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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要  7 zP  
    u UVV>An  
    vS*0CR\  
                                                             1o6J9kCq^3  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 C"m0"O>  
                                                                 n'ca*E(  
    建模任务                                                         gx>mKSzy  
    L&gEQDPgq|  
     W%jX-  
    n5,Pq+[  
    光栅元件   ^J5V!i$  
    b8b PK<  
                                                             G'}_ZUy#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: $b 71  
    • FMM/RCWA uF.\dY\xv  
    • Diffractive Lens Component VV}fW"_ND  
                                                                 T[!q&kFB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       vM3|Ti>a'  
    ^CZ|ci6bX  
                                                         me`$5Z`  
    ) ImIPSL  
    正弦光栅-传输相位形态     ^5@"|m1  
    2mp>Mn~K^  
                                                         .N><yQ-j3'  
    ToXFMkwY  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         m=l3O:~J  
    N{z(|2{A#  
     Ly/~N/<\  
    Pc ?G^ Xol  
    正弦光栅-衍射效率 G.E~&{5xQ  
    9l^  
                                                                 2+Y`pz47W  
    $mg h.3z0  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ph'SS=!.  
    D~?*Xv]s ~  
           UlZ)|Ya<M  
    cZF;f{t  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   /%'7sx[p  
                                           !Kqj&y5  
    8ewEdnE   
                                                                 xfQ;5n  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L#MxB|fcr  
    t4W0~7   
                                                               sWzXl~JbF  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         3>3ZfFC  
    6C}Z1lZl  
    r<H^%##,w  
     .ihn@eg  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         `.Q3s?1F  
    u+FftgA  
     j 0NPd^  
                                                                 `erQp0fBM  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         !Bbwl-e`  
    32'9Ch.  
     oQB1fs  
                                                                 ;] o^u.PC  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         dL"i\5#%A  
    OtqLigt&l  
     U^S:2  
                                                                 Cagq0-:(p  
    VirtualLab Fusion技术   3{E}^ve  
    $ $+z^%'_  
                   (G'ddZAJV  
     
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