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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 D~t"9Z\  
    @9 qzn&A  
    :d:|7hlNQ  
                                                             .F=<r-0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 %m0L!|E  
                                                                 3/#R9J#  
    建模任务                                                         Z:r$;`K/  
    g6k&c"%IQ(  
     [7ek;d;'t  
    ^+Y-=2u:  
    光栅元件   rA>A=,  
    96([V|5K  
                                                             9, sCJ5bb"  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: _tWfb}6;Zb  
    • FMM/RCWA 2*3B~"  
    • Diffractive Lens Component hc31+TL  
                                                                 LmT[N@>"  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ._F 6-pl  
    9cx!N,R t  
                                                         ,sQ0atk7ma  
    zN8&M<mTl  
    正弦光栅-传输相位形态     AU${0#WV_  
    !EyGJa[ i  
                                                         Wtzj;GJj  
    i32_ZBZ?y  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         J7 zVi  
    }tS6Z:fOY  
     ""U?#<}GD  
    :w&)XI34  
    正弦光栅-衍射效率 xs83S.fHg  
    v1tN DyM6  
                                                                 DRFuvU+e  
    ~_^o?NE,  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       1Ag;s  
    JWm^RQ  
           z)?#UdBQv  
    { "@b`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7! A%6  
                                           (fI&(";t  
    ^: rNoo  
                                                                 .]sIoB-54  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) PU/Br;2A  
    lXL7q?,9  
                                                               /B#lju!  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         J#OE}xASoA  
    >Qbc(}w  
    tX`[6`  
     XCi]()TZ_  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         +hvIJv ?  
    {J6sM$aj  
     l1|,Lr  
                                                                 EX_sJc  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         g:3'x/a1  
    gp&& c,  
     +]~w ?^h  
                                                                 A(@gv8e[H^  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         'rq#q)1MT  
    H6 f; BS  
     p31rhe   
                                                                 g KmRjK  
    VirtualLab Fusion技术   L) nVpqm   
    !7a^8   
                   j'Q-*-3  
     
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