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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 eA9r M:  
    !NhVPb,  
    cPl$N5/5  
                                                        
    KXo[;Db)k  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 %(1y  
                                                                 {RH)&k&%  
    建模任务                                                         jdD`C`w|,  
    fqm6Pd{:(  
    ]"vpCL  
    1i|5ii*vc  
    光栅元件   ][T>052v  
    ; JHf0  
                                                        
    pmDFmES  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^s/f.#'  
    • FMM/RCWA A6F/w  
    • Diffractive Lens Component 'p,54<e  
                                                                 o l+*Oe  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       n6GB2<y  
    DB+.<  
                                                    
    YR~)07  
    X4v0>c  
    正弦光栅-传输相位形态     OxVe}Fym  
    yLvU@V@~  
                                                    
    Qb1hk*$=  
    [Kanj/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         kAk+ Sq^n  
    +r]2.  
    U#n1N7P|$F  
    ?w"zW6U  
    正弦光栅-衍射效率 , *Z!Bd8  
    5q.)K f+  
                                                            
    .u9,w  
    ncij)7c)u  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       y)+l U  
    HS 1zA  
      
    >VvA&p71b  
    \w@ "`!%  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   @avG*Mr^  
                                      
    -xU4s  
    B P0*`TY  
                                                                 ~fF;GtP  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) UJQGwTA W  
    n]P,5  
                                                          
    IdWFG?b3  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         p#AQXIF0  
    IM~2=+  
    a.s5>:Ct  
    7 +kU8}  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         rTtxmw0  
    ABnJ{$=n#  
    Ouc$M2m0!  
                                                                 .0'FW!;FV  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @L5s.]vg=  
    HO9w"){d$  
    CR'1,  
                                                                 IpI|G!Y,  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         18gApRa  
    3etW4  
    9g`o+U{  
                                                                 nK9?|@S*'  
    VirtualLab Fusion技术   5X,|Pn  
    Ex$i8fO(  
              
    p`06%"#  
     
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