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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 |p11Jt[  
    e3?=1ZB  
    >Jz9wo`  
                                                             :HkBP90o  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 -u2i"I730  
                                                                 |\5^ub,m  
    建模任务                                                         "s*-dZO  
    Aw o)a8e  
     gE-y`2SU  
    rl*O-S/  
    光栅元件   > VG  
    AZtS4]4G)  
                                                             )ZJvx%@i  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^QB[;g.O  
    • FMM/RCWA Zp_(vOc  
    • Diffractive Lens Component ^.SYAwL  
                                                                 &|>+LP@8  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       U2oCSo5:3N  
    *sho/[~_  
                                                         _"DS?`z6  
    I5$P9UE+^9  
    正弦光栅-传输相位形态     Nk`UQ~g$  
    uy'ghF  
                                                          `zwz  
    KhCP9(A=Qo  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         IUcL*  
    5jdZC(q5a  
     ^4y]7 p  
    8sG3<$Z^  
    正弦光栅-衍射效率 PxHFH pL  
    vh9* >[i  
                                                                 z3fv}_\z  
    |D3u"Y!:^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       gt&|T j  
    8s%/5v"  
           )Nv1_en<!  
    bQAznd0  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   mYBEjZ B  
                                           !,WGd|oJ  
    ]|;+2@kDR  
                                                                 ) "#'   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "}]`64?  
    2EY"[xK|  
                                                               H#- 3  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         X>%nzY]m  
    -wl j;U  
    l?Y^3x}j  
     J( }2Ua_  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         wN 2+3LY{  
    +Qs]8*^?;  
     N!A20Bv  
                                                                 'nJF:+30ZH  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         x^f<G 6z  
    ajbe7#}  
     HDyf]2N*N  
                                                                 ]m]`J|%i  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         -! \3;/  
    .{Y;6]9[  
     0QQss  
                                                                 <J[ le=  
    VirtualLab Fusion技术   C \ Cc[v  
    Fc[KIG3@  
                   FR(W.5[  
     
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