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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ;.EW7`)Z  
    5wgeA^HE2y  
    :y%CP8  
                                                              tQSJ"Q  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 B;=-h(E}vJ  
                                                                 ]sL)[o  
    建模任务                                                         + 2?=W1`  
    qOM"?av  
     !wNj;ST*  
    7 S 6@[-E  
    光栅元件   `j)S7KN  
    !eE;MaS>  
                                                             ~8l(,N0  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: bjCO@t  
    • FMM/RCWA %ok??_}$}q  
    • Diffractive Lens Component x_VD9  
                                                                 eF=cMC  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       uzgQ_  
    OJ!=xTU%h  
                                                         DITo.PU  
    3 jR I@  
    正弦光栅-传输相位形态     SSo7 U  
    p;0p!~F=49  
                                                         mJN*DP{  
    Md[M}d8  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^T&@(|o  
    hw9qnSeRy  
     R.'-jvO  
    \{u 9Kc  
    正弦光栅-衍射效率 YkuFt>U9,  
    2uZ4$_  
                                                                 56`Tna,t  
    x,81#=m^h  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       nkTpUbS'f?  
    n> tru L  
           |^k&6QO5  
    `G0GWh)`x  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   68 \73L=  
                                           8Z[YcLy"({  
    1O,:fTG<  
                                                                 ;eY.4/*R  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) K6d2}!5  
    W{W8\  
                                                               EJ@&vuDd$  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ='G-wX&k  
    }N,$4h9Dj  
    CR8szMa  
     ATzFs]~K;  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         V]Z!x.x"=y  
    9,c_(%C  
     6m$lK%P{1  
                                                                 `p'682xI  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @ Cd#\D|  
    q"9 2][}  
     ;k |U2ajFJ  
                                                                 mxEn iy  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         r7^oqEp@B  
    wG@f~$   
     GTuxMg`  
                                                                 sOqT*gwr:  
    VirtualLab Fusion技术   C2}f'  
    38E %]*5F  
                   l9t|@9  
     
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