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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 :l*wf/&z  
    &|9?B!,`  
    5Z;Py"%  
                                                             $RF"m"  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Z"E+ TX  
                                                                 zHx?-Q&3  
    建模任务                                                         &G'R{s&"  
    d5WE^H)E.  
     Vuz!~kLYIn  
    Y @K9Hl  
    光栅元件   lkl#AH  
    1hRC Bwx  
                                                             LFh(. }  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: iAXx`>}m  
    • FMM/RCWA Dcp,9"yt%  
    • Diffractive Lens Component RNIfw1R  
                                                                 Y3-15:-  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       %`g qV9a  
    8@Y@5)Oc  
                                                         V#sANi?mpo  
    D{G#|&;  
    正弦光栅-传输相位形态     geT<vh Z6  
    %7L'2/Y2x  
                                                         &, K;F'  
    !X#=Pt[,  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         OO\UF6MCU  
    '3<YZWS  
     'MC) %N,  
    9$Hgh7'hvs  
    正弦光栅-衍射效率 'RG`DzuF  
    jPbL3"0A&  
                                                                 eQYW>z'%,  
    6%:'2;xM  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Cu9,oU+N  
    cIq3En  
           O-:~6A  
    f5`exfdHE  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   $R"~BZbt;  
                                           \)LY_D:  
    LR`/pet  
                                                                 9fe~Q%x=u  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) WlG/7$  
    !q$IB?8   
                                                               WRD^S:`BH  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         R=PjLH&)  
    BDcl1f T  
    (+T|B E3*#  
     TNiF l hq  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Y}F+4   
    (\SxG\`  
     o<%Sr*  
                                                                 ,wnF]K 2D0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ;.m"y-  
    6IeHZ)jGj  
     QvqX3FU  
                                                                 [j:%O|h  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         bC"#.e  
    UG1^G07s  
     KS%xo6k.  
                                                                 5w{_WR6,  
    VirtualLab Fusion技术   ~EdmVEu  
    {AQ3y,sh  
                   [t?ftS  
     
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