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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Bw[jrK  
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    VnJ-nfA  
                                                             D-8>?`n\  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 -|DSfI#j  
                                                                 cc%O35o  
    建模任务                                                         epH48)2  
    4#qjRmt  
     ClHaR  
    Bn"r;pqWiT  
    光栅元件   47iwb  
    YORFq9a{R  
                                                             W].P(A>m  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: wnE c   
    • FMM/RCWA Ur626}  
    • Diffractive Lens Component I>27U<PX  
                                                                 a9E!2o+,  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ZHs hg`I`  
    8dw]i1t<  
                                                         I~R<}volu  
    )r2$/QF9  
    正弦光栅-传输相位形态     9rb/hkX&  
    ;!@\|E  
                                                         OU(z};Is6Z  
    P#H#@:/3  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         '^l/e: (H3  
    vII8>x%*  
     f=}Mr8W'  
    Gc9^Z=  
    正弦光栅-衍射效率 OvPy+I  
    9xg_M=72  
                                                                 &F}1\6{fL  
    tji,by#E/%  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       LIH>IpamN  
    Xl6)&   
           $/C<^}A  
    e76@-fg  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Et'C4od s  
                                           81_3{OrE<  
    N,ik&NIWy  
                                                                 2LYd # !i  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) uz4mHyS6  
    ?E2k]y6<  
                                                               Hcd>\0  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +&\TdvNI4  
    (W/jkm  
    IQ{Xj3;?y  
     i,")U)b  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         1TQ $(bI  
    W7A'5  
     9L#B"lh  
                                                                 16N8h]l  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^qbX9.\  
    1MJ]Gh]5  
     F.8{ H9`  
                                                                 gSj-~k P  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         i`] M2Q   
    ,.FTw,<  
     %Y Rg1UKY  
                                                                 `A <yDy  
    VirtualLab Fusion技术   wI}'wALhA  
    [bPE?_a,  
                   N/?Ms rZw  
     
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