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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Ov)rsi  
    c]W]m`:  
    7@m  
                                                        
    ?zNv7Bj  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 t  HPC  
                                                                 ?/~7\ '|Z  
    建模任务                                                         It4J \S  
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    n}yqpW!%n  
    b#.hw2?a`  
    光栅元件   `W8GfbL  
    +aV>$Y  
                                                        
    8KW}XG  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: '@Y@H,  
    • FMM/RCWA xUzSS@ot^  
    • Diffractive Lens Component fdCsn:  
                                                                 M,PZ|=V6a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       t_WNEZW7f  
    56AaviEC  
                                                    
    yKa}U!$   
    VWmZ|9Ri  
    正弦光栅-传输相位形态     ^c^9kK'  
    h.g11xa  
                                                    
    rBkf@  
    `yHV10  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Hi9;i/  
    ^owEB%  
    d"nE+pgE  
    C 9,p-  
    正弦光栅-衍射效率 )D@1V=9,  
    z8= Gc$w!  
                                                            
    %n9}P , ?  
    $d!Sl a  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !/['wv@  
    H4 & d,8:m  
      
    ZsUxO%jP  
    _pKW($\  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   }O@S ;[v S  
                                      
    M&y!w   
    |z|5j!Nfh  
                                                                 JQE^ bcr  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) gV!Eotq  
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         P~i^V;g  
    Z%XBuq:BY  
    czb(&><  
    b2H!{a"  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ^Q4w<sX'  
    9ToM5oQ  
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    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         bP Er+?fu  
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                                                                 sxO_K^eD  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         WMZa6cH  
    ph30/*8  
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    VirtualLab Fusion技术   H[<"DP  
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