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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 `2l j{N  
    /]>8V'e\  
    F`8B PWUY  
                                                             HY>zgf,0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /+JHnedK  
                                                                 hRaX!QcG3  
    建模任务                                                         4qvE2W}&  
    mO8E-D*3  
     ~/l5ys  
    p"tCMB  
    光栅元件   4Gor*{  
    )Rc  
                                                             q<Z`<e  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: }BN!Xa  
    • FMM/RCWA kR/Etm5_  
    • Diffractive Lens Component HD!2|b ~@  
                                                                 N;mJHr3[F  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       G:4'')T  
    9YEE.=]T  
                                                         yBkcYHT  
    \m%Z;xKG  
    正弦光栅-传输相位形态     Cc}3@Nf{/  
    \PL0-.t,  
                                                         ,vs#(d6G  
    WWgJ !Uz  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         _h^er+d!_  
    }CGA)yK~3  
     cTa$t :K@  
    Lu5lpeSQ  
    正弦光栅-衍射效率 34c+70x7  
    =Ohro '   
                                                                 =HHtLW.|,  
    - jWXE  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       )z!#8s  
    AOv>O52F/Q  
           y"Ios:v@-  
    2OZ<t@\OY  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   'BX U '  
                                           p>h}k_s  
    r8,'LZIz  
                                                                 1qm _Qs&  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) }DFZ9,gQ  
    KmpKyc[  
                                                               J*D3=5&  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7-("pp YX=  
    Ti>2N  
    bPA1>p7  
     avy@)iO7  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         WXFC e@  
    :V~ AjV  
     yi:1cLq2  
                                                                 t*wV<b  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         OLE@35"v]  
    ge|Cv v  
     Vo(>K34  
                                                                 vl>_;} W7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %TYe]^/'y  
    lS |:4U.  
     L*zfZ&  
                                                                 v(`5exWV  
    VirtualLab Fusion技术   >uR;^B5m  
    GsiT!OP]y  
                   U"OA m}  
     
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