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摘要 %@BQv4oJ -z|idy{
LRbevpZ, {yG)Ii 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 kbMIMZC/G O-&n5 建模任务 +Oyt 0kiW629o
'2.F-~ :+R||qi 光栅元件 \!YPht %@rh\Z
{) .=G 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: J'7){C"G$ • FMM/RCWA ucA6s:!={ • Diffractive Lens Component e=F'
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5 "0/OpT7h7 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) O%+:fJz6wI o#+!H!C.O
m' aakq @D60 正弦光栅-传输相位形态 }e@j(*8 [J*)r8ys
^qk$W?pX JdV!m`XpXy 正弦光栅-传输相位形态 VKs$J)6 /Fv1Z=:r
%3C,jg p 3_Q 正弦光栅-衍射效率 5Y,e}+I> z5i!GJB
|H@M- aFC3yMKXh 正弦光栅-效率vs. 周期 d[o = aG"UV\
i3Ffk+ |b [6-l6W 正弦光栅—选定周期的相位形态 E? FPxs U2bb|6j EG 1SIEo Aa1 |{^$:L 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q,*IR*B:a "?N`9J|j)~
w1GCjD*y 闪耀光栅-传输相位形态 O}KT>84M $h$+EE! \XpPb{:> n&Al~-Q:^ 闪耀光栅-衍射效率 F*NIs:3; r7IhmdA
FF/MTd}6qG %`}Qkb/Lyh 闪耀光栅-效率vs.周期 NuP@eeF>, v)pdm\P
=W4cWG?+ 2`Pk@,:_ 闪耀光栅-选定周期相位形态 o%|1D'f^ -9Can4
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