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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 KQ?E]}rZ  
    ~^" cNv  
    aMuc]Wy#  
                                                             65N;PH59D  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 8^p/?R^bu  
                                                                 ^Ot+,l)  
    建模任务                                                         C2AP   
    9%oLv25{)  
     8~:qn@ Z|E  
    Ts:dnGR5  
    光栅元件   rj$u_y3S*  
    :::"C"Ge  
                                                             c;w cgU  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: C5i]n? )S  
    • FMM/RCWA {~16j"  
    • Diffractive Lens Component ^w^cYM,  
                                                                 k<"ZNQm$.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~t<BZu  
    Y1{6lhxgE  
                                                         s ZkQJ->  
    )Be}Ev#)Zx  
    正弦光栅-传输相位形态     HCb7 `(@  
    =/.[&DG  
                                                         T'\ lntN  
    #$K\:V+ 4  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         *ky5SM(NR  
    _zJY1cr  
     j!&g:{ e  
    7\JRHw  
    正弦光栅-衍射效率 dQ`ch~HVUW  
    Kx*;!3-V$  
                                                                 | g> K$m^  
    |6`yE]3 -(  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       :2 ?dl:l  
    `"I^nD^t>Y  
           2aW&d=!ZV  
    Eo)Q> AM  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   [>;U1Wt  
                                           M ,e_=aq  
    b,D+1'  
                                                                 ED[PP2[/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .2!'6;K  
    ff?:_q+.N  
                                                               _R]la&^2F\  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Z?G-~3]e  
    7O;v5k~iQ  
    "1&C\}.7  
     pHni"i T  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         j9) Z'L  
    G~8C7$0z  
     w80g) 4V+  
                                                                 +aEE(u6%E@  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         7tUl$H;I/R  
    /=lrdp!a  
     +x-n,!(  
                                                                 a)Qx43mOS  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         0kQAT #  
    JDD(e_dw  
     ]|Vm*zO  
                                                                 Goz9"yazg  
    VirtualLab Fusion技术   "npj%O<bd  
    HMS9_#[kE  
                   w \i#  
     
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