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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 prf  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 -6(u09mb_  
                                                                 [b-wak})aD  
    建模任务                                                         sb"etc`w%-  
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    光栅元件   -!OFt}  
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    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: `GsFvxz  
    • FMM/RCWA EV}c,*);y  
    • Diffractive Lens Component C NDf&dzX8  
                                                                 6I0G.N  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       *.X!AJ;M=O  
    Zi&qa+F  
                                                    
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    正弦光栅-传输相位形态     M_wqb'=  
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    ]?n)!u  
    _^+z2m+ ~N  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         NwH`t#zd  
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    正弦光栅-衍射效率 Xr54/.{&@  
    DYS|"tSk  
                                                            
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    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5$kv,%ah  
    r;gtfX*  
      
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    正弦光栅—选定周期的相位形态   {ZiZ$itf  
                                      
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    }!tJ3G  
                                                                 a!Z.ZA  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) CAGaZ rx  
    so~vnSQ!x  
                                                          
    Rj&V~or  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         mK!73<p_  
    mTG v*=l  
    y6.Q\=  
    >Qk4AMIO  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         k)VoDxMKK  
    e0i&?m  
    t@K N+ C  
                                                                 _wa1R+`_  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         y/!h.[  
    %O$4da"y  
    Z:Hk'|q}I  
                                                                 oz!;sj{,D  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ~-r*2bR  
    m2!y;)F0  
    8mM^wT  
                                                                 J|k~e,C  
    VirtualLab Fusion技术   9(.P2yO  
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