@;hE  
     
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