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摘要 8^FAeV# ^KeJ=VT
KNw{\Pz~w e<;^P(g`E 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Mx<?c }j. [h;C6 建模任务
UFLN/ D'!
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keYvscRBI apxY2oE& 光栅元件 z:_o3W.E (pFPuV
7Ib/Cm0d| 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O0Vtvbj • FMM/RCWA .9Y,N&V<H • Diffractive Lens Component foOwJ }JU DG!H8^
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) v_$'!i$ Vif0z*\e{
1Y-m=~J7 nbGB84 正弦光栅-传输相位形态 mx'!I7b(L/ ~fDMzOd
WjrUns \ tK{!v+ 正弦光栅-传输相位形态 APC,p," covr0N)
O"<W<l7Q fW,,@2P 正弦光栅-衍射效率 hLZ<h7: RKY~[IQ,
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e\ 正弦光栅-效率vs. 周期 D]s8w %L\buwjy$
dHtbl\6 .)zX<~, 正弦光栅—选定周期的相位形态 c~1X/,biA eoC@b/F4 7HpfHqJ7 ,1s,G]%M 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ;-OnCLr F>0[v|LG
bvuoo/ 闪耀光栅-传输相位形态 t#Q" ;e nJvDk h#h1 `o.DuvQ
E e+!+(D 闪耀光栅-衍射效率 AV%?8- sUfYEVjr
T.fmEl Qe&K 闪耀光栅-效率vs.周期 (\Iz(N["G :< )"G&
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