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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 xH,D bAC;  
    k`j>lhH  
    *qX!  
                                                             \(4"kY_=  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 2#srecIz-!  
                                                                 Z.4 vKO[<  
    建模任务                                                         3 s@6pI  
    :,<G6"i  
     6%j v|\>  
    /w!!jj^  
    光栅元件   &-S;.}  
    =up!lg^M  
                                                             [N35.O6P6u  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: .5S< G)Ja  
    • FMM/RCWA *btLd7c%  
    • Diffractive Lens Component wgN)*dpuI  
                                                                 G{ |0}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /Zzb7bHLK  
    x4_xl .  
                                                         +qWrm |O]  
    C >@T+xOZ  
    正弦光栅-传输相位形态     IIZu&iZo\  
    *mvDh9v  
                                                         ~o <+tL  
    O_E\(So  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ?k|}\l[X1  
    Wzn!BgxRr  
     jD<fu  
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    正弦光栅-衍射效率 7Gos-_s  
    ;Dw6pmZ  
                                                                 5qe6/E@  
    A"Prgf eT  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       E$4_.Z8sRw  
    #4yh-D"  
           x)]_]_vX  
    /Ezx'h3Q  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ?Z1&ju,Hd-  
                                           7_=7 ;PQ<  
    #"T< mM7  
                                                                 S-5|t]LV  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 9s.x%m,  
    Pse1NMK9 [  
                                                               Yn~N;VUA  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         .uoQ@3  
    Q#h*C ZT  
    un&Z' .   
     ZH1W#dt`[  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         O(_a6s+m  
    TJ5g? #Wul  
     ^xNs^wC.  
                                                                 "3?N*,U_  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Bd8{25{c  
    #GlQwk3  
     aFbIJm=!  
                                                                 pA%Sybw+  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         1DTA Dh0  
    5PRS|R7  
     *l-f">?|  
                                                                 e7$ZA#A_5v  
    VirtualLab Fusion技术   4PcsU HR  
    f Yt y7  
                   liuw!  
     
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