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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 F3|pS:  
    !!X9mI|2|  
    +=04X F:  
                                                             _eeX]xSSl  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ?-&D'  
                                                                 NcMq>n  
    建模任务                                                         <>/MKMq!  
    Gqb-3n gH  
     $P9$ ,w4  
    GoA>sK  
    光栅元件   2*DS_=6o  
    !w\;Q8irN  
                                                             >}(*s^!k  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: jY6=+9Jz5  
    • FMM/RCWA BU{ V,|10a  
    • Diffractive Lens Component Zd/~ *ZA  
                                                                 l'8TA~  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Sq]1SW3  
    L"<Eov6  
                                                         0c6AQP"=V  
    Jl9TMu!1]  
    正弦光栅-传输相位形态     `%I{l  
    w[[@&T\`  
                                                         ^`5Yxpz  
    =C2C~Xd  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ,/U 9v~  
    P Y<V  
     5Cka."bQ  
    2n:J7PGD  
    正弦光栅-衍射效率 A'R sy6  
    6_><W"r:]  
                                                                 )%c)-c  
    FLOJ  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       )O(Gw-jWE  
    Nn\\}R  
            Q'M Ez  
    @(?d0xCg  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   na; ^/_U@  
                                           aJ@qB9(ZBe  
    ~[,TLg 6  
                                                                 OyZ>R~c'B  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) pD/S\E0@t  
    =D$r5D/xd  
                                                               v>PHn69PU  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         IsL/p3|  
    t!C-G+It  
    }TLC b/+  
     ^yZEpQN_  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         %/C[\w p81  
    hY9u#3  
     )$g /PQ  
                                                                 cK@K\AE  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4w[ta?&6B  
    Z%Kj^ M  
     |g+5rVbd  
                                                                 @h3)! #\ N  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         vBXr[XoC  
    _s,svQ8#  
     Inoou 'jX  
                                                                 (k45k/PAP  
    VirtualLab Fusion技术   6*Qpq7Ml  
    (#`o >G(  
                   =c 4U%d2  
     
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