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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 d*-Xuv  
    <GfVMD  
    F`& >NQb  
                                                             w}k B6o]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 A*0*sZ0  
                                                                 T$c+m\j6  
    建模任务                                                         K H}t:m+h  
    !S,pRS+  
     _*`q(dYcf  
    ScJu_A f  
    光栅元件   hqW$k w  
    r)B3es&&  
                                                             h48 bb.p2  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: - L`7+  
    • FMM/RCWA zoXuFg  
    • Diffractive Lens Component sU%" azc  
                                                                 AM/lbMr  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       JtmQzr0>  
    SLh~_ 5  
                                                         3yMt1 fy  
    Pd],}/ZG-  
    正弦光栅-传输相位形态     l $Zs~@N  
    *vs~SzF$  
                                                         S7#0*2#[o  
    NDo^B7 R-  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         sZm^&h;  
    *a4 b  
     qKs7WBRJy  
    v>k b^38  
    正弦光栅-衍射效率 C$y fMK,,N  
    =n)#!i  
                                                                 9OZ>y0)K~  
    Gx|Dql  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       V*uEJ6T  
    b,vL8*  
           >I:9'"`  
    @`2ozi~lO  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   cJV!> 0ua  
                                           d!!3"{'  
    F]SIT\kBm  
                                                                 .lG +a!)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) b)y<.pS\  
    0k7"H]J  
                                                               cuNq9y;[  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !g/_ w  
    dcR6KG8  
    3]7ipwF2q  
     h%|9]5(=  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         (ai72#nFtb  
    ]Y$&78u8t  
     K1 6s)S'  
                                                                 jaNH](V  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         5?)}F/x  
    qG*_w RF  
     2nYiG)tg  
                                                                 <WgG=Kf)N  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         GMyoSe%1/  
    -MsuBf  
     81cv:|"  
                                                                 Z#[>N,P  
    VirtualLab Fusion技术   +Hi{ /{k0N  
    iiQ||P}5  
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