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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 %@BQv 4oJ  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 kbMIMZC/G  
                                                                 O-&n5  
    建模任务                                                         +Oyt   
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    光栅元件   \!YPht  
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    {) .=G  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: J'7){C"G$  
    • FMM/RCWA ucA6s:!={  
    • Diffractive Lens Component e=F' O] 5  
                                                                 "0/OpT7h7  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       O%+:fJz6wI  
    o#+!H!C.O  
                                                    
    m' aakq  
    @D60  
    正弦光栅-传输相位形态     }e@j(*8  
    [J*)r8ys  
                                                    
    ^qk$W? pX  
    JdV!m`XpXy  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         VKs$J)6  
    /Fv1Z=:r  
    %3C,jg  
    p 3_Q  
    正弦光栅-衍射效率 5Y,e}+I>  
    z5i!GJB  
                                                            
    |H@M-  
    aFC3yMKXh  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       d[o =  
    aG" UV\  
      
    i3Ffk+ |b  
    [6-l6W  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   E?FPxs  
                                      
    U2bb|6j  
    EG1SIEo  
                                                                 Aa1 |{^$:L  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q,*IR*B:a  
    "?N`9J|j)~  
                                                          
    w1GCjD*y  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         O}KT>84M  
    $h$+EE!  
    \XpPb{:>  
    n&Al~-Q:^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         F*NIs:3;  
    r7IhmdA  
    FF/MTd}6qG  
                                                                 %`}Qkb/Lyh  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         NuP@eeF>,  
    v)pdm\P  
    =W4cWG?+  
                                                                 2`Pk@,:_  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         o%|1D'f^  
    -9Can4  
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                                                                 .&[nS<~`  
    VirtualLab Fusion技术   lLg23k{'  
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