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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ral0@\T  
    *&7Av7S  
    ne%ckW?ks  
                                                             qSON3Iid  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 278 6tZF,  
                                                                 @AJt/wPk  
    建模任务                                                         >354O6  
     1r$q $\  
     J}BS/Tr}=  
    _|3n h;-m  
    光栅元件   o`G@Je_}x  
    xRb-m$B}L  
                                                             ?g 1%-F+  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: YQ&Xd/z-  
    • FMM/RCWA > >p3#~/  
    • Diffractive Lens Component X=lOwPvP  
                                                                 mDtD7FzJ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       S>nM&758  
    LbnR=B!  
                                                         n(&6 E3ZcI  
    Pl U!-7  
    正弦光栅-传输相位形态     z"|^Y|`m  
    C;_10Rb2ut  
                                                         ^8DC W`V  
    Jjv, )@yo  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         bUt?VR}P(  
    bX8Bn0#a+  
     rk `x81  
    U)2\=%8  
    正弦光栅-衍射效率 /_v@YB!0  
    @wb V@  
                                                                 u9J;OsnHK  
    +c?1\{M   
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ~!\n  
    *G^ QS"%  
           KnKV+:"  
    IWX%6*Zz  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   4Y[tx]<  
                                           49cQA$Ad  
    s-[_%  
                                                                 5P [b/.n  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) >zVj+  
    &jr'vS[b  
                                                               w`q):yXX  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7*`cWT_X  
    7YrX3Hx 8  
    D3N\$D  
     gq!| 0  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ;vnG  
    x xWnB  
     #}3$n/  
                                                                 zQ&`|kS  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         s0WI93+z  
    @#xh)"}  
     w|7<y8#qC  
                                                                 n]jZ2{g+   
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [kaj8  
    9v=5x[fE  
     lku}I4  
                                                                 eKsc ["  
    VirtualLab Fusion技术   g4^=Q'j-  
    :=3Ty]e  
                   Ep)rEq6  
     
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