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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 %R>S"  
    pAuwSn#i  
    mg(56)  
                                                             Gp+XM  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ;gnr\C*G  
                                                                 . 6dT5x8u  
    建模任务                                                         R.T-Ptene  
    i#=X#_ +El  
     Se8y-AL6x>  
    E}=NZqOB!  
    光栅元件   #^ #i]{g  
    >JOvg*a?"  
                                                             <UdD@(iZ#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?< QFW#:)  
    • FMM/RCWA '4sD1LD~}  
    • Diffractive Lens Component <GRf%zJ  
                                                                 Fw m:c[G  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       pQ{t< >  
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                                                         :t^})%  
    *,*qv^  
    正弦光栅-传输相位形态     4/WCs$  
    @&##c6\$  
                                                         A#: c  
    *XO KH+_u  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         VAE?={-  
    ;%alZ  
     CD[=z)<z{  
    Y{|yB  
    正弦光栅-衍射效率 J*X.0&Toc  
    s[4 !R&b  
                                                                 T+h{Aeg  
    reJ?38(  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       U&$]?3?  
    MToQ8qKs  
           [frD L)  
    9z/_`Xd_  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5q`)jd!*)  
                                           2(/ /slP  
    Aq'E:/  
                                                                 l:yAgm`  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) G5J ZB7C  
    [+,U0OV,  
                                                               O>5u5n  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         vXQmEIm  
    u>6/_^iq  
    1>x@1Mo+K  
     u!k<sd_8B  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         kQlcT"R  
    hg'!  
     6XK`=ss?  
                                                                 rOr1H!  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         :vyf-K 74M  
    VhIIW"1  
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                                                                 T)tHN#6I  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Nw& }qSN  
    FXEfD"  
     @<yc .>  
                                                                 "d>g)rvOc  
    VirtualLab Fusion技术   k:)u7A+  
    T4Gw\Z%  
                   SH$cn,3F8  
     
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