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摘要 e A9r M: !NhVPb,
cPl$N5/5 KXo[;Db)k 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 %(1y {RH)&k&% 建模任务 jdD`C`w|, fqm6Pd{:(
]"vpCL 1i|5ii*vc 光栅元件 ][T>052v ; JHf0
pmDFmES 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^ s/f.#' • FMM/RCWA A6F/w • Diffractive Lens Component 'p,54<e o l+*Oe 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) n6GB2<y DB+.<
YR~)07 X4v0>c 正弦光栅-传输相位形态 OxVe}Fym yLvU@V@~
Qb1hk*$= [Kanj/ 正弦光栅-传输相位形态 kAk+Sq^n
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U#n1N7P|$F ?w "zW6U 正弦光栅-衍射效率 , *Z!Bd8 5q.)K
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.u9,w ncij)7c)u 正弦光栅-效率vs. 周期 y)+lU HS
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>VvA&p71b \w@ "`!% 正弦光栅—选定周期的相位形态 @avG*Mr^ -xU4s BP0*`TY ~fF;GtP 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) UJQGwTA W n ]P,5
IdWFG?b3 闪耀光栅-传输相位形态 p#AQXIF0 IM~2=+ a.s5>:Ct 7 +kU 8} 闪耀光栅-衍射效率 rTtxmw0 ABnJ{$=n#
Ouc$M2m0! .0'FW!;FV 闪耀光栅-效率vs.周期 @L5s.]vg= HO9w"){d$
CR'1, IpI|G!Y, 闪耀光栅-选定周期相位形态 18gApRa 3 etW4
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