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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 8^FAeV#  
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    e<;^P(g`E  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Mx<? c  
                                                                 }j. [h;C6  
    建模任务                                                         UFLN/  
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    keYvscRBI  
    apxY2oE&  
    光栅元件   z :_o3W.E  
    (p FPuV  
                                                        
    7Ib/Cm0d|  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O0Vtvbj  
    • FMM/RCWA .9Y,N&V<H  
    • Diffractive Lens Component foOwJ}JU  
                                                                 DG!H8^  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       v_$'!i$  
    Vif0z*\e{  
                                                    
    1Y-m=~J7  
    nbGB84  
    正弦光栅-传输相位形态     mx'!I7b(L/  
    ~fDMzOd  
                                                    
    WjrUns  
    \ tK{!v+  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         APC,p,"  
    covr0N)  
    O" <W<l7Q  
    fW,,@2P  
    正弦光栅-衍射效率 hLZ<h7:  
    RKY~[IQ,  
                                                            
    ,bQbj7  
    SREe, e\  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       D]s8w  
    %L\buwjy$  
      
    dHtbl\6  
    .)zX<~,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   c~1X/,biA  
                                      
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    7HpfHqJ7  
                                                                 ,1s,G]%M  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ;-OnCLr  
    F>0[v|LG  
                                                          
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         t#Q" ;e  
    nJvDkh#h1  
    `o.DuvQ E  
    e+!+(D  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         AV%?8-  
    sUfYEVjr  
    T.fmEl  
                                                                 Qe&K  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         (\Iz(N["G  
    :< )"G&  
    lYS+EVcR  
                                                                 M%3 \]&  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         d"1DE  
    VPKoBJ&  
    +EmT+$>J  
                                                                 ># q2KXh  
    VirtualLab Fusion技术   j=%^CRum  
    C^o9::ER  
              
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