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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 GMt)}Hz  
    tUn&z?7bF  
    1=- X<M75  
                                                             '> 4+WZ1w5  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 X.:_"+I;  
                                                                 l.yJA>\24I  
    建模任务                                                         9EjjkJ%)q  
    s+Cl  
     8L@UB6b\  
    64;oB_  
    光栅元件   WMRYT"J?N]  
    IcO9V<Q|  
                                                             R|6RI}  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: EgCp:L{  
    • FMM/RCWA 2>`m<&y  
    • Diffractive Lens Component OcLg3.:L  
                                                                 !~Ax  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       zl,bMtQ  
    |ORmS& 7  
                                                         he_HVRpB  
    {8ld:ZP  
    正弦光栅-传输相位形态     {Nzmb|&  
    wV]sGHuF}  
                                                         ~ mHXz  
    LAOdH/*:  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         !Q<8c =f  
    }D8~^   
     4Q &Xb <  
    EXv\FUzo  
    正弦光栅-衍射效率 -zkW\O[  
    $@lq}FQ%  
                                                                 v GulM<YY  
    \5j22L9S  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       oC ^z_AtZ  
    pIM*c6  
           rin >r0o  
    6kgCS{MZ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   '33Yl+h  
                                           ,APGPE}I[  
    KE&InTM/j  
                                                                 Q;{D8 #!  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ft*G*.0kO  
    7 UB8N vo  
                                                               c"oQ/x  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         2_B;  
    b tr x?k(  
    W]C_oh  
     ]JhDRJ\  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         <S:,`v&Z  
    D0,oml  
     Cf WK6>  
                                                                 @k#z &@b  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         #8WR{  
    2J>A;x_?  
     zEA{%)W  
                                                                 Q>#)LHX  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         KU 8Cl>5  
    uv_P{%TK  
     W! 5Blo  
                                                                 : .UX[!^  
    VirtualLab Fusion技术   r5X BcG(2  
    O23]!S<;  
                   @et3}-c  
     
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