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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 !v|FT. T`  
    {`(>O"_[Q  
     8"%RCE  
                                                             sV/l5]b]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 n`ViTwd]MQ  
                                                                 W3r?7!~  
    建模任务                                                         ('O}&F1  
    )[L^Dmd,  
     ?^i1_v7 Bi  
    :`\) P,  
    光栅元件   xe4Oxo  
    (@r `$5D.b  
                                                             X T[zj <&_  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: %c|UmKKi  
    • FMM/RCWA 4jNG^@O  
    • Diffractive Lens Component =-KMb`xT  
                                                                 Aw5pd7qKL  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \3Pv# )  
    \25/$Ae}c  
                                                         7%MbhlN.  
    0nJE/JZ  
    正弦光栅-传输相位形态     uR;gVO+QC  
    {2&m`D bm  
                                                         yNg9X(U  
    izgp*M,  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         2S"Nf8>zp  
    )+P]Vf\jH  
     \Q~8?p+  
    NGC,lv  
    正弦光栅-衍射效率 {ZU1x C  
    WWKvh  
                                                                 6$U]9D  
    =,y |00l  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       dS2G}L^L  
    @"-</x3o  
           #[{3} %b  
    QaIjLc~W  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   V7d) S&*V  
                                           `x8J  
    o*WY=  
                                                                 dU)]:>Uz  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =m89z}Ot  
    VKp*9%9  
                                                               1CU>L[W)  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         O.aG[ wm8  
    IU FH:w]  
    o?L'Pg  
     x8Loyt_C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ?eH&'m}-  
    7ELMd{CD  
     ^d}gpin  
                                                                 [.se|]t7X  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         +T/FeVQ  
    :Z`:nq.a  
     I V%zO+  
                                                                 K<?nq0-  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         j /=i Mq  
    !+>v[(OzM  
     =4V&*go*\  
                                                                 pl@O N"=[  
    VirtualLab Fusion技术   4[Z\ ?[  
    1b=lpw 1}  
                   3LDS Z1f  
     
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