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摘要 fa9c!xDt / =&HunaxI
*>,8+S33r{ ;4p_lw@ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \)'s6>58| ~6L\9B) 建模任务 Q$Qs$ $,Y\
5D9I;L{ B'"(qzE-kM 光栅元件 hi4#8W !PJD+SrG
:"5'l>la 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: _]:wltPv • FMM/RCWA Z~)Bh~^A • Diffractive Lens Component k"X<gA
b$\3Y'": 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 89ivyv;]U E+-ahvk
\g&P5 W,dqk=n 正弦光栅-传输相位形态 78&(>8@m {#"[h1
k/bY>FY2r ^x(BZolkm 正弦光栅-传输相位形态 A+v6N>}* uz-O%R-
QII-9RxX" |^p7:)cy 正弦光栅-衍射效率 >8h14uCk S_?{<{
)Zud|%L yop,%Fe 正弦光栅-效率vs. 周期 5Y77g[AX2- x[l_dmq
WgX9k J W2cgxT 正弦光栅—选定周期的相位形态 nP`#z&C yneIY-g(p )fSO|4 l]tda( 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) !9w3/Gthj '4 T}$a"i
W$&{jr-p 闪耀光栅-传输相位形态 2_i/ F)W g=W1y vzDoF0Ts*p PNVYW?l 闪耀光栅-衍射效率 S5B12P W
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1=Npq=d XL!\Lx 闪耀光栅-效率vs.周期 h\C" ti2 ^yLiyR e\
JBzRL"| +M@p)pyu 闪耀光栅-选定周期相位形态 o[<lTsw< G&ZpQ)
AcC'hr.N+ &oi*]:<FNe VirtualLab Fusion技术
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