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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Hx6O Dj[-  
    /{l_tiE7  
    S$SCW<LuN  
                                                             k(G6` dY  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ?8$`GyjS  
                                                                 hYyIC:PXR  
    建模任务                                                         3F"vK  
    n`^jNXE  
     ^;/~$  
    9wCgJ$te  
    光栅元件    p[&J l  
    wDi/oH/H  
                                                             8/p ]'BLf  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: =xkaF)AW&v  
    • FMM/RCWA 8L:AmpQdpA  
    • Diffractive Lens Component FrMXf,}  
                                                                 Oa:C'M b  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Z5'^Hj1,  
    .pZYPKMaE  
                                                         T7i>aM$+  
    Z?S?O#FED  
    正弦光栅-传输相位形态     Q^<amM!  
    @ *Jbp  
                                                         { (.@bT@  
    `~\SQ EY$  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ,(oolx"Xa  
    rZ,3:x-:  
     '9]?jkl  
    M p <r`PM2  
    正弦光栅-衍射效率 bX[ZVE(L  
    7>im2"zm  
                                                                 5Kd"W,  
     cL .z{  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5.-:)=  
    >lmqPuf  
           'O 7:=l  
    :!Z|_y{b  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   fph+ 05.%  
                                           _=x*yDPG}  
    gjD|f2*x  
                                                                 7]So=% q  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) z z]~IxQ  
    ;\pINtl9<  
                                                               <gX({FA  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         uN?Lz1W\;  
    k2lo GvBJ  
    MYV3</Xj*  
     B}NJs,'FJ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         29 !QE>Q  
    e`a4Gr  
     M'|[:I.V  
                                                                 1LFad>`  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         8 |= c3Z  
    RpU i'  
     x_8sV?F  
                                                                  [A,!3BN  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         3 u=\d)eq  
    G$_)X%Vb I  
     |H8C4^1Rq  
                                                                 b!MN QGs  
    VirtualLab Fusion技术   Qu/f>tJN;  
    u*qI$?&  
                   @) MG&X  
     
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