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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 !: `Ra  
    e /ppZ>  
    1mkQ"E4  
                                                        
    V1AEjh  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 .T[!!z#^  
                                                                 V_ avaE  
    建模任务                                                         = D;UMSf  
    !^Qb[ev  
    `3H?*\<(  
    j.e`ip  
    光栅元件   Qt)7mf  
    M<hs_8_*  
                                                        
    Ra*k  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ]ys4  
    • FMM/RCWA A X^3uRQJ  
    • Diffractive Lens Component c9/ 'i  
                                                                 ;FIMCJS  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       GHJQ d&G8G  
    -+Awm{X_@  
                                                    
    a93d'ZE-X  
    C=pPI  
    正弦光栅-传输相位形态     UeC%Wa<[  
    p>w~T#17  
                                                    
    v f/$`IJ  
    !F}J+N=}  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         N:sECGS,  
    2Q;Y@%G  
    )x5$io   
    tS*^}e*  
    正弦光栅-衍射效率 8P'En+uE1|  
    Q?I"J$]&L  
                                                            
    ML9T (th6v  
    NUO,"Bqq  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       E|6Z]6[  
    +A&IxsTq5=  
      
    y("0Xve  
    a5Acqa  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   :pV("tHE  
                                      
    j)SgB7Q  
    LQ&d|giA  
                                                                 VNh,pQ(  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) E.Gh@i  
    D;T r  
                                                          
    D2wgSrY  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         yz&q2  
    bQnwi?2  
    NiQc2\4%  
    \Lh<E5@]  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         vNwSZ{JBd  
    ~Hs]}Xo  
    :4L5@>b-  
                                                                 :Y)kKq d  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,uD*FSp>  
    h"Yqm"U/  
    |@n{tog+-  
                                                                 {Z{NH:^  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         H?r;S 5)c  
    J\8l%4q3  
    >p+gx,N  
                                                                 *R~(:z>>  
    VirtualLab Fusion技术   /;(%Xd&:  
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